一种蒸镀炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种蒸镀炉，包括：一蒸镀炉炉体；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。使用本实用新型一种蒸镀炉，能够有效地提高工件蒸镀的均匀性。
【专利说明】一种蒸镀炉
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种蒸镀设备的【技术领域】，尤其涉及一种能够对工件进行均匀蒸镀的蒸镀炉。
【背景技术】
[0002]蒸镀是通过蒸镀炉对镀膜材料加热使其气化沉积在基体或工件，如手机壳体，在其表面以形成薄膜或涂层的工艺。理论上蒸镀炉能够在金属、半导体、绝缘体甚至塑料、纸张、织物表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等的薄膜。
[0003]但现有的蒸镀炉对工件蒸镀不均匀，容易造成蒸镀完成的产品出现色差的情况。实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于提供一种蒸镀炉，以解决现有的蒸镀炉对工件蒸镀不均匀，容易造成蒸镀完成的产品出现色差的问题。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为:
[0006]一种蒸镀炉，其中，包括:一蒸镀炉炉体，所述蒸镀炉炉体的内部为空腔；一与所述蒸镀炉炉体枢设的蒸镀炉炉门，所述蒸镀炉炉门可打开或封闭所述蒸镀炉炉体的所述空腔；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若
干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构--对应，所述转料盘通过所述`旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。
[0007]上述的一种蒸镀炉，其中，所述蒸镀炉电极包括若干电极支撑杆、电极底座以及电极顶板；若干所述电极支撑杆沿竖直方向固设于所述电极底座和所述电极顶板之间，并且所述电极底座位于所述转料盘的中央，所述转料盘绕所述电极底座旋转；每一所述电极支撑杆从上至下设有若干电极连接杆，相邻的两所述电极支撑杆的每一对电极连接杆之间设有电极丝。
[0008]上述的一种蒸镀炉，其中，所述电极支撑杆的数量为四根，四根所述电极支撑杆围绕形成矩形；每一所述电极支撑杆从上至下沿水平方向设有两排若干电极连接杆，每一排的所述电极连接杆朝向相同方向，并且两排所述电极连接杆之间的角度近似直角；同时，相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆之间相互平行，并且相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆之间位于同一高度。
[0009]上述的一种蒸镀炉，其中，相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一所述电极连接杆的头部设有安装平台，每一所述电极丝的两侧位于两所述电极连接杆的安装头部；每一所述电极连接杆的尾部弯折形成一弯折部，每一所述电极连接杆通过所述弯折部套设于所述电极支撑杆上。
[0010]上述的一种蒸镀炉，其中，所述转轴靠近上下两端的位置分别套设一上连接部和一下连接部，所述上连接部和所述下连接部之间固设若干悬挂杆，每一所述悬挂杆从上至下设有若干用于悬挂工件的悬挂件。
[0011]上述的一种蒸镀炉，其中，所述上连接部和所述下连接部均包括若干根连接杆，若干所述连接杆在其中央位置重合，并形成平面形状，同时，相邻的两所述连接杆之间的角度相同；所述转轴的下端贯穿所述下连接部的若干所述连接杆的中央，所述转轴的上端贯穿所述上连接部的若干所述连接杆的中央。
[0012]上述的一种蒸镀炉，其中，所述下连接部的每一所述连接杆的两端分别通过两所述悬挂杆与所述上连接部的一所述连接杆的两端固定连接；并且所述下连接部的每一所述连接杆和所述上连接部的每一所述连接杆均开设若干用于连接所述悬挂杆的通孔。
[0013]上述的一种蒸镀炉，其中，所述转料盘的底部还包括一第一齿轮，所述第一齿轮与所述转料盘同心，并且所述第一齿轮与若干所述旋转机构驱动连接。
