一种蒸发源、蒸镀设备及OLED显示器生产设备的制作方法

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种蒸发源、蒸镀设备及OLED显示器生产设备。

背景技术：

在各种类型的平板显示器中，有机电致发光显示器(Organic Electroluminesence Display，OLED)具有宽视角、高亮度、高对比度、低驱动电压和快速响应的优点，被认为是下一代显示技术。

OLED的成膜通常采用真空蒸镀方式，真空蒸镀是在真空室中，加热蒸发源中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入射到基体表面，凝结形成固态薄膜的方法。目前对色坐标的管理越来越严格，而色坐标与蒸镀薄膜的厚度有关，如果膜厚不均一，就会造成色坐标的偏差，因此，真空蒸镀技术需要良好的蒸发源。参见图1，现有的蒸发源包括：坩埚1、位于该坩埚1顶部的多个喷嘴2、位于该坩埚周围的加热丝3和位于坩埚1与加热丝3中间的多个热电偶电极4。

但是现有技术中，由于坩埚不能做到很均一(例如密度不均一)，导致蒸镀膜层时膜厚不均一，为了改善膜厚均一性，现有技术中一种方式是通过调整喷嘴的大小或调整温度补偿板的厚度，但这种方式需要打开真空蒸镀设备，然后更换喷嘴或温度补偿板，导致时间的浪费，从而影响产能；另一种方式是通过使用两个或多个加热丝，然后控制各个加热丝的加热温度来改善膜厚均一性，由于要控制至少两个加热丝，导致控制软件变得复杂。

技术实现要素：

本申请实施例提供了一种蒸发源、蒸镀设备及OLED显示器生产设备，用以在改善膜厚均一性的过程中，避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，从而提高产能，以及避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

本申请实施例提供的一种蒸发源包括：坩埚、位于该坩埚顶部的多个喷嘴、位于该坩埚周围的加热丝和位于所述坩埚与所述加热丝之间的多个热电偶电极，还包括：至少一根温度调节杆；所述温度调节杆用于调节所述温度调节杆所在位置处所述坩埚的温度。

本申请实施例提供的蒸发源，包括：坩埚、位于该坩埚顶部的多个喷嘴、位于该坩埚周围的加热丝和位于所述坩埚与所述加热丝之间的多个热电偶电极，还包括：至少一根温度调节杆；所述温度调节杆用于调节所述温度调节杆所在位置处所述坩埚的温度，通过设置至少一根温度调节杆，使用温度调节杆调节该温度调节杆所在位置处坩埚的温度，从而可以改善膜厚均一性，在改善膜厚均一性的过程中，无需打开真空蒸镀设备，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，进而提高产能，并且，该蒸发源只使用了一个加热丝，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

较佳地，所述温度调节杆设置于所述坩埚的周围和/或所述坩埚的底部。

较佳地，设置于所述坩埚底部的所述温度调节杆与所述坩埚接触，或悬空于所述坩埚底部。

通过这种设置，与坩埚接触的温度调节杆的调节幅度大，而悬空于坩埚底部的温度调节杆的调节幅度小，通过调节幅度的大小结合，可以快速调节温度。

较佳地，设置于所述坩埚周围的所述温度调节杆位于所述坩埚与所述加热丝之间。

较佳地，所述温度调节杆与所述坩埚接触，或悬空于所述坩埚与所述加热丝之间。

通过这种设置，与坩埚接触的温度调节杆的调节幅度大，而悬空于坩埚与加热丝之间的温度调节杆的调节幅度小，通过调节幅度的大小结合，可以快速调节温度。

较佳地，位于所述坩埚与所述加热丝之间的所述温度调节杆，和各所述热电偶电极分别位于所述坩埚的两侧。

较佳地，所述温度调节杆为导热杆，所述蒸发源还包括：与所述导热杆通过导线连接的冷却装置。

较佳地，所述温度调节杆为加热杆，所述蒸发源还包括：与所述加热杆通过导线连接的加热装置。

较佳地，所述导线的外面包裹一层绝缘隔热材料。

由于使用的导线的外面包裹一层绝缘隔热材料，这样就不会有热量散发出来，从而影响其他位置坩埚的温度。

较佳地，所述坩埚为线型坩埚，所述温度调节杆为多根，且各所述温度调节杆沿所述坩埚的长边延伸方向呈均匀分布。

由于多根温度调节杆沿坩埚的长边延伸方向呈均匀分布，这样更利于快速调节温度。

本申请实施例还提供了一种蒸镀设备，包括本申请实施例提供的上述蒸发源。

由于本申请实施例提供的蒸镀设备采用上述的蒸发源，而上述的蒸发源包括：坩埚、位于该坩埚顶部的多个喷嘴、位于该坩埚周围的加热丝和位于所述坩埚与所述加热丝之间的多个热电偶电极，还包括：至少一根温度调节杆；所述温度调节杆用于调节所述温度调节杆所在位置处所述坩埚的温度，通过设置至少一根温度调节杆，使用温度调节杆调节该温度调节杆所在位置处坩埚的温度，从而可以改善膜厚均一性，在改善膜厚均一性的过程中，无需打开真空蒸镀设备，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，进而提高产能，并且，该蒸发源只使用了一个加热丝，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

