专利名称：蒸镀装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种蒸镀装置，更详细地涉及一种在真空腔室内使蒸镀源相对于基板进行线性移动，并在基板的表面蒸镀蒸镀物质的蒸镀装置(Deposition apparatus)。
背景技术：
作为平板显示器件(Flat Panel Display)，具有代表意义的包括以下几种，液晶显不器件(Liquid Crystal Display)、等离子显不器件(Plasma Display Panel)及有机发光显示器件(Organic Light Emitting Diodes)等。其中，有机发光显示器件具有迅速的回应速度、低于以往液晶显示器件的耗电量、高亮度以及轻量性等的特性，由于因不需要单独的背光灯(背光照明)装置而具有能够制造成超薄型等的优点，因而，受人瞩目为下一代
的显示器件。另一方面，在平板显示器件的基板形成薄膜的一般的方法可以指出像真空蒸镀法(Evaporation)、离子电镀法(Ion-plation)及派射(Sputtering) —样的物理气相沉积法(PVD)和基于气体反应的化学气相沉积法(CVD)等。其中，真空蒸镀法可以在像有机发光显示器件的有机物层、无机物层等一样的薄膜形成中使用。真空蒸镀法是指在真空腔室内使被蒸镀源收纳的有机物或者无机物蒸发或升华之后蒸镀在基板的表面的方法。这种真空蒸镀法中，蒸镀源可以从真空腔室的外部接收电、控制信号、冷却气体等，以便控制蒸镀工序。蒸镀源通过配线、配管等的动力管线与真空腔室的外部的供给单元连接。但是，由于真空腔室的内部在工序中维持真空状态，因而，如果将动力管线露出于真空，则存在使动力管线迅速陈旧化或者线路中断的问题。并且，近来的趁势为平板显示器件渐渐成大面积化。由此，在平板显示器件制造中所使用的基板也渐渐成大面积化。对于这种向大面积基板蒸镀蒸镀物质的方式来说，可以使用在真空腔室内使蒸镀源相对于基板线性移动的同时在基板的表面蒸镀蒸镀物质的方式。在这种情况下，为了在蒸镀源的线性移动时使蒸镀源顺畅地移动，应在动力管线也真空腔室内进行移动。因此，为了防止动力管线的陈旧化或者线路中断现象，而具有以在真空腔室内向动力管线提供与真空腔室的外部的大气压状态相同的状态的同时可移动的方式进行配线处理的必要。
发明内容
本发明的课题在于提供一种能够使蒸镀源顺畅地线性移动的同时防止动力管线(或设备管线=Utility Line)的陈旧化或线路中断等现象，并能够在蒸镀源的线性移动时在导向臂内使动力管线的动作最小化，从而能够防止动力管线的缠绞现象的蒸镀装置。用于达成上述课题的本发明的蒸镀装置，包括真空腔室；蒸镀源，其设置在上述真空腔室的内部；蒸镀源驱动部，其使上述蒸镀源相对于上述真空腔室的内部的基板进行线性移动；导向臂，其导向臂的一端部引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部收容与上述蒸镀源连接的动力管线，并通过该导向臂的一端部来使上述动力管线引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部能够与上述蒸镀源枢轴结合，并且该导线臂跟随上述蒸镀源的线性移动进行转动动作的同时向长度方向滑动；以及滑动引导部，其以维持密封的状态设置在上述真空腔室和上述导向臂上，用于引导导向臂的滑动。根据本发明，因动力管线不向真空腔室的真空状态露出并收容在臂部的内部，而能够处于与真空腔室的外部的状态相同的状态，从而能够防止动力管线的陈旧化或者线路中断等现象，并能够使蒸镀源利用臂部而顺畅地线性移动。根据本发明，因导向臂的内部具有直线型的空间而能够容易设置动力管线。并且，因能够使被导向臂收容的动力管线的动作最小化而能够在导向臂的轴转动作时防止动力管线的缠绞现象。