[0014]上述的一种蒸镀炉，其中，每一所述旋转机构包括:分别安装在一第一转轴下端的一第二齿轮和安装在所述第一转轴上端的一第三齿轮；安装在一第二转轴上的第四齿轮；安装在一第三转轴上的第五齿轮；所述第一转轴、所述第二转轴和所述第三转轴分别与所述转料盘的底部固定连接，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合连接，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合连接，所述第四齿轮与所述第五齿轮啮合连接。
[0015]上述的一种蒸镀炉，其中，每一所述旋转机构的所述第三转轴与每一所述工件支架的转轴相连接。
[0016]本实用新型由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是:
[0017](I)每一电极支撑杆从上至下以相同间隔设置若干电极连接杆，并且四根电极支撑杆上的电极连接杆分别水平地朝向四个方向，有效地提高安装在电极连接杆上的电极丝的均匀分布性，使得工件悬挂于支架，转料盘绕蒸镀炉旋转的时候，工件能够均匀地蒸镀。
[0018](2)通过旋转机构的使用，使得转动转料盘时，工件支架不仅能够绕着蒸镀炉电极旋转，同时也能够通过旋转机构带动工件支架绕自身自转，有效地提高工件蒸镀的均匀性。
[0019](3)工件支架通过下连接部的连接杆和上连接部的连接杆之间的悬挂杆的设计，能够有效地对工件进行均匀的蒸镀，避免蒸镀完成的产品出现色差的情况。
[0020](4)下连接部和上连接部之间的每一悬挂杆上分别安装若干悬挂件，有效地提高蒸镀工件的数量，易于大批量的蒸镀。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1为本实用新型的一种蒸镀炉的示意图；
[0022]图2为图1中蒸镀电极的示意图；
[0023]图3为图2中电极支撑杆和电极连接杆的示意图；
[0024]图4为图1中工件支架的示意图；
[0025]图5为图1中旋转机构的示意图；
[0026]图6为图1中旋转机构的另一角度的示意图。【具体实施方式】
[0027]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
[0028]图1为本实用新型的一种蒸镀炉的示意图，请参加图1所示。本实用新型的一种蒸镀炉，包括有一蒸镀炉炉体1，蒸镀炉炉体I的内部为空腔11。一蒸镀炉炉门2，蒸镀炉炉门2枢设在蒸镀炉炉体I的一侧，使得当蒸镀时，通过蒸镀炉炉门2能够封闭蒸镀炉炉体I的空腔11，当蒸镀炉完成时，通过蒸镀炉炉门2开启蒸镀炉炉体I的空腔11。蒸镀炉炉体I空腔11的底部沿水平方向设有一转料盘3，转料盘3的中央沿竖直方向安装蒸镀炉电极4，转料盘3能够绕着蒸镀炉电极4旋转。转料盘3的外缘沿竖直方向均布若干工件支架5，工件支架5用于悬挂待蒸镀的工件，如手机壳体。每一工件支架5包括有一转轴51，每一转轴51沿竖直方向设置在转料盘3的外缘。转料盘3的底部还分别设置有若干旋转机构，每一工件支架5与每一旋转机构一一对应，以此转料盘3通过旋转机构能够带动工件支架5的转轴51自转，使得工件支架5绕其自身自转，确保旋转的过程中工件能够均匀蒸镀。
[0029]本实用新型在上述基础上还具有如下实施方式:
[0030]本实用新型的进一步实施例中，图2为图1中蒸镀电极的示意图，图3为图2中电极支撑杆和电极连接杆的示意图，请参见图1至图3所示。蒸镀炉电极4包括有若干电极支撑杆41，每一电极支撑杆41从上至下设有若干电极连接杆42，并且相邻的两电极支撑杆41的电极连接杆42之间设有电极丝43。蒸镀炉电极4还包括有电极底座44和电极顶板45,若干电极支撑杆41沿竖直方向位于电极底座44和电极顶板45之间，并且每一电极支撑杆41的两端分别与电极底座44和电极顶板45相固定连接。同时，蒸镀炉电极4的电极底座44位于转料盘3的中央，使得转料盘3能够绕着电极底座44旋转。
[0031]本实用新型的进一步实施例中，电极支撑杆41的数量为四根，四根电极支撑杆41固设于电极底座44和电极顶板45之间，并且四根电极支撑杆41围绕形成矩形。每一电极支撑杆41从上至下沿水平方向设有两排数量为若干的电极连接杆42，每一排的若干电极连接杆42朝向相同方向，并且两排电极连接杆42之间的角度近似为直角。