本申请实施例还提供了一种有机电致发光显示器生产设备，包括本申请实施例提供的上述蒸镀设备。

由于本申请实施例提供的有机电致发光显示器生产设备采用上述的蒸镀设备，并且蒸镀设备采用上述的蒸发源，而上述的蒸发源包括：坩埚、位于该坩埚顶部的多个喷嘴、位于该坩埚周围的加热丝和位于所述坩埚与所述加热丝之间的多个热电偶电极，还包括：至少一根温度调节杆；所述温度调节杆用于调节所述温度调节杆所在位置处所述坩埚的温度，通过设置至少一根温度调节杆，使用温度调节杆调节该温度调节杆所在位置处坩埚的温度，从而可以改善膜厚均一性，在改善膜厚均一性的过程中，无需打开真空蒸镀设备，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，进而提高产能，并且，该蒸发源只使用了一个加热丝，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

附图说明

图1为现有技术中蒸发源的俯视结构示意图；

图2为本申请实施例一提供的一种蒸发源的侧视结构示意图；

图3(a)～3(d)表示不同时刻测量本申请实施例一提供的蒸发源蒸镀的膜厚形成的膜厚轮廓图；

图4为本申请实施例二提供的一种蒸发源的侧视结构示意图；

图5(a)～5(d)表示不同时刻测量本申请实施例二提供的蒸发源蒸镀的膜厚形成的膜厚轮廓图。

具体实施方式

本申请实施例提供了一种蒸发源、蒸镀设备及OLED显示器生产设备，用以在改善膜厚均一性的过程中，避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，从而提高产能，以及避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请附图中各部件的厚度和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本申请内容。

实施例一：

如图2所示，图2为本申请实施例一提供的一种蒸发源的侧视图，该蒸发源包括：坩埚1、位于该坩埚1顶部的多个喷嘴2、位于该坩埚1周围的加热丝3、位于坩埚1与加热丝3中间的多个热电偶电极(未在图2中示出)、至少一根导热杆5、导线6和冷却装置7；导热杆5通过导线6连接冷却装置7，使得接通的导热杆5所在位置处坩埚的温度降低。

其中，加热丝3可分为顶部加热丝31和底部加热丝32，顶部加热丝31靠近坩埚1的顶部，底部加热丝32靠近坩埚1的底部，顶部加热丝31和底部加热丝32沿坩埚1的高度所在的方向分布，因此，不会对膜厚均一性造成影响。

本申请实施例一提供的蒸发源，通过设置至少一根导热杆5，使用冷却装置7给与该冷却装置7连接的导热杆5所在位置处的坩埚降温，从而可以改善膜厚均一性，在改善膜厚均一性的过程中，无需打开真空蒸镀设备，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，进而提高产能，并且，该蒸发源只使用了一个加热丝3，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

较佳地，为了不使热量散发出来而影响其他位置坩埚的温度，可以在导线6的外面包裹一层绝缘隔热材料。

较佳地，导热杆5设置于坩埚1的周围和/或坩埚1的底部。

较佳地，设置于坩埚1底部的导热杆5与坩埚1接触，或悬空于坩埚1底部。

通过这种设置，与坩埚1接触的导热杆5的调节幅度大，而悬空于坩埚1底部的导热杆5的调节幅度小，通过调节幅度的大小结合，可以快速调节温度。

较佳地，设置于坩埚1周围的导热杆5位于坩埚1与加热丝3之间。

较佳地，位于坩埚1与加热丝3之间的导热杆5与坩埚1接触，或悬空于坩埚1与加热丝3之间。

通过这种设置，与坩埚1接触的导热杆5的调节幅度大，而悬空于坩埚1与加热丝3之间的导热杆5的调节幅度小，通过调节幅度的大小结合，可以快速调节温度。

需要指出的是，在具体实施中，可以将现有技术中的蒸发源的其中一侧的热电偶电极改为导热杆5，当然，也可以不改变热电偶电极，而是在现有技术中的蒸发源中增加导热杆5，本申请实施例并不对其进行限定。

