蒸发源和蒸镀设备的制作方法

本发明涉及显示器制备技术领域，尤其涉及一种蒸发源和蒸镀设备。

背景技术：

真空蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使其升华并在基板上成膜。主要用于有机半导体器件如有机发光二极管中的有机功能层的制作。现在蒸镀设备主要分为内嵌式和环绕式。内嵌式设备又称为线性设备，基板在蒸镀腔中进行传送，蒸发源沿基板传送方向排列。如图1和图2所示，线性蒸发源01多为长方体结构，内部放置坩埚02，加热丝置于蒸发源两侧腔壁内，对内部坩埚进行加热。蒸发源在两端为坩埚的进出口，用于放置取出坩埚，蒸发源加热时开口处用隔热层和盲板封住。为了防止热量泄漏，蒸发源除了坩埚进出口，其他位置均为密封设计，无法拆卸。

但是，在有机材料蒸发过程中，会有一部分有机材料从坩埚内泄漏，所以蒸发源在使用一段时间后，内部就会存在杂质，需要对蒸发源内部进行清理甚至是全面清洗。封闭式线性蒸发由于不可拆卸，且长度比较长，清理非常不方便。

技术实现要素：

本发明提供了一种蒸发源和蒸镀设备，用以提高蒸发效率和显示装置的显示效果。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种蒸发源，包括：

第一壳体，所述第一壳体内设有用于容纳坩埚的中空部，所述第一壳体包括至少两个第一本体，相邻两个所述第一本体之间可拆卸连接，且所述第一壳体上设有多个喷嘴。

本发明提供的蒸发源，通过将用于容纳坩埚的第一壳体设置为可拆卸的，能够便于对第一壳体的内部进行清洗，可以提高蒸发源的使用寿命，提高蒸发源的蒸发效率，以提高显示装置的显示效果。

在一些可选的实施方式中，上述蒸发源，还包括：包裹于所述第一壳体外的第二壳体，所述第二壳体包括至少两个第二本体，相邻两个所述第二本体之间可拆卸连接，且所述第二壳体上设有与所述喷嘴一一对应且允许对应的所述喷嘴伸出的喷口。第二壳体的设置，有利于减少热量的散失，起到对第一壳体保温的作用。

在一些可选的实施方式中，任意相邻两个所述第二本体的连接处在所述第一壳体上的投影与任意相邻两个所述第一本体的连接处不重合。这样的结构设置，可以减少热量从连接处散失现象的发生。

在一些可选的实施方式中，所述第一本体的个数为四个；和/或，

所述第二本体的个数为四个。

在一些可选的实施方式中，所述第一壳体为圆柱形；和/或，所述第二壳体为圆柱形。圆柱形的蒸发源便于坩埚均匀受热。

在一些可选的实施方式中，每个所述第一本体内均设有加热单元和用于冷却所述第一本体的冷却单元。

在一些可选的实施方式中，上述蒸发源，还包括：

与所述第一本体一一对应设置的开关，所述开关用于控制对应的第一本体内的加热单元开启和关闭。便于控制每个第一本体的温度。

在一些可选的实施方式中，任意相邻两个所述第一本体之间通过卡口和卡扣相互连接；和/或，

任意相邻两个所述第二本体之间通过卡口和卡扣相互连接、且所述相互连接处还设有紧固螺钉，所述紧固螺钉仅将相连两个所述第二本体相互锁紧或所述紧固螺钉将相连的所述第二本体以及相连的所述第一本体均锁紧。

在一些可选的实施方式中，任意相邻两个所述第一本体的连接处设有隔热垫片；和/或，

任意相邻两个所述第二本体的连接处设有隔热垫片。隔热垫片的设置一方面可以减少热量流失，另一方面可以提高连接处的使用寿命。

本发明还提供了一种蒸镀设备，包括：上述任一项所述的蒸发源。由于上述蒸发源可以提高蒸发效率和显示装置的显示效果，故本发明提供的蒸镀设备，具有较好的蒸镀效果。

附图说明

图1为现有技术中的蒸发源结构示意图；

图2为现有技术中的蒸发源和坩埚组合在一起的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的蒸发源的第一种结构分解示意图；

