新型芴类肟酯化合物,及含有该芴类肟酯化合物的光聚合引发剂和光阻剂组合物的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种新型芴类肟酯化合物，以及含有该芴类肟酯化合物的光聚合引发 剂和光阻剂的组合物。
【背景技术】
[0002] 作为应用于光阻剂组合物的光聚合引发剂的现有示例，现已知多种类型。例如苯 乙酮衍生物，二苯甲酮衍生物，三嗪衍生物，双咪唑衍生物，酰基氧化膦衍生物，肟酯衍生物 等。其中，肟酯衍生物的优势在于吸收紫外光后它们几乎无色，并且具有高水平的自由基 (radical)生成效率，以及具有与光阻剂组合物的原材料的卓越的相容性和稳定性。然而， 最初开发的肟衍生物的光引发效率低，并且在执行图案曝光的时候，敏感性特别低。这样需 要增加曝光剂量，从而降低了生产率。
[0003] 因此，通过具有卓越的光敏性的光聚合引发剂的发展，即使通过少量的光聚合引 发剂，也能实现足够的敏感性。这样可以降低成本，且曝光剂量可以因为卓越的敏感性而降 低，从而使提高生产率成为可能。
[0004] 已知的是，多种可用于作为光阻剂组合物中光敏引发剂的肟酯衍生物，并且可以 通过以下化学式2表示。
[0005] [化学式2]
[0006]
【主权项】
1. 一种由以下化学式1表示的芴类肟酯化合物： 其中，
Rl至R3彼此独立地为：氢、卤素、（C1-C2tl)烷基、（C6-C 2tl)芳基、（C1-C2tl)烷氧基、（C6-C 20) 芳基（C1-C2tl)烷基、羟基（C1-C2tl)烷基、羟基（C 1-C2tl)烷氧基（C1-C2tl)烷基、或者（C 3-C2tl)环 烷基；以及 A 为：氢、（C1-C2tl)烷基、（C6-C2tl)芳基、（C 1-C2tl)烷氧基、（C6-C2tl)芳基（C 1-C2tl)烷基、羟 基（C1-C2tl)烷基、羟基（C1-C2tl)烷氧基（C 1-C2tl)烷基、（C3-C2tl)环烷基、氨基、硝基、氰基、或 者羟基。
2. 如权利要求1所述的芴类肟酯化合物，其中，Rl至R3彼此独立地为：氢、溴、氯、碘、 甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、正己基、异己基、苯 基、萘基、联苯、三联苯、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、 异丁氧基、叔丁氧基、羟甲基、羟基乙基、羟基正丙基、羟基-正丁基、羟基异丁基、羟基正戊 基、羟基异戊基、羟基正己基、羟基异己基、羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基 丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基甲基、羟基乙氧基乙基、羟基乙氧基丙基、羟基乙氧基丁 基、羟基乙氧基戊基、或者羟基乙氧基己基；以及 A为：氢、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、苯基、萘基、联苯基、三 联苯、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、羟基甲基、羟基乙基、羟基丙基、羟 基丁基、羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基 甲基、羟基乙氧基乙基、羟基乙氧基丙基、羟基乙氧基丁基、氨基、硝基、氰基、或者羟基。
3. 如权利要求1所述的芴类肟酯化合物，其中， Rl为氢、或者正丁基； R2为甲基；以及 R3为甲基、正丁基、或者苯基。
4. 一种包含如权利要求1-3中任一项所述的芴类肟酯化合物的光聚合引发剂。
5. -种包含如权利要求1-3中任一项所述的芴类肟酯化合物的光阻剂组合物。
6. 如权利要求5所述的光阻剂组合物，其中，在所述光阻剂组合物中，所述芴肟酯类化 合物的含量为〇. 01-10%重量比。
7. -种用于黑底的光阻剂组合物，除了包括权利要求5的光阻剂组合物之外，还进一 步包括炭黑。
8. -种用于彩底的光阻剂组合物，除了包括权利要求5的光阻剂组合物之外，还进一 步包括彩色颜料分散溶液。
【专利摘要】提供了一种新型芴类肟酯化合物，及含有该芴类肟酯化合物的光聚合引发剂和光阻剂组合物。
【IPC分类】C07C251-66, G03F7-004, C07C13-567
【公开号】CN104661997
【申请号】CN201380024274
【发明人】辛承林, 全根, 申钟一, 朴寿烈, 安庆龙, 李相悟, 文奉锡, 吴泉林, 崔儿娜, 苏仁永
【申请人】韩国化学研究院, 株式会社三养社
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年5月3日
【公告号】EP2845845A1, US20150111152