专利名称：片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方法
技术领域：
本发明涉及对铝电解电容器用的铝箔等片状工件连续地进行处理的片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方法。
背景技术：
作为对长条的片状工件连续地进行处理的片状工件连续处理装置，代表性的装置有在盐酸等处理液中对铝电解电容器用的铝箔等进行电解的连续蚀刻装置。在该连续蚀刻装置中，沿着铝箔的移动方向以水平姿势配置有多个辊，利用这样的辊规定铝箔的移动路径。并且，利用以水平姿势配置在蚀刻槽内的底部的辊，使铝箔以在上下方向若干次折返的方式进行移动，在此期间对铝箔进行蚀刻(参照专利文献I)。另外，在生产铝电解电容器用的阳极箔的连续化成装置中，也同样地沿着铝箔的移动方向以水平姿势配置有多个辊，利用这样的辊规定铝箔的移动路径，并且，利用以水平姿势配置在化成槽内的底部的辊使铝箔以在上下方向若干次折返的方式进行移动，在此期间对铝箔进行化成。专利文献I :日本特开2007-59827号公报(图I)
发明内容
但是，如现有的连续蚀刻装置和连续化成装置那样，在通过以水平姿势配置的辊使铝箔在上下方向若干次折返的结构的片状工件连续处理装置中，在切断了铝箔(片状工件)情况下，存在使铝箔再次通过蚀刻槽内或化成槽内的辊而要花费大量时间的问题。另外，如现有的连续蚀刻装置和连续化成装置那样，在通过以水平姿势配置的辊使铝箔在上下方向若干次折返的结构的情况下，存在铝箔的质量下降的问题。例如，在连续蚀刻装置的情况下，在通过辊折返的部分，成为电极不相对的无电解蚀刻状态而产生无用的溶解，使蚀刻倍率降低。另外，在连续化成装置的情况下，在通过辊折返的部分，对化成模 (阳极氧化膜)施加过大的负荷而产生裂纹，这样的裂纹成为漏电流增大的原因。鉴于以上的问题点，本发明的目的在于，提供一种片状工件连续处理装置，即使在连续处理中片状工件切断后，也能够容易地进行复原，并能够将片状工件的折返次数抑制在最小限度。为了解决上述课题，本发明的片状工件连续处理装置的特征在于，包括将多个长条的片状工件在以其宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，沿它们的长度方向连续送出的工件送出部；和使从所述工件送出部送出的所述多个片状工件，在以所述宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，连续通过处理液内的处理液贮存部。另外，本发明的片状工件连续处理方法的特征在于，将多个长条的片状工件在以其宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，沿其长度方向连续送出，使已送出的所述多个片状工件在以所述宽度方向朝向所述上下方向的姿势互而相并列的状态下，在贮存于处理液贮存部的处理液中连续地通过。本发明的“片状工件”是厚度尺寸比宽度尺寸小的工件，对厚度尺寸没有特别限定。通常，从数Pm的薄膜状工件到数100 的板状工件之间的厚度尺寸的工件均包含在片状工件中。另外，本发明的“连续送出”包括片状工件不停止地以规定的移动速度连续送出的情况、和片状工件定期或非定期地暂停并送出的情况(间歇性送出的情况)。本发明的片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方法中，将多个长条的片状工件在以其宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，连续地送出，并保持该状态使其在处理液中连续地通过。因此，由于不利用以水平姿势配置的辊使片状工件向上下方向若干次折返，因此即使在切断片状工件的情况下，使片状工件在处理液中再次通过也不需要大量时间。另外，由于片状工件保持其宽度方向朝向上下方向的姿势，因此出入处理液中不需要通过辊等若干次折返。