较佳地，位于坩埚1与加热丝3之间的导热杆5，和各热电偶电极分别位于坩埚1的两侧。

较佳地，如图2所示，坩埚1为线型坩埚，导热杆5为多根，为了更好的调节温度，各导热杆5沿坩埚1的长边延伸方向呈均匀分布。

导热杆5的根数可以根据实际需要进行设置，较佳地，如图2所示，导热杆的根数可以为7根，该7根导热杆位于坩埚1与加热丝3之间，从左到右(即沿坩埚1的长边延伸方向)依次为：第一导热杆51、第二导热杆52、第三导热杆53、第四导热杆54、第五导热杆55、第六导热杆56和第七导热杆57；其中，第一导热杆51、第四导热杆54和第七导热杆57直接与坩埚1接触，第二导热杆52、第三导热杆53、第五导热杆55和第六导热杆56悬空于坩埚1与加热丝3之间。

下面以位于坩埚与加热丝之间的导热杆的根数为7根为例，结合图3(a)～3(d)以及图2说明使用本申请实施例一提供的蒸发源改善膜厚均一性的过程。

首先，沿坩埚的长边延伸方向选取5个均匀分布的膜厚测量点(当然测量点也可根据需要选取其他值，在此不做限定)，可以使用膜厚测量装置(例如椭偏仪)测量这5个膜厚测量点位置处的膜厚，形成膜厚轮廓(Profile)图；然后，根据形成的膜厚轮廓图确定需要与冷却装置接通的导热杆。

需要指出的是，需要接通的导热杆可以为一根或多根，可以由工程师分析数据，根据经验来调整需要接通的导热杆，调整完之后需要使用椭偏仪再进行膜厚和均一性的测量，验证膜厚轮廓图是否改善，当然也可以设置控制单元来控制。

图3(a)～3(d)表示不同时刻测量本申请实施例一提供的蒸发源蒸镀的膜厚形成的膜厚轮廓图，其纵坐标表示膜厚，单位为埃横坐标表示膜厚测量点的位置，从图中可看出，图3(a)中膜厚呈单调上升趋势，图3(b)中膜厚呈单调下降趋势，图3(c)中膜厚呈中心低，两端高，图3(d)中膜厚呈中心高，两端低。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图3(a)所示，则可以通过将冷却装置7与第六导热杆56和第七导热杆57接通，使得第六导热杆56和第七导热杆57所在位置处坩埚的温度降低，从而改善膜厚均一性。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图3(b)所示，则可以通过将冷却装置7与第一导热杆51和第二导热杆52接通，使得第一导热杆51和第二导热杆52所在位置处坩埚的温度降低，从而改善膜厚均一性。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图3(c)所示，则可以通过将冷却装置7与第一导热杆51和第七导热杆57接通，使得第一导热杆51和第七导热杆57所在位置处坩埚的温度降低，从而改善膜厚均一性。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图3(d)所示，则可以通过将冷却装置7与第三导热杆53和第四导热杆54接通，使得第三导热杆53和第四导热杆54所在位置处坩埚的温度降低，从而改善膜厚均一性。

实施例二：

如图4所示，图4为本申请实施例二提供的一种蒸发源的侧视图，该蒸发源包括：坩埚1、位于该坩埚1顶部的多个喷嘴2、位于该坩埚1周围的加热丝3、位于坩埚1与加热丝3中间的多个热电偶电极(未在图4中示出)、至少一根加热杆8、导线6和加热装置9；加热杆8通过导线6连接加热装置9，使得接通的加热杆8所在位置处坩埚的温度升高。

其中，加热丝3可分为顶部加热丝31和底部加热丝32，顶部加热丝31靠近坩埚1的顶部，底部加热丝32靠近坩埚1的底部，顶部加热丝31和底部加热丝32沿坩埚1的高度所在的方向分布，因此，不会对膜厚均一性造成影响。

本申请实施例二提供的蒸发源，通过设置至少一根加热杆8，使用加热装置9给与该加热装置9连接的加热杆8所在位置处的坩埚升温，从而可以改善膜厚均一性，在改善膜厚均一性的过程中，无需打开真空蒸镀设备，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，进而提高产能，并且，该蒸发源只使用了一个加热丝3，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

较佳地，为了不使热量散发出来而影响其他位置坩埚的温度，可以在导线6的外面包裹一层绝缘隔热材料。

较佳地，加热杆8设置于坩埚1的周围和/或坩埚1的底部。

较佳地，设置于坩埚1底部的加热杆8与坩埚1接触，或悬空于坩埚1底部。

通过这种设置，与坩埚1接触的加热杆8的调节幅度大，而悬空于坩埚1底部的加热杆8的调节幅度小，通过调节幅度的大小结合，可以快速调节温度。

较佳地，设置于坩埚1周围的加热杆8位于坩埚1与加热丝3之间。

较佳地，位于坩埚1与加热丝3之间的加热杆8与坩埚1接触，或悬空于坩埚1与加热丝3之间。

通过这种设置，与坩埚1接触的加热杆8的调节幅度大，而悬空于坩埚1与加热丝3之间的加热杆8的调节幅度小，通过调节幅度的大小结合，可以快速调节温度。

需要指出的是，在具体实施中，可以将现有技术中的蒸发源的其中一侧的热电偶电极改为加热杆8，当然，也可以不改变热电偶电极，而是在现有技术中的蒸发源中增加加热杆8，本申请实施例并不对其进行限定。