[0032]本实用新型的进一步实施例中，每一电极支撑杆41从上至下设置的若干电极连接杆42之间的间距相同。
[0033]本实用新型的进一步实施例中，相邻两电极支撑杆41的相互靠近的每一对电极连接杆42之间相互平行。
[0034]本实用新型的进一步实施例中，相邻两电极支撑杆41的相互靠近的每一对电极连接杆42之间位于同一高度。
[0035]本实用新型的进一步实施例中，相邻两电极支撑杆41的相互靠近的每一电极连接杆42的头部设有安装平台421，每一电极丝43的两侧位于相邻两电极支撑杆41的相互靠近的每一对电极连接杆42的安装平台421上。
[0036]本实用新型的进一步实施例中，每一安装平台421上还螺纹连接有一拧紧螺母422，通过拧紧螺母422对安装平台421上的电极丝43进行拧紧处理。
[0037]本实用新型的进一步实施例中，每一电极连接杆42的尾部弯折形成一弯折部423，每一电极连接杆42通过弯折部423套设在电极支撑杆41上，并且每一电极连接杆42的弯折部423通过一螺钉424加以固定。[0038]本实用新型的进一步实施例中，电极底座44和电极顶板42的形状为圆形。
[0039]本实用新型的进一步实施例中，图4为图1中工件支架的示意图，请参见图1和图4所示。转轴51靠近上下两端的位置分别套设一上连接部和一下连接部，上连接部和下连接部之间设有若干悬挂杆52，每一悬挂杆52的上端分别与上连接部和下连接部固定连接。每一悬挂杆52从上至下设有若干悬挂件53，以此通过悬挂件53来悬挂待蒸镀的工件。
[0040]本实用新型的进一步实施例中，上连接部和下连接部均包括若干根连接杆54和55，上连接部的若干连接杆54在每一连接杆54的中央位置处重合，并形成平面形状，呈雪花状，同时，相邻的两连接杆54之间的角度相同；下连接部的若干连接杆55在每一连接杆55的中央位置处重合，并形成平面形状，呈雪花状，同时，相邻的两连接杆55之间的角度相同。转轴51的下端贯穿下连接部的若干连接杆55的中央，转轴51的上端贯穿上连接部的若干连接杆55的中央。
[0041]本实用新型的进一步实施例中，下连接部的每一连接杆55的两端分别通过两悬挂杆52与上连接部的一连接杆54的两端固定连接。
[0042]本实用新型的进一步实施例中，下连接部的每一连接杆55和上连接部的每一连接杆54均开设若干通孔56，通过下连接部的通孔56和上连接部的通孔56用于连接悬挂杆52。
[0043]本实用新型的进一步实施例中，位于连接杆54上的通孔56沿连接杆54的长边方向设置形成两排。位于连接杆55上的通孔56沿连接杆55的长边方向设置形成两排
[0044]本实用新型的进一步实施例中，通孔56的形状为矩形。
[0045]本实用新型的进一步实施例中，每一悬挂杆52上的若干悬挂件53之间的间距相同。
[0046]本实用新型的进一步实施例中，下连接部的连接杆55的数量和上连接部的连接杆54的数量均为四根，上连接部的四根连接杆54在每一连接杆54的中央位置处重合，下连接部的四根连接杆55在每一连接杆55的中央位置处重合。
[0047]本实用新型的进一步实施例中，图5为图1中旋转机构的示意图，图6为图1中旋转机构的另一角度的示意图，请参见图1、图5和图6所示。转料盘3的底部还安装有一第一齿轮31,第一齿轮31与转料盘3同心,并且第一齿轮3与若干旋转机构相互驱动连接，使得通过转动转料盘3能够带动第一齿轮31旋转，以此通过第一齿轮31带动旋转机构旋转。
[0048]本实用新型的进一步实施例中，每一旋转机构包括有分别安装在一第一转轴65下端的一第二齿轮61和安装在第一转轴65上端的一第三齿轮62 ;安装在一第二转轴66上的第四齿轮63，以及安装在一第三转轴67上的第五齿轮64。第一转轴65、第二转轴66和第三转轴67分别与转料盘3的底部固定连接，第二齿轮61与第一齿轮31啮合连接，第三齿轮62与第四齿轮63啮合连接，第四齿轮63与第五齿轮64啮合连接。
[0049]本实用新型的进一步实施例中，每一旋转机构的第三转轴67与每一工件支架5的转轴51相连接。转动转料盘3带动第一齿轮31旋转，第一齿轮31带动啮合的第二齿轮61旋转，第二齿轮61通过第一转轴65带动第三齿轮62旋转，第三齿轮62带动啮合的第四齿轮63旋转，第四齿轮63带动啮合的第五齿轮64旋转，第五齿轮64带动第三转轴67旋转，第三转轴67带动转轴51绕自身自转。[0050]本实用新型的进一步实施例中，第三齿轮62、第四齿轮63与第五齿轮64之间围成的形状近似为三角形。