因此，可以将片状工件的折返次数抑制在最小限度，因此能够抑制因片状工件的折返而造成的质量下降。另外，本发明中，与通过以水平姿势配置的辊使片状工件在处理液中在上下方向若干次折返的情况相比较，同时浸溃于处理液内的片状工件的长度变短，但由于同时处理多个片状工件，因此可以避免生产力的显著下降。在本发明中，优选所述处理液贮存部包括在所述片状工件的移动方向的上游侧具有使所述片状工件通过的入侧缝隙的入侧壁部分；和在所述片状工件的移动方向的下游侧具有使所述片状工件通过的出侧缝隙的出侧壁部分。在将宽度方向朝向上下方向使片状工件移动并进行处理的情况下，在从片状工件进入处理液贮存部的部位和片状工件离开处理液贮存部的部位产生处理液的渗漏，但如果片状工件进入处理液贮存部的部位和片状工件离开处理液贮存部的部位形成为缝隙状，就能够将处理液的渗漏抑制得较小。在本发明中，优选具有向所述处理液贮存部供给所述处理液的处理液供给装置； 和回收从所述处理液贮存部漏出的所述处理液的处理液回收装置。如果由处理液供给装置补给与从处理液贮存部内通过入侧缝隙和出侧缝隙漏出的处理液相对应的量的处理液，则可以将处理液贮存槽内的处理液的液面维持在规定位置。另外，由于将从处理液贮存部漏出的处理液回收到了处理液回收装置，因此可防止处理液无用的消耗。在本发明中，优选具有使由所述处理液回收装置回收的所述处理液回流到所述处理液贮存部的处理液回流路径。根据该结构，由于从处理液贮存部漏出的处理液又返回到处理液贮存部，因此将处理液贮存部内的处理液的液面维持在规定位置的控制比较容易。在本发明中，优选所述工件送出部具有多个一边围绕在上下方向延伸的中心轴线旋转一边使所述片状工件送出的竖放的送出辊，在所述片状工件的移动路径的下游侧，设有具有多个一边围绕在上下方向延伸的中心轴线旋转一边卷取所述片状工件的竖放的卷取辊的工件卷取部。根据该结构，能够有效地进行在将宽度方向朝向上下方向的状态下的片状工件的送出和片状工件的卷取。在本发明中，可以采用在所述处理液贮存部，配置有在与所述片状工件的移动方向交叉的方向相对的3个以上的电极，使所述片状工件一个一个地通过所述3个以上的电极中的彼此相对的电极之间来实施电解处理的结构。根据这样的结构，能够对片状工件进行电解处理。该情况下，优选在所述3个以上的电极中的配置于两端的电极之间施加交流电流，对所述多个片状工件各自的两面进行交流电解。根据这样的结构，能够简单地进行对电极的配线等。在本发明中，也可以采用对所述3个以上的电极中的将所述片状工件夹于其间地相对的2个电极施加交流电流，对所述多个片状工件各自的两面进行电流电解的结构。在本发明中，也可以采用在所述电极和所述片状工件之间施加直流电流，对所述多个片状工件各自的两面进行直流电解的结构。在本发明中，优选沿着所述片状工件的移动路径设置有多个所述处理液贮存部， 在所述多个处理液贮存部中的一部分的处理液贮存部对所述多个片状工件的每一个进行交流电解，在另一部分的处理液贮存部对所述多个片状工件的每一个进行直流电解。根据这样的结构，可以通过一台片状工件连续处理装置连续地进行对片状工件交流电解和直流电解。本发明应用于所述片状工件为铝电解电容器用的铝箔的情况时是特别有效的。该情况下，例如，作为对片状工件的电解，进行蚀刻处理或化成处理。根据这样的结构，能够防止连续蚀刻时在通过辊折返的部分产生的无电解蚀刻状态，所以能够提高蚀刻倍率。另外， 能够防止连续化成时在通过辊折返的部分的化成膜(阳极氧化膜)上产生裂纹。发明效果本发明的片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方法中，将多个长条的片状工件在使宽度方向朝向上下方向而相互并列的状态下连续地送出，并保持该状态使其在处理液中连续地通过。因此，即使在片状工件切断的情况下，使片状工件在处理液中再次通过也不需要大量时间。另外，由于片状工件的宽度方向朝向上下方向，因此出入处理液中不需要通过辊等若干次折返。因此，能够将片状工件的折返次数抑制在最小限度，因此能够抑制因片状工件的折返而造成的质量下降。另外，本发明中由于是同时处理多个片状工件，因此即使是将宽度方向朝向上下方向移动片状工件的结构，生产性也良好。
