一种蒸镀源的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种蒸镀源，包括蒸发舟和空心管道，空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，空心管道内通有循环介质，循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。本实用新型的蒸镀源采用循环介质直接加热和冷却的方法，通过迅速通入加热循环介质，能够在非常短的时间内达到蒸镀材料的蒸发温度；通过迅速通入冷却循环介质，可以在蒸镀完成后实现蒸镀舟的迅速降温，节约蒸镀材料，降低蒸镀成本；而且，由于循环介质的温度易于精确控制，如热煤油，其精度可控制在±0.1C°，便于精确控制蒸镀温度；同时，得益于介质的循环，受蒸镀材料影响的循环介质被及时带走，空心管道内一直保持恒温的循环介质，方便获得稳定的蒸发速率，进而提高膜的蒸镀质量。
【专利说明】一种蒸镀源
【技术领域】
[0001]本实用新型属于OLED显示【技术领域】，具体涉及一种新型的蒸镀源。
【背景技术】
[0002]有机电致发光显不器(ActiveMatrix Organic Light Emitting D1de,AMOLED),又称“有机电激发光显示器”，被视为继LCD、PDP之后发展潜力最大的新型平板显示技术，由于其突出的性能优势得到了世界上许多国家和企业的重视，目前正处于技术快速发展、产业逐步启动的阶段。
[0003]目前的OLED制造、薄膜电池制造、镀膜等加工工艺中，普遍采用热蒸镀源加热材料的形式进行镀膜。热蒸镀源主要由蒸发舟和加热电阻丝组成，蒸发舟主要用来装蒸镀材料，采用不锈钢、氮化硼、硅、石英等材料制成，形状以圆柱形、圆锥形为主，蒸发舟外缠绕固定的加热电阻丝，对电阻丝通电发热传导蒸发舟发热实现材料的蒸发，完成镀膜。
[0004]热蒸镀源结构简单，工艺成熟，但存在很多缺点:首先，加热过程缓慢，电阻丝通电后温度有一个缓慢的升高过程，其次，温度控制精度不高，无论是电流还是电压控制都存在滞后问题。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于克服蒸镀源电阻丝加热方式存在的问题，提供一种蒸发速率稳定时间短、蒸发温度控制精度高且蒸发过程稳定性高的蒸镀源。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案:
[0007]—种蒸镀源，包括蒸发舟和空心管道，所述空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，所述空心管道内通有循环介质，所述循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。
[0008]进一步地，所述循环介质为煤油。
[0009]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0010]首先，本实用新型的蒸镀源采用循环介质直接加热和冷却的方法，通过迅速通入加热循环介质，能够在非常短的时间内达到蒸镀材料的蒸发温度；通过迅速通入冷却循环介质，可以在蒸镀完成后实现蒸镀舟的迅速降温，节约蒸镀材料，降低蒸镀成本；
[0011]其次，由于循环介质的温度易于精确控制，如热煤油，其精度可控制在±0.1°C，且不存在滞后，便于精确控制蒸镀温度；同时，得益于介质的循环，受蒸镀材料影响的循环介质被及时带走，空心管道内一直保持恒温的循环介质，方便获得稳定的蒸发速率，进而提高膜的蒸镀质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0014]如图1所示，本实用新型的蒸镀源包括蒸发舟I和空心管道2，空心管道2均匀地缠绕于蒸发舟I的外侧，为了尽量避免热量损失，空心管道2紧贴蒸发舟I的外壁，空心管道2内通有循环介质，循环介质分为加热循环介质和冷却循环介质。
[0015]当需要蒸镀时，先将蒸镀材料放入蒸发舟1，然后将加热循环介质通入空心管道2中；加热循环介质的温度便通过空心管道2管壁传导给蒸发舟I迅速带动蒸发舟I升温，达到蒸镀材料的蒸发温度后，蒸镀材料便开始蒸发；当蒸镀结束时，将冷却循环介质通入空心管道2中，蒸发舟I迅速被降温，蒸镀材料停止蒸镀。
[0016]煤油是一种常见液体，且其精度可控制在±0.1 °C，本实施例中的蒸镀源的循环介质优选为煤油。
[0017]本实施例中的蒸镀源结构简单,操作简便，蒸发温度便于精确、稳定控制，蒸发速率稳定，且蒸镀完成后能够实现蒸发舟的迅速降温，不但能够获得高质量的蒸镀膜，且可以节约蒸镀材料，降低蒸镀成本。
[0018]尽管这里参照本实用新型的最佳解释性实施例对本实用新型进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变型和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。
【权利要求】
1.一种蒸镀源，其特征在于:包括蒸发舟和空心管道，所述空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，所述空心管道内通有循环介质，所述循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。
2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于:所述循环介质为煤油。
【文档编号】C23C14/26GK204080097SQ201420145407
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年3月28日 优先权日:2014年3月28日
【发明者】唐元刚, 林成勇 申请人:四川虹视显示技术有限公司