蒸镀装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]最近，作为用于解决如阴极射线管(Cathode Ray Tube)的以往的显示装置的缺点的装置，平板显示装置(Flat Panel Display Device)被开发和推出，这样的平板显示装置有液晶显示装置(Liquid Crystal Display Device)、有机发光显示装置(Organic LightEmitting D1de Display Device)以及等离子显不器(Plasma Display Panel)等。
[0003]其中，有机发光显示装置不仅具有厚度薄、视角宽、响应速度快的优点，还具有因制造工艺简单而可实现低价格的优点。因此，最近这种有机发光显示装置作为平板型显示装置的一种而受到关注。
[0004]另一方面，随着最近的平板型显示装置趋于大型化，有机发光显示装置也变得大型化。然而，如上的大型化正引起各种新的问题。
[0005]有机发光显示装置通过在基板上蒸镀具有预定图案的膜(层)的工艺而制造。此时，前述蒸镀膜的工艺通过使形成有开口图案的掩模紧贴于基板的底面之后，从掩模的下部朝掩模侧蒸发有机物质或电极物质等来执行。因此，蒸发的蒸镀物质通过掩模的开口被蒸镀到基板上，从而基板上将形成具有预定图案的膜。
[0006]然而，在所述基板的尺寸较大的情况下，由于基板和掩模的自重(dead weight)，在掩模的中央部产生的弯曲变得显著。即便在对整个基板施加压力的情况下，基板的边缘位置上的基板与掩模之间的紧贴性也会下降，据此存在形成于基板的图案的精密度降低的问题。
【发明内容】
[0007]本发明所要解决的问题是提供一种在进行膜蒸镀工艺时可提高基板与掩模之间的紧贴性的蒸镀装置。
[0008]本发明的所要解决的问题不限于以上所提及的技术问题，关于没有提及的或其他的技术问题，本领域技术人员将从以下的记载中明确地理解。
[0009]用于解决上述问题的根据本发明的一个实施例的蒸镀装置可包括:掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧对所述基板的上表面加压，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，其中，所述紧贴单元可包括:加压板，设置于所述基板的上部，且包括与所述基板的边缘位置对应的第一区域和除所述第一区域之外的第二区域；基板加压部件，位于所述第一区域，对所述基板的上表面的边缘位置进行加压；多个突出部件，位于所述第二区域，且朝所述基板突出。
[0010]用于解决上述问题的根据本发明的另一实施例的蒸镀装置可包括:掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧加压对所述基板的上表面，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，其中，所述紧贴单元可包括:加压板，设置于所述基板的上部，且包括突出图案区域；多个第一突出部件，设置于所述突出图案区域的边缘位置，且朝所述基板突出；多个第二突出部件，设置于除设置有所述多个第一突出部件的部分之外的所述突出图案区域，且朝所述基板突出。
[0011 ] 其他实施例的具体事项包含在详细的说明和附图中。
[0012]根据本发明的实施例，至少具有如下效果。
[0013]可提供一种通过提高基板与掩模之间的紧贴性而能够在基板上蒸镀良好的图案膜的蒸镀装置。
[0014]本发明的效果不局限于以上所例示的内容，更加多样的效果包含在本说明书中。
【附图说明】
[0015]图1为根据本发明的一个实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0016]图2为图1所示的加压板的平面图。
[0017]图3为沿图2的I1-12方向截取的加压板的剖面图。
[0018]图4的(a)、(b)、(C)为沿图2的I3-14方向截取的加压板的剖面图。
[0019]图5为用于说明根据本发明的一个实施例的蒸镀装置的操作的剖面图。
[0020]图6为放大示出图5的P部分的剖面图。
[0021]图7为根据本发明的另一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0022]图8为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0023]图9为图8所示的加压板的平面图。
[0024]图10为沿图9的I5-16方向截取的加压板的剖面图。
[0025]图11为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0026]图12为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0027]图13为图12所示的加压板的平面图。