图I是示意性地表示本发明的铝箔连续处理装置的整体结构的俯视图2是表示本发明的铝箔连续处理装置的蚀刻处理部等的结构的说明图3是示意性地放大表示设于本发明的铝箔连续处理装置的洗净处理部的洗净液贮存部的一部分的立体图4是表示本发明的铝箔连续处理装置的化成处理部等的结构的说明图。
符号说明
20工件送出部
30蚀刻处理部
33电极(蚀刻用电极)
35蚀刻液贮存部(处理液贮存部)
36蚀刻液供给装置(处理液供给装置)
37蚀刻液回收装置(处理液回收装置)
39蚀刻液回流路径(处理液回流路径)
40洗净处理部
45洗净液贮存部(处理液贮存部)
46洗净液供给装置(处理液供给装置)
47洗净液回收装置(处理液回收装置)
49洗净液回流路径(处理液回流路径)
50化成处理部
53电极(化成用电极)
55化成液贮存部
56化成液供给装置(处理液供给装置)
57化成液回收装置(处理液回收装置)
59化成液回流路径(处理液回流路径)
70工件卷取部
100铝箔连续处理装置(片状工件连续处理装置)
351s、451s、551s 入侧缝隙
351、451、551入侧壁部分
352s、452s、552s 出侧缝隙
352、452、552出侧壁部分
F铝箔(片状工件)
Q卷取辊
R送出辊
L3蚀刻液(处理液)
L4洗净液(处理液)
L5化成液(处理液)具体实施方式
下面，参照附图对应用了本发明的片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方
法进行说明。另外，在下面的说明中，作为片状工件例示了对铝电解电容器用的铝箔进行各种处理的情况。另外，在下面参照的附图中，相互交叉的三个方向(X方向、Y方向和Z方向)中，设招箔的宽度方向即上下方向为Z方向、从送出部送出招箔的方向为X方向，与从送出部送出铝箔时的铝箔的宽度方向垂直的方向为Y方向进行说明。另外，铝箔的移动方向用箭头D表示。(整体结构)图I是示意性地表示铝箔连续处理装置的整体结构的俯视图。图I表示的铝箔连续处理装置100是对铝电解电容器用的铝箔F(F1、F2、F3)连续地进行蚀刻处理、洗净处理和化成处理的片状工件连续处理装置。在铝箔连续处理装置100中，沿着铝箔F(F1、F2、F3) 的输送路径从上游侧向下游侧依次设有工件送出部20、蚀刻处理部30、洗净处理部40、化成处理部50、干燥部60和工件卷取部70。在蚀刻处理部30与洗净处理部40之间，配置有使铝箔F的输送方向成直角弯曲向Y方向的导向辊95。在洗净处理部40与化成处理部50 之间，配置有使铝箔F的输送方向成直角弯曲并向铝箔F1、F2、F3进行供电的供电辊69。在铝箔连续处理装置100中，铝箔F(F1、F2、F3)保持长条状(带状)的状态被连续处理，且同时处理多张铝箔F(Fl、F2、F3)。本例中同时处理3张铝箔FI、F2、F3，但铝箔
7F的张数也可以为2张或4张以上。(铝箔送出部20)图2 (a)是示意性地表示铝箔连续处理装置100的蚀刻处理部30的电极等的配置的俯视图，图2(b)是示意性地放大表示设于蚀刻处理部30的蚀刻液贮存部的一部分的立体图。参照图I和图2进行说明时，工件送出部20以竖放姿势配置有一边如箭头Ra所示围绕在上下方向延伸的中心轴线La旋转一边分别送出铝箔F (Fl、F2、F3)的3个送出辊 R(R1、R2、R3)。送出辊R(R1、R2、R3)各自在使铝箔F(F1、F2、F3)的宽度方向朝向上下方向(Z方向)而相互并列的状态下沿长度方向将铝箔F(F1、F2、F3)连续地送出。另外，自送出辊R(R1、R2、R3)的铝箔F(F1、F2、F3)的送出，例如通过从设于工件送出部20后段的驱动辊11或设于比驱动辊11更靠后段的驱动辊(未图示)等的驱动装置施加在铝箔F(F1、 F2、F3)上的力等来进行。(蚀刻处理部30)在蚀刻处理部30中，沿着铝箔F (Fl、F2、F3)的输送路径从上游侧向下游侧依次设有第一蚀刻处理部311、蚀刻液洗净处理部312和第二蚀刻处理部313。