较佳地，位于坩埚1与加热丝3之间的加热杆8，和各热电偶电极分别位于坩埚1的两侧。

较佳地，如图4所示，坩埚1为线型坩埚，加热杆8为多根，为了更好的调节温度，各加热杆8沿坩埚1的长边延伸方向呈均匀分布。

加热杆8的根数可以根据实际需要进行设置，较佳地，如图4所示，加热杆的根数可以为7根，该7根加热杆位于坩埚1与加热丝3之间，从左到右(即沿坩埚1的长边延伸方向)依次为：第一加热杆81、第二加热杆82、第三加热杆83、第四加热杆84、第五加热杆85、第六加热杆86和第七加热杆87；其中，第一加热杆81、第四加热杆84和第七加热杆87直接与坩埚1接触，第二加热杆82、第三加热杆83、第五加热杆85和第六加热杆86悬空于坩埚1与加热丝3之间。

下面以位于坩埚与加热丝之间的加热杆的根数为7根为例，结合图5(a)～5(d)以及图4说明使用本申请实施例二提供的蒸发源改善膜厚均一性的过程。

首先，沿坩埚的长边延伸方向选取5个均匀分布的膜厚测量点(当然测量点也可根据需要选取其他值，在此不做限定)，可以使用膜厚测量装置(例如椭偏仪)测量这5个膜厚测量点位置处的膜厚，形成膜厚轮廓(Profile)图；然后，根据形成的膜厚轮廓图确定需要与加热装置接通的加热杆。

需要指出的是，需要接通的加热杆可以为一根或多根，可以由工程师分析数据，根据经验来调整需要接通的加热杆，调整完之后需要使用椭偏仪再进行膜厚和均一性的测量，验证膜厚轮廓图是否改善，当然也可以设置控制单元来控制。

图5(a)～5(d)表示不同时刻测量本申请实施例二提供的蒸发源蒸镀的膜厚形成的膜厚轮廓图，其纵坐标表示膜厚，单位为埃横坐标表示膜厚测量点的位置，从图中可看出，图5(a)中膜厚呈单调上升趋势，图5(b)中膜厚呈单调下降趋势，图5(c)中膜厚呈中心低，两端高，图5(d)中膜厚呈中心高，两端低。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图5(a)所示，则可以通过将加热装置9与第一加热杆81和第二加热杆82接通，使得第一加热杆81和第二加热杆82所在位置处坩埚的温度升高，从而改善膜厚均一性。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图5(b)所示，则可以通过将加热装置9与第六加热杆86和第七加热杆87接通，使得第六加热杆86和第七加热杆87所在位置处坩埚的温度升高，从而改善膜厚均一性。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图5(c)所示，则可以通过将加热装置9与第四加热杆84和第五加热杆85接通，使得第四加热杆84和第五加热杆85所在位置处坩埚的温度升高，从而改善膜厚均一性。

若椭偏仪测量5个膜厚测量点位置处的膜厚形成的膜厚轮廓图如图5(d)所示，则可以通过将加热装置9与第一加热杆81和第七加热杆87接通，使得第一加热杆81和第七加热杆87所在位置处坩埚的温度升高，从而改善膜厚均一性。

基于同一发明构思，本申请实施例还提供了一种蒸镀设备，包括本申请实施例提供的上述蒸发源。

基于同一发明构思，本申请实施例还提供了一种有机电致发光显示器生产设备，包括本申请实施例提供的上述蒸镀设备。

综上所述，本申请实施例提供的技术方案中，其蒸发源包括：坩埚、位于该坩埚顶部的多个喷嘴、位于该坩埚周围的加热丝和位于所述坩埚与所述加热丝之间的多个热电偶电极，还包括：至少一根温度调节杆；所述温度调节杆用于调节所述温度调节杆所在位置处所述坩埚的温度，通过设置至少一根温度调节杆，使用温度调节杆调节该温度调节杆所在位置处坩埚的温度，从而可以改善膜厚均一性，在改善膜厚均一性的过程中，无需打开真空蒸镀设备，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中导致的时间浪费，进而提高产能，并且，该蒸发源只使用了一个加热丝，因此，可以避免现有的改善膜厚均一性的方式中存在的控制软件复杂的问题。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。