参照图3，包括:插入口 31，用于使吹管20的末端插入；飞散防止引导部32，防止从该吹管20的末端生成的反应物的飞散；管道部33，向所述飞散防止引导部32的上部侧延长，与排气管40连接。
[0088]所述飞散防止引导部32及管道部33具有一体的结构，飞散防止引导部32提供底面部开放的、剖面为四角形的空间。生成物通过该开放的底面部而被蒸镀到晶片70，其上面及侧面被堵住而防止生成物的飞散。
[0089]并且，通过与所述飞散防止引导部32的上部的一部分连通的管道部33，对吹管20的末端部分的狭小空间进行排气。调整这时的排气量而更容易地调整被蒸镀到所述生成物的晶片70上的厚度，因此能够形成均匀厚度的生成物厚膜。
[0090]如上述，使用飞散防止部30，防止反应气体根据所述吹管20的火焰而被加水分解并生成的反应物向飞散防止部30的外侧飞散，还能防止反应物分散到晶片70的上部以外的其他区域的现象。
[0091]因此，无需进行清洗就可实现连续的工艺，更加提高生产率。
[0092]如所述说明，使用提高反应效率、可防止反应物的飞散的结构的吹管20及飞散防止部30，将波导物质等蒸镀到晶片70上。
[0093]这时，晶片70被收容到转盘60的袋，通过马达61向转盘60的晶片70上蒸镀反应物。
[0094]图4是向收容到所述转盘60的晶片70蒸镀反应物的蒸镀模式的模式图。
[0095]转盘60上收容了多个晶片70，该转盘60进行一轮旋转时在晶片70的特定位置上蒸镀所述反应物，在该转盘60完成一轮旋转(c)后停止的状态下，所述载入器80的轴向k方向移动，再次反复进行转盘60的一轮旋转。
[0096]根据所述动作，能够在所述多个晶片70的整个上面蒸镀厚膜。
[0097]图5是根据本实用新型的其他实施例的火焰水解蒸镀装置的构成图，图6是示出根据图5图示的本实用新型的其他实施例的火焰水解蒸镀装置的蒸镀模式的模式图。
[0098]参照图5及图6，根据本实用新型的其他实施例的火焰水解蒸镀装置，在参照所述图1进行说明的实施例中，无需使用转盘60并且可使用水平移动部90。
[0099]针对水平移动部90而言，具有沿着X轴及y轴的方向移动的袋，一般地说，可以是通过LM引导等移动支撑工具被支撑的四角平板。
[0100]使用所述水平移动部90的优点在于，所述转盘60不可在一个晶片上选择性地进行蒸镀，但若使用水平移动部90，则通过调整X轴及y轴方向的移动距离，能够在一个晶片70上蒸镀生成物。
[0101]S卩，对被收容到水平移动部90的袋的所有晶片70蒸镀生成物时，使其沿着第1模式P1移动；在一个晶片70上蒸镀生成物时，使其沿着第2模式P2移动，从而能够在晶片70整体或者一个晶片70上蒸镀生成物。
[0102]为了试料的制作，能够仅在一个晶片70上蒸镀生成物，从而防止制作不必要的很多试料，或防止制作所需时间的迟延。
[0103]图7是根据本实用新型的其他实施例的火焰水解蒸镀装置的正面图，图8是显示图7中转盘及机器人的平面图，图9是图7的侧面图。
[0104]分别参照图7至图9，根据本实用新型的其他实施例的腔室壳150内形成有通过传送带111连接到传动装置112从而根据所述传动装置112的驱动而旋动的驱动轴114，转台116及支撑该转台116的基底118的中心部位固定、结合到该驱动轴114的上端部。
[0105]所述转台116由其内角为90°的扇形的板分别通过转台固定台120固定、结合而形成，在其上面，以既定间隔并向圆周方向形成多个晶片槽122。
[0106]并且，在支撑所述转台116的基底118上，以紧贴形成于所述转台116的晶片槽122底部的状态，分别内设了加热器128。
[0107]所述转台116的晶片槽122分别经过驱动轴114的中心部到下端部为止，通过真空通道126连通。
