火焰水解蒸镀装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种火焰水解蒸镀装置，更详细地说，涉及一种能够防止蒸镀物飞散、提高蒸镀效率的火焰水解蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]一般地说，光通信系统中使用光耦合器、光开关，WDM/FDM等各种光部件，为了制作这种光部件，需形成优质的光波导膜。
[0003]用于光通信的光波导及平面型光波导元件为使用在如下情况的、在光通信系统中起到重要作用的元件:将从半导体激光发出的光线有效地结合到光纤维而最小化光损失，或者使得具有不同波长的光信号多路复用(multiplexing)而传送到一个光纤维，将通过光纤维传送的(多个渠道的)光信号分离为各自不同的波长，或与被动光元件之间的有效全士么云口口 ο
[0004]尤其，在开发根据波长多路复用的lOGbps以上的超高速光通信系统时，对系统的性能产生绝对影响，属于用于系统构成的、必需的核心部件。
[0005]为了制作起到这种重要功能的光波导或波导型光元件，必需形成具有与光纤维相似的折射率分布及结构的波导膜，为此，必需形成由Si02构成的金属保护(Clad)层及掺杂Ge02，P205，B203，Τ?02的核心(Core)层构成的二氧化硅厚膜。
[0006]作为这种二氧化娃厚膜(silica Thick Films)的形成方法，公开有使用了火焰水解蒸镀(Flame Hydrolysis Deposit1n)的方法。火焰水解蒸镀方法是，根据供应到吹管的氢及氧的反应而形成火焰，对注入到该吹管的SiCl4& GeCl 4等化合物进行火焰水解蒸镀，从而在晶片上生成Si02及其他氧化物掺杂物质的方式。
[0007]S卩，对作为气体的反应化合物进行火焰水解蒸镀，从而生成固体的光波导物质并在晶片上进行蒸镀的方法。
[0008]利用这种火焰水解来蒸镀厚膜的装置已记载于韩国授权专利10-0221550号等。
[0009]记载于上述授权专利的火焰水解蒸镀装置的基本构成包括:吹管，用于火焰水解蒸镀；台子，用于变更吹管与晶片的相对位置；转盘，用于使晶片旋转；及排气部，用于排气。
[0010]但是，用于火焰水解蒸镀的吹管及排气部是相互隔离的，因此，反应生成物(即固体粒子)不仅飞散到晶片的上部，还飞散到边缘部，浪费了材料并增加了制造费用，同时，装置受到飞散的生成物的污染，在执行反复的蒸镀工艺之前，需清洗该装置，导致生产率下降。
[0011]并且，针对被蒸镀的反应物的厚度均匀性而言，根据吹管的火焰水解蒸镀能力、供应的气体量、晶片的旋转速度、排气量等多种变量的调整而实现，但排气部被隔离而位于吹管的相反面，因此不易于调整排气量。
[0012]同时，吹管因火焰的发生等原因，其寿命比其他部件短，更换时，需更换整个吹管，因此会增加费用，在更换吹管的时间内，工艺会停止而导致生产率的下降。
[0013]同时，现有的吹管因用于发生火焰的燃烧气体及反应气体由相同的路径流入，在供应的气体被混合的状态下进行处理，因此反应率较低。
[0014]并且，现有的火焰水解蒸镀装置一次只能制作一个基板，收率(Yield)较低，不利于大量生产，发生根据高温作业的转台16的热变形或根据热膨胀的光元件的翘曲等，导致不良率较高。
【实用新型内容】
[0015](要解决的技术问题)
[0016]考虑到所述问题的本实用新型所要解决的技术问题是提供如下的一种火焰水解蒸镀装置:能够防止生成物的飞散而减少材料的浪费，能够进行连续工艺。
[0017]同时，本实用新型所要解决的另一技术问题是提供一种如下的火焰水解蒸镀装置:可细微地调整排气量而能够确保被蒸镀的厚膜的厚度均匀性。
[0018]并且，本实用新型所要解决的又一技术问题是提供一种如下的火焰水解蒸镀装置:能够延长主要部件即吹管的寿命，能够划分气体的供应路径而易于火焰的产生，能够提尚反应率。
