一种新型真空镀膜装置的制作方法

文档序号:15457831发布日期:2018-09-15 01:40阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型真空镀膜装置,包括机箱(8),其特征在于:所述机箱(8)的一侧安装有真空室(19),所述真空室(19)的内部底端安装有加热炉(11),所述真空室(19)的内部下方通过固定架(9)安装有坩埚(10),所述真空室(19)的上方安装有密封盖(15),所述密封盖(15)的顶部安装有第二把手(14),所述密封盖(15)的下方安装有镶嵌板(16),所述镶嵌板(16)的下方安装有基片固定板(17),所述基片固定板(17)上安装有夹板(21),所述夹板(21)的一侧安装有弹簧(20),所述机箱(8)的上方安装有控制面板(7),所述控制面板(7)的上方安装有真空罩(12),所述真空罩(12)的一侧安装有氩气充入口(4),所述真空罩(12)的顶端一侧安装有第一把手(13),所述真空罩(12)的内部下方安装有阳极板(6),所述阳极板(6)的顶部安装有第一基片(5),所述真空罩(12)的内部上方通过支架(1)安装有阴极板(2),所述阴极板(2)的下方安装有溅射靶材(3)。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜装置,其特征在于:所述加热炉(11)位于坩埚(10)的正下方,且坩埚(10)位于第二基片(18)的正下方。

3.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜装置,其特征在于:所述镶嵌板(16)的两侧均设置有滑槽,且镶嵌板(16)通过滑槽与真空室(19)的内侧壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜装置,其特征在于:所述溅射靶材(3)与第一基片(5)正对安装,且第一基片(5)通过夹具固定在阴极板(2)上。

5.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜装置,其特征在于:所述夹板(21)共设置有六个,且六个夹板(21)之间通过弹簧(21)连接。

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