第一蚀刻处理部 311和蚀刻液洗净处理部312具有大致相同的结构，蚀刻液洗净处理部312和后述的洗净处理部40具有大致相同的结构。蚀刻处理部30是在含有盐酸之外的添加剂的蚀刻液L3中对未蚀刻的铝箔F (Fl、 F2、F3)进行交流蚀刻的区域。因此，在第一蚀刻处理部311和第二蚀刻液洗净处理部312 的任一个中都设有使多个铝箔F(F1、F2、F3)在以使各自的宽度方向朝向上下方向(Z方向) 的方式相互并列的状态下连续通过的蚀刻液贮存部35。蚀刻液贮存部35中贮存有蚀刻液 L3。如图2所示，蚀刻液贮存部35包括在铝箔F(F1、F2、F3)的移动方向的上游侧具有使铝箔F(F1、F2、F3)分别通过的3条入侧缝隙351s的入侧壁部分351。另外，蚀刻液贮存部35包括在铝箔F (Fl、F2、F3)的移动方向的下游侧具有使铝箔F (Fl、F2、F3)分别通过的 3条出侧缝隙352s的出侧壁部分352。此外，蚀刻液贮存部35包括在铝箔F(F1、F2、F3)的厚度方向(Y方向)的两侧相对的一对侧壁部分353、和位于铝箔F(F1、F2、F3)的下方的底壁部分355。侧壁部分353和底壁部分355由例如由FRP等构成的抗腐蚀性板材构成。入侧壁部分351的入侧缝隙351s以外的部分利用由FRP等构成的抗腐蚀性板材 35Ip堵住。出侧壁部分352和入侧壁部分351 —样，除了出侧缝隙352s以外的部分也利用由FRP等构成的抗腐蚀性板材352p堵住。在蚀刻液贮存部35中，难以完全阻止蚀刻液L3从入侧缝隙351s、出侧缝隙352s 漏出。因此，在蚀刻液贮存部35附设有供给蚀刻液L3的蚀刻液供给装置36、回收从蚀刻液贮存部35漏出的蚀刻液L3的蚀刻液回收装置37、和使由蚀刻液回收装置37回收的蚀刻液L3通过泵391回流到蚀刻液贮存部35的蚀刻液回流路径39 (处理液回流路径)。蚀刻液供给装置36具有预先贮存已调配好的蚀刻液L3的容器361和泵362。蚀刻液回流路径 39也可以采用使由蚀刻液回收装置37回收的蚀刻液L3经过调整后，经由蚀刻液供给装置 36回流到蚀刻液贮存部35的结构。在第一蚀刻处理部311和第二蚀刻处理部312任一个中，都在蚀刻液贮存部35，配置有在与铝箔F(F1、F2、F3)的移动方向(X方向)交叉的方向(本例中，正交的Y方向)相对的多个电极33 (蚀刻用电极)，铝箔F(F1、F2、F3) —个一个地从多个电极33 (331 334) 中的彼此相对的电极之间通过。在本例中，作为电极33配置有4个电极331、332、333、334， 位于Y方向的两端的电极331、334被保持于蚀刻液贮存部35的一对侧壁部分353。从而，3 张铝箔Fl F3中的铝箔Fl从电极331、332之间通过，铝箔F2从电极332、333之间通过， 铝箔F3从电极333、334之间通过。电极33(331 334)由碳精棒等在蚀刻时不被电腐蚀的材质构成。另外，4个电极33中，在最两侧的电极331、334上施加交流电，在内侧的另外的电极332、333上不进行供电，电极332、333处于电浮动状态。进而，在电极331、334施加正负的波形对称的交流电流。其结果，3张铝箔的F (Fl F3)任何一个的两面都被交流电解(交流蚀刻)，其实质性的面积被扩大。根据这样的结构，也可以不向4个电极331 334中的配置于两侧的电极 331、334以外的电极332、333和铝箔F(F1 F3)进行供电。因此，能够简化装置结构。另外，因为只对一部分电极331、334连接配线即可，所以在电极33(331 334)的更换等维护时，不用花费太多时间。进而，因为只对一部分电极331、334连接配线即可，因此不会产生对于各电极33(331 334)的配线电阻等的平衡崩溃的情况。因此，使对于铝箔F(Fl F3)的蚀刻电流密度稳定。(洗净处理部40)图3是示意性地放大表示设于洗净处理部40的洗净液贮存部的一部分的立体图。