[0019]并且，本实用新型提供一种如下的火焰水解蒸镀装置:能够同时处理多个基板并防止转盘的热变形。
[0020](解决问题的手段)
[0021]用于解决如所述的技术问题的本实用新型的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，作为通过吹管产生火焰并进行加水分解反应气体来生成生成物而蒸镀在晶片上的火焰水解蒸镀装置，所述吹管通过多个被分开的分歧管而被供应所述反应气体及用于生成所述火焰的燃烧气体，吹管下端的外侧与拆卸式的保护管结合而能够选择性地仅更换所述保护管。
[0022]根据本实用新型一实施例的的火焰水解蒸镀装置，作为通过吹管产生火焰并加水分解反应气体从而生成生成物蒸镀在晶片上的火焰水解蒸镀装置，所述吹管通过多个被分开的分歧管而被供应所述反应气体及用于生成所述火焰的燃烧气体，吹管下端的外侧与拆卸式的保护管结合而能够选择性地仅更换所述保护管。
[0023]优选地，所述吹管包括:多个喷射管，各自的上部侧相互连接，剖面为同心圆，下端是开放的；及多个分歧管，选择性地配置于所述多个喷射管，分别将所述反应气体及所述燃烧气体供应到所述喷射管。
[0024]优选地，在所述吹管的下端外侧配置飞散防止部，所述飞散防止部的一部分连接到排气管而排出所述飞散防止部内的空气。
[0025]优选地，所述飞散防止部，包括:飞散防止引导部，上端配置用于插入所述吹管的下端部的插入口，下部是开放的；及管道部，从所述飞散防止引导部的上部一部分向上延长，其末端连接到所述排气管。
[0026]优选地，火焰水解蒸镀装置还包括:载入器，使所述吹管进行水平往复运动；及转盘，在上面具备收容所述晶片的多个袋，根据马达旋转。
[0027]优选地，火焰水解蒸镀装置还包括:水平移动部，在上面配置收容所述晶片的多个袋，在所述吹管的下方，相对于所述吹管而向水平方向进行相对运动。
[0028]根据本实用新型的另一实施例的火焰水解蒸镀装置包括:传动装置(112)，通过电源的供应而驱动；驱动轴(114)，可联动地连接到所述传动装置(112);转台(116)，固定结合到所述驱动轴(114)的上端，其上面形成向圆周方向安置晶片(124)的晶片槽(122)，在该晶片(124)的下部，以紧贴的状态设置加热器(128);机器人(152)，设有为了形成二氧化硅波导厚膜而向所述转台(116)的晶片(124)发射反应物的吹管(170)及用于排除所述吹管170发射反应物时产生的不纯物的排气线夹具(172)，与转台(116)平行地进行水平往复运动；升下降工具(130)，使由所述吹管(170)发射反应物而形成二氧化硅波导厚膜的晶片(124)自动地升下降；电源供应工具，向设置于所述转台(116)的下部的加热器(128)供应电源；及排气风门(178)，用于调整通过所述排气线夹具(172)排出的排气量。
[0029]优选地，所述升下降工具(130)，包括:杠杆(132)，其一端紧贴晶片(124)底部；杆(134)，与杠杆(132)的另一端固定、结合；凸轮(136)，根据电气性信号而旋转而使所述杆(134)升下降。
[0030]优选地，所述排气风门(178)，通过聚四氟乙烯挠性软管(180)连接到排气线夹具(172)，其前端侧设有压力传感器(182)，包括马达(184)，马达(184)根据由所述压力传感器(182)施加的信号而调整阀(186)的旋转量，从而调整排气量。
[0031]优选地，从所述转台(116)的晶片槽(122)到驱动轴(114)的下端部为止，形成了真空通道(126)。
[0032]优选地，所述机器人(152)被设置到腔室壳(150)侧面。
[0033]优选地，所述机器人(152)通过支架(156，158，160)而直接粘贴到基底板(162)，能够在与转台(116)的上面平行的线上进行往复运动。
[0034]优选地，用于