蒸镀装置的制作方法

本实用新型涉及一种蒸镀装置，特别是涉及一种对蒸镀源进行加热并使其蒸镀到基板上而形成薄膜的蒸镀装置。

背景技术：

已知的蒸镀装置包含一个腔体，及分别安装在该腔体内的一个加热模块及一个供料模块。进行蒸镀前，将一个待蒸镀的基板传送至该腔体内，再将欲蒸镀的蒸镀源放置于该加热模块及该供料模块内，并将该腔体抽气到一个可镀膜的真空状态。蒸镀时，该加热模块将该蒸镀源加热至气态并蒸发，且散布于该腔体内，呈气态的蒸镀源材料会附着于该基板上并形成一层薄膜。而该供料模块用于补充该蒸镀源于该加热模块内的存量，而使该加热模块可持续工作而不间断。

然而，该蒸镀装置的缺点在于，该供料模块是固定设置于该腔体内，当该蒸镀源的存量已经用完而需要更换时，需要将整个蒸镀装置停机，并且将该腔体破真空以将新的蒸镀源放入该供料模块内，而因为该腔体内的空间狭小，作业人员于该腔体内进行更换时，除了操作困难外，也容易因不小心碰撞到周围的精密零件而造成蒸镀装置的损坏，所以已知的蒸镀装置在更换蒸镀源的设计上仍有需要改进的空间。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种可快速、便利地更换蒸镀源的蒸镀装置。

本实用新型的蒸镀装置，适用于将一种蒸镀源蒸镀到一个基板上，并包含一个用于容置该基板的腔体、一个设置于该腔体内并供该蒸镀源置放的加热模块，及一个设置于该腔体内并供该蒸镀源置放的供料模块，该加热模块用于加热该蒸镀源并使其蒸镀到该基板上，该供料模块包括至少一个用于传送该蒸镀源至该加热模块的供料单元，该蒸镀装置还包含一个设置于该腔体内并供该供料模块安装的更换模块，该更换模块能带动该供料模块进出该腔体。

本实用新型所述的蒸镀装置，该加热模块包括至少一个加热单元，该至少一个加热单元具有一个用于承载该蒸镀源的承载件，及一个用于加热该承载件及该蒸镀源的加热件。

本实用新型所述的蒸镀装置，该蒸镀源是一种线材，该至少一个供料单元具有一个用于供该蒸镀源卷绕储存的储料滚轮、一个用于自该储料滚轮牵引该蒸镀源的传送轮、一个用于驱动该传送轮的马达、一个两端分别邻近于该加热模块及该传送轮且供该蒸镀源穿透经过的导引管，及一个位于该传送轮及该储料滚轮间且用于导正该蒸镀源传送方向的校正件。

本实用新型所述的蒸镀装置，该加热模块包括数个相邻的加热单元，该供料模块具有数个分别对应所述加热单元的供料单元。

本实用新型的蒸镀装置，该更换模块包括一个固定地设置于该腔体内的滑轨，以及一个能移动地设置于该滑轨上，并供该供料模块安装的底座。

本实用新型所述的蒸镀装置，该腔体包括一个界定出一个腔室的腔壁单元，以及一个用于打开或关闭该腔室的阀门，该腔壁单元具有一个与该阀门间隔相对的基壁，该滑轨自该基壁朝该阀门延伸。

本实用新型的有益效果在于：通过该更换模块可带动该供料模块进出该腔体，当该供料模块内的蒸镀源用完而须更换时，可通过该更换模块的作动而使该供料模块移至该腔体外来作业，在整个更换过程中不会去误触到其余的模块及零件，避免人为误触造成的装置损坏，而且，在腔体外的操作空间更为宽阔，让更换过程更为轻松便利且快速。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是一立体图，说明本实用新型蒸镀装置的一实施例；

图2是一局部剖视图，说明该实施例与一基板及一蒸镀源于安装后的状态；

图3是一立体图，说明该蒸镀源与该实施例的一腔壁单元、一加热模块、一供料模块，及一更换模块于安装后的状态；

图4是一立体图，说明该蒸镀源与该实施例的该供料模块安装后的状态；

图5是一立体图，说明该蒸镀源与该实施例的该供料模块的一供料单元的一马达、一传送轮，及一导引管于安装后的状态；

图6是一立体图，说明该蒸镀源与该实施例的该腔壁单元、该加热模块、该供料模块及该更换模块于安装后，且该供料模块通过该更换模块向外移出该腔体的状态。

具体实施方式

参阅图1至图3，本实用新型蒸镀装置的一实施例，适用于将一种蒸镀源6蒸镀到一个基板5上。该蒸镀源6的材质可为纯金属、合金或是金属氧化物，在本实施例中，该蒸镀源6是一种呈长线状且可卷绕的线材。而该基板5可为玻璃基板，或是半导体制程中的硅晶圆等等。该蒸镀装置包含一个腔体1，及设置于该腔体1内的一个加热模块2、一个供料模块3与一个更换模块4。