参照图I和图3进行说明时，在利用喷淋器91洗净在蚀刻处理部30被蚀刻后的铝箔 F(Fl F3)即铝箔Fe后，再供给向洗净处理部40。在洗净处理部40设有多个洗净处理部411 417、预备干燥部42、和热处理部43。多个洗净处理部411 417中，洗净处理部 411,417是使铝箔F(F1 F3)在纯水中通过的纯水洗净处理部，洗净处理部413、415是使铝箔F在酸或碱等化学性洗净液中通过的化学性洗净处理部，洗净处理部412、416是基于喷淋器的纯水洗净处理部。洗净处理部411、413、415、417的基本构造相同，如图3所示，设有使多个铝箔 F(F1 F3)在使它们的宽度方向朝向上下方向(Z方向)而相互并列的状态下连续地通过的洗净液贮存部45。洗净液贮存部45中贮存有洗净液L4。洗净液贮存部45包括在铝箔F (Fl F3)的移动方向的上游侧具有使铝箔F (Fl F3)通过的入侧缝隙451s的入侧壁部分451、在铝箔F (Fl F3)的移动方向的下游侧具有使铝箔F(Fl F3)通过的出侧缝隙452s的出侧壁部分452、在铝箔F(Fl F3)的厚度方向(Y方向)两侧相对的一对侧壁部分453和位于铝箔F(Fl F3)的下方的底壁部分455。 侧壁部分453和底壁部分455例如由FRP等的抗腐蚀性板材构成。入侧壁部分451除了入侧缝隙451s以外的部分，利用由FRP等构成的抗腐蚀性板材45Ip堵住。出侧壁部分452和入侧壁部分451 —样，除了出侧缝隙452s以外的部分，利用由FRP等构成的抗腐蚀性板材452p堵住。在洗净液贮存部45难以完全阻止洗净液L4的渗漏。因此，在洗净液贮存部45附设有向该洗净液贮存部45供给洗净液L4的洗净液供给装置46、回收从洗净液贮存部45漏出的洗净液L4的洗净液回收装置47、和使由洗净液回收装置47回收的洗净液L4通过泵 491回流到洗净液贮存部45的洗净液回流路径49 (处理液回流路径)。洗净液供给装置46具有预先贮存洗净液L4的容器461和泵462。也可以按照使由洗净液回收装置47回收的洗净液L4经由洗净液供给装置46回流到洗净液贮存部45的方式构成洗净液回流路径49。(化成处理部50)图4(a)是示意性地表示化成处理部50的电极等配置的俯视图，图4(b)是示意性地放大表示设于化成处理部50的化成液贮存部的一部分的立体图。如图I和图4所示，在化成处理部50，沿着铝箔F(F1 F3)的输送路径从上游侧朝向下游侧设有4个化成处理部511、512、513、514，在化成处理部514的下游侧设有干燥部60。在化成处理部50中，在化成处理部511、512之间依次设有纯水洗净处理部521、液中去极化(7*° 7 -tf - V 3 > )部522和纯水洗净处理部523，在化成处理部512、513之间依次设置有纯水洗净处理部524、液中去极化部525和纯水洗净处理部526。在化成处理部513、514之间依次设有纯水洗净处理部527和热处理部54，在化成处理部514与干燥部 60之间依次设有纯水洗净处理部528、529。纯水洗净处理部521、523、524、526、528、529以及液中去极化部522、525的结构与洗净处理部40 —样，为图3表示的结构。4个化成处理部511、512、513、514为大致相同的结构。化成处理部50(化成处理部511、512、513、514)是在己二酸铵水溶液、磷酸铵水溶液、硼酸铵水溶液等的化成液L5中对在蚀刻处理部30中进行了蚀刻的铝箔F (铝箔Fe)进行化成(直流电解/阳极氧化)的区域。在化成处理部50设有使多个铝箔F(F1 F3)在使它们的宽度方向朝向上下方向(Z方向)而相互并列的状态下连续通过的化成液贮存部 55，化成液贮存部55中贮存有蚀刻液L5。化成液贮存部55包括在铝箔F(F1 F3)的移动方向的上游侧具有使铝箔 F(Fl F3)通过的入侧缝隙551s的入侧壁部分551、在铝箔F(F1 F3)的移动方向的下游侧具有使铝箔F(F1 F3)通过的出侧缝隙552s的出侧壁部分552、在铝箔F(F1 F3) 的厚度方向(Y方向)两侧相对的一对侧壁部分553、和位于铝箔F(F1 F3)的下方的底壁部分555。