图4为本发明实施例提供的蒸发源的第二种结构分解示意图；

图5为本发明实施例提供的蒸发源的第二种结构示意图；

图6为本发明实施例提供的蒸发源的端面结构示意图。

附图标记：

01-线性蒸发源 02-坩埚

1-第一壳体 11-第一本体

111-喷嘴 2-第二壳体

21-第二本体 3-紧固螺钉

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明专利保护的范围。

如图3所示，本发明实施例提供了一种蒸发源，包括：第一壳体1，第一壳体1内设有用于容纳坩埚的中空部，第一壳体1包括至少两个第一本体11，相邻两个第一本体11之间可拆卸连接，且第一壳体1上设有多个喷嘴(图中未示出)。

本发明提供的蒸发源，通过将用于容纳坩埚的第一壳体1设置为可拆卸的，能够便于对第一壳体1的内部进行清洗，可以提高蒸发源的使用寿命，提高蒸发源的蒸发效率，以提高显示装置的显示效果。

进一步的，如图4和图5所示，上述蒸发源，还包括：包裹于第一壳体1外的第二壳体2，第二壳体2包括至少两个第二本体21，相邻两个第二本体21之间可拆卸连接，且第二壳体2上设有与喷嘴111一一对应且允许对应的喷嘴111伸出的喷口。第二壳体2的设置，有利于减少热量的散失，起到对第一壳体1保温的作用，上述喷口的设置位置可以位于任意第二本体21上，也可以位于两个第二本体21的连接处。

为了进一步防止热量的散失，优选的，如图4所示，任意相邻两个第二本体21的连接处在第一壳体1上的投影与任意相邻两个第一本体11的连接处不重合。这样第二本体21可以将内部的两个第一本体11之间的连接处形成的缝隙遮盖住，防止热量从两个第一本体11之间的连接处的缝隙流出蒸发源。

本发明实施例提供的蒸发源中的第一壳体1中包含的第一本体11的个数以及第二壳体2中包含的第二本体21的个数可以有多种，可选的，第一本体11的个数为四个；和/或，

第二本体21的个数为四个。也就是说，第一本体11的个数为四个，第二本体21的个数可以不为四个，例如两个、三个、六个等，这里就不再一一列举；也或者第二本体21的个数为四个，而第一本体11的个数可以不为四个，例如两个、三个、六个等，这里就不再一一列举。

上述第一壳体1和第二壳体2的具体形状可以有多种，可选的，第一壳体1为圆柱形；和/或，第二壳体2为圆柱形。也就是说：第一壳体1为圆柱形，第二壳体2壳体为方形、三角形等，或者第一壳体1为方形或三角形等，而第二壳体2为圆柱形，与其它形状的蒸发源相比，圆柱形的蒸发源便于坩埚均匀受热。

为了便于控制第一壳体1的温度，每个第一本体11内均设有加热单元和用于冷却第一本体11的冷却单元。

上述加热单元可以为加热丝等，冷却单元可以为设置于第一本体11内的冷却液循环管路。

为了更便于控制每个第一本体11的温度，上述蒸发源，还包括：

与第一本体11一一对应设置的开关，开关用于控制对应的第一本体11内的加热单元开启和关闭。将加热单元设置为单独控制，可以单独更换加热单元，成本较低且操作方便。

相邻的两个第一本体11和相邻的两个第二本体21之间可以通过多种方式实现拆卸连接，如图6所示，本发明提供了一种可选的实施方式中，任意相邻两个第一本体11之间通过卡口和卡扣相互连接；和/或，

任意相邻两个第二本体21之间通过卡口和卡扣相互连接、且相互连接处还设有紧固螺钉3，紧固螺钉3仅将相连两个第二本体21相互锁紧或紧固螺钉3将相连的第二本体21以及相连的第一本体11均锁紧。

上述紧固螺钉3可以仅仅穿过第二本体21抵在第一本体11上，即仅仅将两个第二本体21相互锁紧，也可以第一本体11和第二本体21均穿过，将两个第一本体11、两个第二本体21均锁紧。

一种可选的实施方式中，任意相邻两个第一本体11的连接处设有隔热垫片；和/或，

任意相邻两个第二本体21的连接处设有隔热垫片。隔热垫片的设置一方面可以减少热量流失，另一方面可以提高连接处的使用寿命。

本发明还提供了一种蒸镀设备，包括：上述任一项所述的蒸发源。由于上述蒸发源可以提高蒸发效率和显示装置的显示效果，故本发明提供的蒸镀设备，具有较好的蒸镀效果。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。