专利名称：一种tco镀膜设备中的进气控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的进气控制装置，具体的说是一种TCO镀膜设备中的控制气体进气流量的装置。
背景技术：
在太阳能电池生产中，TCO镀膜工艺作为一种透明导电膜工艺，在其运行过程中， 需要在其高真空室中充入所需要的惰性气体-氩气，氩气电离成正离子和电子，通过洛伦 兹力作用飞向靶材，激发靶材溅射成膜，而膜的厚度与均勻性是非常的重要质量标准，所以 气体进入设备时，进气量的准确控制就十分重要。气体进入的精确度，直接影响着溅射时的 溅射效果。气体只有准确的控制进气量，才能使正离子和电子的数量更准确，保证靶材的溅 射效果，使成膜更加均勻、平整。而现有TCO镀膜设备进气结构为手动调节阀，进气调节只能通过手动调节来控制 进气量。如此控制进气量的方式结果只能造成进气量控制精度不够，并且手动调节阀容易 损坏，导至漏气。这严重的影响了设备操作时对进气量的控制，影响镀膜均勻性，急需改进。
发明内容本实用新型的目的是要提供一种结构简单合理，能够精确控制气体进气量，使电 离、溅射效果好，使成膜均勻、平整的TCO镀膜设备中的进气控制装置。本实用新型的目的是这样实现的该进气控制装置包括通气管路、温度探棒、加热 探棒、电磁阀、PLC控制器，所述的温度探棒、加热探捧和电磁阀设置在进气管内，温度探棒、 加热探捧和电磁阀与PLC控制器电连接。本实用新型由于采用上述结构和独特的控制方法，使控制气体的进气量能够更加 精确，控制方便，便于对工艺参数的调节。达到了对生产线进气均勻控制的目的。
图1为TCO镀膜生产线进气控制装置整体结构示意图。
具体实施方式
由图1所示；该进气控制装置包括通气管路1、温度探棒2、加热探棒3、电磁阀4、 PLC控制器5，所述的温度探棒2、加热探捧3和电磁阀4设置在进气管内，温度探棒2、加热 探捧3和电磁阀4与PLC控制器5电连接。温度探捧2主要用来监控管道内的温度，当气体有流动时，温度就会发生变化。温 度探棒2反馈给PLC控制器5信号，进行控制，加热探棒3加热来维持与温度探棒2之间的 温度。PLC控制器5就会根据加热探棒3消耗的电能计算出气体的流量，来控制电磁阀4的 开关。以达到控制气体流量的精确控制。本PLC控制器5的程序控制原理采用独特的PID算法控制，PID控制原理是由比例单元(P)、积分单元(I)和微分单元(D)组成。比例(P)调节作用是按比例反应系统的偏 差，系统一旦出现了偏差，比例调节立即产生调节作用，用以减少偏差。积分⑴调节作用 是使系统消除稳态误差，提高无差度。因为有误差，积分调节就进行，直至无差，积分调节停 止，积分调节输出一常值。微分(D)调节作用微分作用反映系统偏差信号的变化率，具有 预见性，能预见偏差变化的趋势，因此能产生超前的控制作用，在偏差还没有形成之前，已 被微分调节作用消除。 当气体进入到通气管路1时，温度探棒2和加热探棒3之间有一个恒定的温差需要维持。当气体流量变化时，会带走温度探棒2 (传感器)上的热量，温度探棒2温度会降 低。为维持这个恒定的温差，需要补充能量。当温差越大时，需要补充的热量越大。电路通 过计算将流量大小转换成电信号输出。信号传送到PLC控制器中进行处理，来控制电磁阀 4，以改变进气量的多少。通过PLC控制器可以做到适时监测，精确控制。使后面的电离均 勻，进一步保证镀膜的均勻性。
权利要求一种TCO镀膜设备中的进气控制装置，其特征在于该进气控制装置包括通气管路(1)、温度探棒(2)、加热探棒(3)、电磁阀(4)、PLC控制器(5)，所述的温度探棒(2)、加热探捧(3)和电磁阀(4)设置在进气管内，温度探棒(2)、加热探捧(3)和电磁阀(4)与PLC控制器(5)电连接。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的进气控制装置，具体的说是一种TCO镀膜设备中的控制气体进气流量的装置。该进气控制装置包括通气管路、温度探棒、加热探棒、电磁阀、PLC控制器，所述的温度探棒、加热探捧和电磁阀设置在进气管内，温度探棒、加热探捧和电磁阀与PLC控制器电连接。本实用新型由于采用上述结构和独特的控制方法，使控制气体的进气量能够更加精确，控制方便，便于对工艺参数的调节。达到了对生产线对进气控制的目的。
文档编号C23C14/34GK201567367SQ20092009501
公开日2010年9月1日 申请日期2009年12月17日 优先权日2009年12月17日
发明者刘万学, 张兵, 张继泽, 强艳建, 李宇, 王巍, 王阳 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司