侧壁部分553和底壁部分555由例如不锈钢等的抗腐蚀性板材构成。入侧壁部分551除了入侧缝隙551s以外的部分利用由FRP或不锈钢等构成的抗腐蚀性板材551p堵住。出侧壁部分552与入侧壁部分551 —样，除了出侧缝隙552s以外的部分也利用由FRP或不锈钢等构成的抗腐蚀性板材552p堵住。在化成液贮存部55难以完全阻止化成液L5的渗漏。因此，在化成液贮存部55附设有向该化成液贮存部55供给化成液L5的化成液供给装置56、回收从化成液贮存部55漏出的化成液L5的化成液回收装置57、和使由化成液回收装置57回收的化成液L5通过泵 591回流到化成液贮存部55的化成液回流路径59 (处理液回流路径)。化成液供给装置56 具有预先贮存有已调配好的化成液L5的容器561和泵562。也可以按照使由化成液回收装置57回收的化成液L5经由化成液供给装置56回流到化成液贮存部55的方式构成化成液回流路径59。在化成处理部511、512、513、514任一个中，都在化成液贮存部55，配置有在与铝箔F(F1 F3)的移动方向(X方向)交叉的方向(本例中，正交的Y方向)相对的多个电极53，铝箔F—个一个地从多个电极53中的彼此相对的电极53之间通过。本例中，作为电极53具有4个电极531、532、533、534，位于最两侧的电极531、534被保持在化成液贮存部55的一对侧壁部分553上。因此，3张铝箔F(Fl F3)中的铝箔Fl从电极531、532之间通过，铝箔F2从电极532、533之间通过，铝箔F3从电极533、534之间通过。铝箔F(Fl F3)与电极53 (电极531、532、533、534)相比被设为高电位。具体而言，采用利用供电辊69对铝箔F(F1 F3)施加接地电压、对电极53 (电极531、532、533、 534)施加负电位的结构。或者，采用利用供电辊69对铝箔F(F1 F3)施加正电压、对电极53 (电极531、532、533、534)施加接地电位的结构。因此，3张铝箔F的任何一个的两面都被直流电解(阳极氧化)而成为化成箔Ff，在这样的化成箔Ff的两面上形成有电介质层 (氧化铝)。(卷取部70)参照图I和图4(b)说明时，卷取部70配置有一边如箭头Qa所示以在上下方向延伸的中心轴线Lb为中心旋转一边卷取铝箔F(F1 F3)的3个卷取辊Q(Q1、Q2、Q3)。卷取辊Ql、Q2、Q3和送出辊Rl、R2、R3具有一对一的关系，卷取辊Ql、Q2、Q3分别卷取在将它们的宽度方向朝向上下方向(Z方向)而相互并列的状态下移动的铝箔F(F1、F2、F3)。具体而言，卷取辊Ql卷取从送出辊Rl送出的铝箔Fl，卷取辊Q2卷取从送出辊R2送出的铝箔 F2，卷取辊Q3卷取从送出辊R3送出的铝箔F3。(处理动作)在铝箔连续处理装置100中，将多个长条形的铝箔F (Fl F3)作为未蚀刻箔在使它们的宽度方向朝向上下方向(Z方向)而相互并列的状态下从工件送出部20沿长度方向连续送出。另外，使已送出的多个铝箔F(F1 F3)保持其宽度方向朝向上下方向(Z方向) 而相互并列的状态一边从蚀刻液L3、洗净液L4和化成液L5中连续地通过，一边进行蚀刻处理、洗净处理和化成处理。其结果，在卷取部70，保持其宽度方向朝向上下方向(Z方向) 的状态将3个铝箔F(Fl F3)分别作为化成箔Ff而卷取。(作用效果)如以上说明，在铝箔连续处理装置100中，不会通过以水平姿势配置的辊将铝箔F 在上下方向若干次折返。因此，即使铝箔F切断的情况下，使铝箔F再次在处理液中通过也不需要太多的时间。另外，铝箔F由于使其宽度方向朝向上下方向，因此在出入处理液时不需要通过辊等在上下方向折返，可以将铝箔F的折返次数抑制在最小限度。因此可以抑制铝箔F的因折返而造成的质量下降。例如，在蚀刻处理部30进行连续蚀刻时，可以防止在基于辊的折返部分产生的无电解蚀刻状态，因此可以提高蚀刻倍率。另外，在化成处理部50进行连续化成时，可以防止在基于辊的折返部分，在化成膜(阳极氧化膜)上产生裂纹。