[0028]图14为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0029]图15为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0030]图16为图15所示的加压板的平面图。
[0031]图17为沿图16的I7-18方向截取的加压板的剖面图。
[0032]图18为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0033]图19为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0034]图20为图19所示的加压板的平面图。
[0035]图21为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0036]图22为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0037]图23为图22所示的加压板的平面图。
[0038]图24为沿图23的I9-1ltl方向截取的加压板的剖面图。
[0039]图25为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0040]图26为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0041]图27为图26所示的加压板的平面图。
[0042]图28为根据本发明的又一实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0043]符号说明
[0044]90:基板
[0045]110:腔室
[0046]120:掩模
[0047]130:蒸镀源
[0048]170a、170b、170c、170d、170e、170f、170g、170h、1701、170j、170k、1701、170m、170η:紧贴单元
[0049]171:加压板
[0050]172:移送部
[0051]177:磁性体板
[0052]210:突出部件
[0053]220:加压部件
[0054]230,250,270:第一突出部件
[0055]240,260,280:第二突出部件
【具体实施方式】
[0056]对于本发明的优点和特征以及其实现方法，若参照结合附图详细后述的实施例，则将变得更加明确。但是，本发明并不局限于以下公开的实施例，可实现为彼此不同的各种形态，本发明的实施例仅仅是为了使本发明的公开更加完整，且向本发明所属技术领域中具有通常知识的技术人员完整地传递本发明的范畴而提供的，本发明仅根据权利要求所记载的范围而定义。在整个说明书中，相同的附图标记表示相同的构成要素。为了清楚地说明，附图中的层和区域的大小及相对大小可能被夸张示出。
[0057]当指出元件(elements)或层位于其他元件或层的“上方”或“之上”时,不仅包括位于其他元件或层的紧上方的情形，还包括中间介入其他层或其他元件的情形。
[0058]虽然，为了描述多种构成要素件而使用了第一、第二等术语，但这些构成要素显然不限于这些术语。这些术语仅仅是为了将一个构成要素与其他构成要素进行区分而使用的。因此，以下提及的第一构成要素在本发明的技术思想之内显然还可以是第二构成要素。
[0059]以下，参照附图来详细说明本发明的实施例。
[0060]图1为根据本发明的一个实施例的蒸镀装置的剖面图。
[0061 ] 参照图1，根据本发明的一个实施例的蒸镀装置可用于有机发光显示装置的制造，可以是在基板90上蒸镀有机膜或电极膜等的装置。这种本发明的蒸镀装置可包括腔室110、掩模120、蒸镀源130、紧贴单元170a。
[0062]腔室110是在内部限定进行蒸镀工艺的空间111的部分，用于制造有机发光显示装置的蒸镀工艺在腔室110内部的空间111中进行。
[0063]腔室110可设有用于布置掩模120的掩模支撑台113。例如，掩模支撑台113可设置于腔室I1的中央部的内壁，且掩模支撑台113可形成为从中央部的内壁朝其内侧突出预定长度的形态，以能够支撑布置于腔室110内部的掩模120的边缘位置。此外，掩模120可以布置为被装载到腔室110的内部而其边缘位置被掩模支撑台113支撑的形态。
[0064]掩模120可包括开口图案125，且其上部可设有基板90，所述开口图案125与将形成于基板90表面的图案对应。此外，经过开口图案125的蒸镀物质可被蒸镀于基板90上。
[0065]若掩模120布置于腔室110的内部，则在掩模120的上部可布置基板90。S卩，若掩模120装载到腔室110的内部而布置于掩模支撑台113，则基板90可设置于掩模120的上部。此时，基板90的移送可通过基板移送器115、116来实现，该基板移送器115、116被设置为可沿着腔室110的内壁上下移动，且布置于掩模支撑台113的上部。即，若从外部装载的基板90被安置到布置于掩模支撑台113的上部的基板移送器115、116(进一步具体来讲，基板移送器115、116的基板支撑部116)上，则基板移送器115