该腔体1包括一个供该基板5置放的载座14、一个位于该载座14下方且界定出一个腔室12的腔壁单元11、一个用于打开或是关闭该腔室12的阀门13，及一个连通于该载座14及该腔室12的通道15。该载座14具有一个供该基板5置放的载座室141，而该载座室141通过该通道15与该腔室12相连通。该腔壁单元11包括一个大致水平的底壁111、两个由该底壁111的左右相对两侧向上延伸的侧壁112，及一个由该底壁111后侧向上延伸且与所述侧壁112相接的基壁113。该阀门13与该基壁113间隔相对地连接于该腔壁单元11的该底壁111及所述侧壁112前侧。该腔壁单元11、该阀门13及该载座14相配合并使该腔室12及该载座室141与外部空间相隔绝。

该加热模块2包括九个彼此前后相邻且间隔排列的加热单元21，每一个加热单元21具有一个用于承载该蒸镀源6的承载件211，及一个用于加热该承载件211及该蒸镀源6的加热件212。该承载件211为耐高温且可存放熔融态金属的材质所组成，例如坩埚或是钨舟等等。该加热件212采用的加热方式可为电阻加热、电子束加热或是激光加热等等。

参阅图3至图5，该供料模块3包括一个前后向延伸的基座32，以及九个前后相邻地安装在该基座32上，且分别与所述加热单元21相对应的供料单元31。每一个供料单元31包括一个供该蒸镀源6卷绕储存的储料滚轮311、一个用于自该储料滚轮311牵引该蒸镀源6的传送轮312、一个用于驱动该传送轮312转动的马达313、一个呈长管状且两端分别邻近于该加热模块2及该传送轮312并供该蒸镀源6穿透经过的导引管314，及一个位于该储料滚轮311及该传送轮312间的校正件315，该校正件315具有一个形成于该蒸镀源6的行进路径上且用于导正该蒸镀源6行进方向的校正槽316。应当注意的是，在本实施例的其他变化态样中，该加热单元21与该供料单元31的数量搭配不以九个为限，而彼此间的对应数量也可有所变化，例如一个加热单元21对应一个供料单元31，或是一个加热单元21对应数个供料单元31等等。另外，本实施例的蒸镀源6数量可以搭配所述供料单元31的数量，所以总共可设有9个分别卷绕于所述供料单元31上的蒸镀源6线材。

参阅图1至图3，该更换模块4包括一个固定地设置于该底壁111上的滑轨42，及一个可移动地设置于该滑轨42上，并安装于该供料模块3的基座32底部的底座41。该滑轨42的方向是由该基壁113朝该阀门13的方向前后向延伸，当该阀门13打开时，该底座41可受到驱动而沿着该滑轨42的方向朝外移动并伸出该腔室12。当然，在本实施例的其他变化态样中，该更换模块4也可采用滚轮与滑槽的方式来带动该供料模块3移动，也能达到相同的效果。

使用时，该加热单元21中的该加热件212对该承载件211及该承载件211内的蒸镀源6进行加热，该蒸镀源6被加热至熔融态后，部分的蒸镀源6材料会以气态的型式散布于该腔室12及该载座室141内，并附着于位于该载座室141内的基板5上并形成薄膜。

当位于该加热单元21内的蒸镀源6在持续加热蒸镀下而变少时，该供料模块3的该供料单元31会补充新的蒸镀源6到该加热单元21内。由该马达313带动该传送轮312转动，并驱使该蒸镀源6通过该导引管314并移动到该加热单元21附近，因该加热单元21为高温状态，所以该蒸镀源6会被加热至熔融态并落入该承载件211中，达到持续补充蒸镀源6的功效。而当该蒸镀源6被该马达313驱动时，卷绕于该储料滚轮311内的蒸镀源6会被持续地牵引而出，并经过该校正件315的校正槽316限位后，传送到该传送轮312并反复以上的动作。

参阅图1、图2及图6，当该供料模块3的该储料滚轮311内的蒸镀源6已经用完时，使用者可先通入气体并解除该腔室12内的真空状态，此时可打开该阀门13并朝外拉动该供料模块3，而通过该更换模块4的该底座41以及该滑轨42的作动，该供料模块3可沿着该滑轨42的方向向外移出该腔室12。此时，使用者即可轻易地更换每一个供料单元31内的蒸镀源6，而不会误触该腔体1内的其他模块，让更换上更为方便。

由上述可知，本实用新型蒸镀装置的供料模块3在更换蒸镀源6时，可通过该更换模块4的作动而移至该腔体1外来作业，在整个更换过程中不会去触碰到其余的模块及零件，避免人为误触所造成的装置损坏，而且作业人员不用在腔体1内的有限空间进行更换作业，在腔体1外的操作空间更为宽阔，让更换过程更为轻松便利，所以确实能达成本实用新型的目的。

以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。