另外，由于铝箔F的折返次数较少，因此，即使作为铝箔F使用150 ii m 200 u m厚度的铝箔的情况下，也不会对铝箔F施加过大的力。因此，即使是150 ii m 200 U m程度的厚的铝箔F的情况，也不会产生箔断裂。在此，与通过以水平姿势配置的辊而使铝箔F在上下方向若干次折返的情况相比较，同时浸溃于处理液(蚀刻液L3、洗净液L4、化成液L5)内的铝箔F的长度变短。但是， 因为同时处理多个铝箔F，所以可以避免生产力的显著下降。另外，在处理液贮存部(蚀刻液贮存部35、洗净液贮存部45、化成液贮存部55) 中，铝箔F从入侧缝隙(入侧缝隙351s、451s、551s)进入，从出侧缝隙(出侧缝隙352s、452s,552s)出来。因此，在使宽度方向朝向上下方向地使铝箔F移动并进行处理时，处理液从铝箔F进入处理液贮存部的部位和铝箔F离开处理液贮存部的部位产生渗漏。但是，因为铝箔F进入处理液贮存部的部位和铝箔F离开处理液贮存部的部位是缝隙状的，所以能够将处理液的渗漏抑制在较少。另外，由于设有向处理液贮存部(蚀刻液贮存部35、洗净液贮存部45、化成液贮存部55)供给处理液的处理液供给装置，因此能够仅以从处理液贮存部渗漏部分的处理液的量，将处理液补充给处理液供给装置。因此，能够将处理液的液面维持在规定位置。另外， 由于具有处理液回收装置(蚀刻液回收装置37、洗净液回收装置47、化成液回收装置57)， 因此能够防止处理液的浪费。另外，因为具有使由处理液回收装置回收的处理液回流到处理液贮存部的处理液回流路径(蚀刻液回流路径39、洗净液回流路径49、化成液回流路径 59)，所以能够使从处理液贮存部渗漏的处理液返回到处理液贮存部。因此，能够将维持处理液的液面处于规定位置时的处理液的浪费抑制在较少。另外，送出部20具有多个一边绕上下方向延伸的中心轴线旋转一边使铝箔F送出的竖放的送出辊R，卷取部70具有多个一边绕上下方向延伸的中心轴线旋转一边卷取铝箔 F的竖放的卷取辊Q。因此，即使在将宽度方向朝向上下方向使铝箔F移动并进行处理的情况下，也可以有效地进行铝箔F的送出和铝箔F的卷取。在铝箔连续处理装置100中，沿着铝箔F的移动路径设置多个处理液贮存部，在多个处理液贮存部中的一部分的处理液贮存部(蚀刻液贮存部35)，对多个铝箔F的每一个进行交流电解，在另一部分的处理液贮存部(化成液贮存部55)，对多个铝箔F的每一个进行直流电解。因此，可以通过一台铝箔连续处理装置100进行对铝箔F的交流电解和直流电解。[其它实施方式]在上述实施方式的铝箔连续处理装置100中，利用一台进行所有的蚀刻处理、洗净处理和化成处理。取而代之，也可以将本发明应用于利用一台只进行蚀刻处理和洗净处理的装置(连续蚀刻装置)，或只进行化成处理和洗净处理的铝箔连续处理装置(连续化成装置)。在上述实施方式的铝箔连续处理装置100中，作为交流电解进行交流蚀刻，作为直流电解进行化成(阳极氧化)，但本发明也可以应用与作为交流电解进行交流蚀刻、作为直流电解进行直流蚀刻的铝箔连续处理装置(连续蚀刻装置)。在上述实施方式的铝箔连续处理装置100中，当进行交流蚀刻时，只对电极33(电极331、332、333、334)中的最两侧的电极331、334施加交流，但也可以向电极331、332、333、 334供给交流电流，将铝箔F设定成接地电位。或者也可以在电极33 (电极331、332、333、 334)和铝箔F之间施加交流。在上述实施方式的铝箔连续处理装置100中，在蚀刻处理部30和化成处理部50 的中途都没有基于辊的弯曲部分，但如果是铝箔F的质量不会产生大幅下降的程度，则也可以在蚀刻处理部30和化成处理部50的中途设置基于辊的弯曲部分。具体而言，如果基于辊的弯曲部分的数量为3次以下，则可以将铝箔F的质量降低抑制在较小。上述实施方式的铝箔连续处理装置100是在对铝箔F的连续处理装置中应用了本发明的装置。取而代之，也可以将本发明应用于作为片状工件，对铝箔之外的金属箔、塑料制片材等实施电解或电解以外的处理的连续处理装置等中。
