一种低温式真空镀膜机的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种低温式真空镀膜机。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，传统电热膜都是通过高温喷涂的方式进行生产，由于电热膜的生产环境都较高，因此，电热膜目前只能应用于耐高温的材料，如石英、玻璃、陶瓷等，限制了电热膜技术的应用，而且现有的镀膜设备在镀膜时采用自然冷却的方法，这样造成镀膜时间较长，并且镀膜设备不能够根据需要镀膜的靶材的大小来进行尺寸调节，使用性相对单一，不能够对任何尺寸通用。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种低温式真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种低温式真空镀膜机，包括置物平台、水泵、电机支撑底座、集水箱、冷凝回流管架和真空炉，所述支撑底座的顶端安装有电机箱，且电机箱内部底端的中间位置处安装有电机，所述电机箱顶端的中间位置处安装有真空炉，且真空炉内部底端的中间位置处安装有旋转底座，所述旋转底座的顶端安装有集水箱，且集水箱的顶端安装有冷凝回流管架，所述集水箱内部一侧的底端安装有水泵，且水泵通过导管与冷凝回流管架一侧的底端相连通，所述冷凝回流管架内部顶端的中间位置处安装有冷凝装置，且冷凝回流管架顶端的中间位置处安装有温度传感器，所述冷凝回流管架远离水泵一侧的底端与集水箱另一侧的顶端相连通，所述电机的顶端竖向安装有转轴依次穿过旋转底座和集水箱，且转轴的顶端与冷凝回流管架内部的顶端相连接，所述冷凝回流管架内部的转轴的两侧均设置有滑轨，且冷凝回流管架内部的转轴上均匀安装有置物平台，所述置物平台内部的两侧均安装有滑块与滑轨相连接，所述真空炉远离水泵一侧的底端安装有控制箱，且控制箱上方的真空炉的顶端安装有真空管，所述真空管下方的真空炉上安装有第二固定架，且第二固定架的内部竖向安装有真空泵与真空管相连接，所述真空炉远离真空管一侧的顶端安装有加气管，且加气管下方的真空炉上安装有第一固定架，所述第一固定架的内部竖向安装有风机与加气管相连接，所述真空炉的一侧安装有侧门，且侧门的中间位置处设置有可视窗口。

优选的，所述置物平台的底端均安装有支撑架。

优选的，所述电机箱的内壁安装有绝缘橡胶层，且电机箱的表面均匀设置有散热孔。

优选的，所述加气管和真空管的内部均安装有滤网。

优选的，所述侧门与真空炉的交接处安装有密封橡胶环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该低温式真空镀膜机通过安装有集水箱、水泵、冷凝回流管架、冷凝装置，在使用时集水箱内的水通过水泵抽入冷凝回流管架内，对置物平台上的靶材进行冷却降温，并且冷凝装置使得水温度一直温度恒定，使得靶材上的膜快速冷却成型，这样不仅加速了镀膜速率，并且保证了装置内部的温度恒定，同时装置通过安装有滑块、滑轨、置物平台，使得可以调节置物平台之间的距离，便于任何尺寸大小的物体进行镀膜，方便快捷，同时装置通过安装有侧门、可视窗口，使得便于随时观察装置内部的变化且便于对装置进行检修。

附图说明

图1为本实用新型的结构正视剖面示意图；

图2为本实用新型的结构正视示意图；

图中：1-温度传感器；2-第一固定架；3-滑轨；4-置物平台；5-滑块；6-转轴；7-水泵；8-旋转底座；9-电机；10-支撑底座；11-电机箱；12-控制箱；13-集水箱；14-冷凝回流管架；15-第二固定架；16-冷凝装置；17-加气管；18-风机；19-侧门；20-真空炉；21-可视窗口；22-真空泵；23-真空管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种低温式真空镀膜机，包括置物平台4、水泵7、电机9支撑底座10、集水箱13、冷凝回流管架14和真空炉20，支撑底座10的顶端安装有电机箱11，电机箱11的内壁安装有绝缘橡胶层，且电机箱11的表面均匀设置有散热孔，便于散热且防止漏电，且电机箱11内部底端的中间位置处安装有电机9，电机9的型号为Y355L1-2，电机箱11顶端的中间位置处安装有真空炉20，且真空炉20内部底端的中间位置处安装有旋转底座8，旋转底座8的顶端安装有集水箱13，且集水箱13的顶端安装有冷凝回流管架14，集水箱13内部一侧的底端安装有水泵7，且水泵7通过导管与冷凝回流管架14一侧的底端相连通，冷凝回流管架14内部顶端的中间位置处安装有冷凝装置16，且冷凝回流管架14顶端的中间位置处安装有温度传感器1，温度传感器1的型号为WRM-101，冷凝回流管架14远离水泵7一侧的底端与集水箱13另一侧的顶端相连通，电机9的顶端竖向安装有转轴6依次穿过旋转底座8和集水箱13，且转轴6的顶端与冷凝回流管架14内部的顶端相连接，冷凝回流管架14内部的转轴6的两侧均设置有滑轨3，且冷凝回流管架14内部的转轴6上均匀安装有置物平台4，置物平台4的底端均安装有支撑架，增加了置物平台4的稳定性，置物平台4内部的两侧均安装有滑块5与滑轨3相连接，真空炉20远离水泵7一侧的底端安装有控制箱12，且控制箱12上方的真空炉20的顶端安装有真空管23，真空管23下方的真空炉20上安装有第二固定架15，且第二固定架15的内部竖向安装有真空泵22与真空管23相连接，真空炉20远离真空管23一侧的顶端安装有加气管17，加气管17和真空管23的内部均安装有滤网，防止有杂质进入影响镀膜，且加气管17下方的真空炉20上安装有第一固定架2，第一固定架2的内部竖向安装有风机18与加气管17相连接，真空炉20的一侧安装有侧门19，侧门19与真空炉20的交接处安装有密封橡胶环，保证工作环境的密封性，且侧门19的中间位置处设置有可视窗口21。

工作原理：使用时，接通外接电源，根据靶材的大小滑动置物平台4，然后将靶材固定在置物平台4上，通过真空泵22将真空炉20内的气体抽出，然后将蒸发的膜的气体从加气管17通过抽入真空炉20内，启动电机9带动真空炉20内的旋转底座8、集水箱13、冷凝回流管架14、转轴6和置物平台4一起转动，集水箱13内的水通过水泵7抽入冷凝回流管架14内，对置物平台4上的靶材进行冷却降温，并且冷凝装置16使得水温度一直恒定，使得靶材上的膜快速冷却成型，这样不仅加速了镀膜速率，并且保证了装置内部的温度恒定。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。