[0108]因此，安置于所述晶片槽122上的多个晶片124总是因吸入力而对晶片槽122具有紧贴力，因对加热器128的紧贴力的增大而容易加热，能够防止转台116旋动时因圆心力而弹出去。
[0109]另外，所述晶片124的底部设有升下降工具130使所述晶片124以一定高度上升/下降，如图7所图示，所述升下降工具130包括:杠杆132，其一端紧贴晶片124底部；杆134，该杠杆132的另一端与其固定、结合；凸轮136，根据电气性信号而旋动并使所述杆134升下降。
[0110]因此，凸轮136根据中心控制装置(未图示)的电气性信号而以既定RPM旋动，据此，晶片124以既定时间为周期而升下降。
[0111]作为参考，所述升下降工具130即使利用液压式致动器，也会呈现相同的作用。
[0112]并且，作为向所述加热器128供应电源的工具，在所述驱动轴114的下部安装了多层形成的滑环140，该滑环140可通电，以与电源部(未图示)连接的多个电源通电用杆142接触的状态，与驱动轴114联动。
[0113]图10图示所述滑环及电源通电用杆的接触状态，如图示，电源通电用杆142分为两支杆，各内面用弹簧部件144连接，在所述滑环140旋动时，因所述弹簧部件144而不会展开，维持滑环140与各杆的端部摩擦而维持接触状态。
[0114]另外，所述驱动轴114的侧面设有:管148，用于内置连接该滑环140与加热器128之间的电源线146。
[0115]因此，所述驱动轴114旋动时，固定、设置到该驱动轴114的下部的滑环140与所述驱动轴114联动而与电源通电用杆142产生摩擦，获得供应的电源，通过电源线146而将获得的电源供应到加热器128。这时，所述驱动轴114及转台116旋动时，所述滑环140产生联动，从该滑环140连接到所述加热器128的电源线146会同时旋动，从而不会产生所述电源线146扭曲的问题。
[0116]另外，安装了(向安置于所述转台116的晶片槽122的晶片124喷射用于蒸镀二氧化硅厚膜的反应物的)吹管170的机器人152，通过支架156，158，160而直接粘贴到基底板162，从而能够在与转台116的上面平行的线上进行往复运动。
[0117]如上述，机器人152被设置于腔室壳150侧面侧，并且以平行于转台116的状态进行往复运动，能够预防因所述机器人152的往复运动而产生的灰尘直接掉落到晶片124上。
[0118]并且，连接机器人152与吹管170及排气线夹具172的轴形成为中空轴166，能够减少由负荷导致的弯曲现象。
[0119]所述机器人152的一侧设有:吹管170，与火焰一同发射反应物。该吹管170的相反侧设有排气线夹具172。
[0120]因此，通过所述吹管170而将反应物发射到晶片124上时，各种灰尘或不纯物等通过所述排气线夹具172排出，该排气线夹具172连接到通过聚四氟乙烯挠性软管180调整排气量的排气风门178。
[0121]所述排气风门178的前端侧设有压力传感器182，一侧设有排气量操纵马达184。
[0122]因此，通过所述排气线夹具172排气的不纯物等的量太多而压力强时，所述压力传感器182感应到此现象而驱动马达184来控制阀186的开放值，从而调整为适当的排气量。
[0123]另外，所述转台116如上述，反应物被发射到晶片124上而形成二氧化硅厚膜时，所述转台116为了通畅的蒸镀，将其预热为300?600°C，最高瞬间温度上升至约1200°C?1300°C，这时，转台116会因热变形或热膨胀而产生翘曲，从而发生晶片124的不良，因此用耐热性强的碳纤维(graphite)材料制作所述转台116，为了防止所述碳纤维材料的转台116在高温下氧化，做了 SiC涂布处理。
[0124]另外，所述吹管170及排气线夹具172设有:吹管角度