[0051]综上所述，使用本实用新型一种蒸镀炉，能够有效地提高工件蒸镀的均匀性。
[0052]以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种蒸镀炉，其特征在于，包括: 一蒸镀炉炉体，所述蒸镀炉炉体的内部为空腔； 一与所述蒸镀炉炉体枢设的蒸镀炉炉门，所述蒸镀炉炉门可打开或封闭所述蒸镀炉炉体的所述空腔； 所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转； 所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。
2.根据权利要求1所述蒸镀炉，其特征在于，所述蒸镀炉电极包括若干电极支撑杆、电极底座以及电极顶板；若干所述电极支撑杆沿竖直方向固设于所述电极底座和所述电极顶板之间，并且所述电极底座位于所述转料盘的中央，所述转料盘绕所述电极底座旋转；每一所述电极支撑杆从上至下设有若干电极连接杆，相邻的两所述电极支撑杆的每一对电极连接杆之间设有电极丝。
3.根据权利要求2所述蒸镀炉，其特征在于，所述电极支撑杆的数量为四根，四根所述电极支撑杆围绕形成矩形；每一所述电极支撑杆从上至下沿水平方向设有两排若干电极连接杆，每一排的所述电极连接杆朝向 相同方向，并且两排所述电极连接杆之间的角度近似直角；同时，相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆之间相互平行，并且相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆之间位于同一高度。
4.根据权利要求3所述蒸镀炉，其特征在于，相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一所述电极连接杆的头部设有安装平台，每一所述电极丝的两侧位于两所述电极连接杆的安装头部；每一所述电极连接杆的尾部弯折形成一弯折部，每一所述电极连接杆通过所述弯折部套设于所述电极支撑杆上。
5.根据权利要求1所述蒸镀炉，其特征在于，所述转轴靠近上下两端的位置分别套设一上连接部和一下连接部，所述上连接部和所述下连接部之间固设若干悬挂杆，每一所述悬挂杆从上至下设有若干用于悬挂工件的悬挂件。
6.根据权利要求5所述蒸镀炉，其特征在于，所述上连接部和所述下连接部均包括若干根连接杆，若干所述连接杆在其中央位置重合，并形成平面形状，同时，相邻的两所述连接杆之间的角度相同；所述转轴的下端贯穿所述下连接部的若干所述连接杆的中央，所述转轴的上端贯穿所述上连接部的若干所述连接杆的中央。
7.根据权利要求6所述蒸镀炉，其特征在于，所述下连接部的每一所述连接杆的两端分别通过两所述悬挂杆与所述上连接部的一所述连接杆的两端固定连接；并且所述下连接部的每一所述连接杆和所述上连接部的每一所述连接杆均开设若干用于连接所述悬挂杆的通孔。
8.根据权利要求1所述蒸镀炉，其特征在于，所述转料盘的底部还包括一第一齿轮，所述第一齿轮与所述转料盘同心，并且所述第一齿轮与若干所述旋转机构驱动连接。
9.根据权利要求8所述蒸镀炉，其特征在于，每一所述旋转机构包括:分别安装在一第一转轴下端的一第二齿轮和安装在所述第一转轴上端的一第三齿轮；安装在一第二转轴上的第四齿轮；安装在一第三转轴上的第五齿轮；所述第一转轴、所述第二转轴和所述第三转轴分别与所述转料盘的底部固定连接，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合连接，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合连接，所述第四齿轮与所述第五齿轮啮合连接。
10.根据权利要求9所述蒸镀炉，其特征在于，每一所述旋转机构的所述第三转轴与每一所述工件支架的转轴相连接 。
【文档编号】C23C14/24GK203513787SQ201320583808
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年9月22日 优先权日:2013年9月22日
【发明者】胡光辉 申请人:和宏华进纳米科技（上海）有限公司