权利要求
1.一种片状工件连续处理装置，其特征在于，包括工件送出部，其将多个长条的片状工件在以其宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，沿它们的长度方向连续送出；和处理液贮存部，其使从所述工件送出部送出的所述多个片状工件，在以所述宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，连续通过处理液内。
2.如权利要求I所述的片状工件连续处理装置，其特征在于所述处理液贮存部包括在所述片状工件的移动方向的上游侧具有使所述片状工件通过的入侧缝隙的入侧壁部分；和在所述片状工件的所述移动方向的下游侧具有使所述片状工件通过的出侧缝隙的出侧壁部分。
3.如权利要求2所述的片状工件连续处理装置，其特征在于，具有向所述处理液贮存部供给所述处理液的处理液供给装置；和回收从所述处理液贮存部的所述入侧缝隙和所述出侧缝隙漏出的所述处理液的处理液回收装置。
4.如权利要求3所述的片状工件连续处理装置，其特征在于，具有使由所述处理液回收装置回收的所述处理液回流到所述处理液贮存部的处理液回流路径。
5.如权利要求I所述的片状工件连续处理装置，其特征在于所述工件送出部具有多个送出辊，该送出辊一边围绕沿所述上下方向延伸的中心轴线旋转一边送出所述片状工件，在所述片状工件的移动路径的下游侧设有工件卷取部，该工件卷取部具有多个卷取辊，该卷取辊一边围绕沿所述上下方向延伸的中心轴线旋转一边卷取所述片状工件。
6.如权利要求I所述的片状工件连续处理装置，其特征在于在所述处理液贮存部具有在与所述片状工件的移动方向交叉的交叉方向以规定的间隔配置的至少3个电极，所述片状工件一个一个地通过所述电极中的彼此相对的电极之间而被实施电解处理。
7.如权利要求6所述的片状工件连续处理装置，其特征在于在所述电极中的配置于所述交叉方向的两端的一对两端电极之间施加交流电流，对所述多个片状工件各自的两面进行交流电解。
8.如权利要求6所述的片状工件连续处理装置，其特征在于在所述电极中的将所述片状工件夹于其间的相对的2个电极施加交流电流，对所述多个片状工件各自的两面进行交流电解。
9.如权利要求6所述的片状工件连续处理装置，其特征在于在所述电极与所述片状工件之间施加直流电流，对所述多个片状工件各自的两面进行直流电解。
10.如权利要求6所述的片状工件连续处理装置，其特征在于沿着所述片状工件的移动路径设有多个所述处理液贮存部，在所述多个处理液贮存部中的一部分的处理液贮存部，对所述多个片状工件的每一个进行交流电解，在另一部分的处理液贮存部，对所述多个片状工件的每一个进行直流电解。
11.如权利要求6 10中任一项所述的片状工件连续处理装置，其特征在于所述片状工件是铝电解电容器用的铝箔。
12.—种片状工件连续处理方法，其特征在于将多个长条的片状工件，在以其宽度方向朝向上下方向的姿势相互并列的状态下，沿其长度方向连续送出，使已送出的所述多个片状工件在以所述宽度方向朝向所述上下方向的姿势相互并列的状态下，连续地通过贮存于处理液贮存部的处理液中。
全文摘要
本发明提供一种片状工件连续处理装置，能够在连续处理中容易地进行切断的片状工件的复原，并且能够在将折返次数抑制在最小限度的状态下进行片状工件的连续处理。在本发明的铝箔连续处理装置(100)中，将多个长条的铝箔(F)在以其宽度方向朝向上下方向(Z方向)的姿势而相互并列的状态下沿其长方向连续送出。使已送出的多个铝箔(F)在以宽度方向朝向上下方向(Z方向)而相互并列的状态下连续地从贮存于蚀刻液贮存部(35)的蚀刻液L(3)中通过。铝箔F相对于蚀刻液贮存部(35)从入侧缝隙(351s)进入从出侧缝隙(352s)出来。
文档编号H01G9/055GK102592833SQ20121000898
公开日2012年7月18日 申请日期2012年1月12日 优先权日2011年1月13日
发明者片野雅彦 申请人:日本轻金属株式会社