图I是表示根据本发明一实施例的蒸镀装置的结构图。图2是表示图I中，蒸镀源的线性移动状态的侧视图。图3是表示图I中，在导向臂设置有长度可变部的例的附图。图4是表示图I中，在导向臂设置有关节的例的附图。图5是表示图4中，蒸镀源向基板侧移动的状态的附图。图6是表示图4中，在导向臂设置有旋转部件的例的附图。图7是表示图I中，导向臂以可分离成两个部分的方式结合的结构的剖视图。(附图标记说明)110:真空腔室120:蒸镀源130:蒸镀源驱动部140:导向臂142、143:关节146 :旋转部件150:动力管线160:滑动引导部161 :外部管162 :第一密封部件163 :伸缩部件170:导向机构
具体实施例方式下面，通过参照附图对根据优选实施例的本发明进行详细说明。图I是表示根据本发明一实施例的蒸镀装置的结构图，图2是表示图I中，蒸镀源的线性移动状态的侧视图。参照图I及图2，蒸镀装置包括真空腔室110、蒸镀源120、蒸镀源驱动部130、导向臂140以及滑动引导部160。真空腔室110的内部空间在对基板10进行薄膜蒸镀工序时维持真空状态。对于基板10的蒸镀工序可由多种方式构成。例如，基板10在真空腔室110的内部以垂直的方式立起的状态下，蒸镀源120以水平或者垂直的方式进行线性移动，并向基板10的表面供给蒸镀物质，从而可以在基板10的表面蒸镀薄膜。此时，在基板10的表面形成预定模式的薄膜时，可以在基板10的被蒸镀一面配置图像掩模20。并且，图像掩模20和基板10之间，可借助定位装置30进行定位。例如，在基板10被位置固定的状态下，利用定位装置30来使图像掩模20并进/旋转，从而使图像掩模20对基板10以设定位置的方式定位。蒸镀源120因将蒸镀物质向基板10供给而可相当于蒸发源或者溅射枪。蒸发源收纳蒸镀物质，并使被收纳的蒸镀物质蒸发或者升华，来使蒸镀物质蒸镀在基板10的表面。溅射枪收纳蒸镀物质的对象，并利用溅射的方式来使被收纳的对象蒸发之后蒸镀在基板10。蒸镀源驱动部130使蒸镀源120相对于基板10进行线性移动。一例为，蒸镀源驱动部130能够包括线性促动器131和线性导向器132，所述线性促动器131提供用于使蒸镀源120线性移动的驱动力，所述线性导向器132引导蒸镀源120的线性移动。线性促动器131可包括球形螺旋和马达等。导向臂140跟随蒸镀源120的线性移动而进行轴转动作的同时，向长度方向滑动。导向臂140的一端部根据滑动引导部160的滑动，另一端部与蒸镀源120可枢轴结合。因
此，导向臂140可通过跟随蒸镀源120的线性移动的方式来进行轴转动作的同时进行滑动，从而引导蒸镀源120的线性移动。由于导向臂140的轴转动作和滑动接收蒸镀源驱动部130的驱动力而构成，因此，在导向臂140中也可不设置额外的驱动源。由此，能够使导向臂140的结构简单。其结果，能够容易进行导向臂140的维护。例如，导向臂140的内部可持有与真空腔室110的外部的状态相同的状态。真空腔室Iio的外部的状态为大气压状态时，导向臂140的内部也可持有大气压状态。因此，动力管线150可经过大气压状态的导向臂140的内部而连接在蒸镀源120。导向臂140可由多种形态构成，作为一例，该导向臂140可由中空的管形态构成。虽然图示了蒸镀源120根据导向臂140并以水平方式进行线性移动的例，但是在蒸镀源120以垂直方式进行线性移动的情况下，显然，导向臂140可通过滑动引导部160设置在真空腔室110的侧壁，以便能够引导蒸镀源120以垂直方式进行线性移动。导向臂140收容动力管线150。动力管线150可为用于从真空腔室110的外部向蒸镀源120供给电、控制信号等的配线、蒸镀气体及冷却气体等的配管。动力管线150的一端部向真空腔室110的外部引出，另一端部与蒸镀源120连接。在导向臂140的内部和真空腔室110的外部的状态相同的情况下，动力管线150不向真空腔室110的真空状态露出，而收容在导向臂140的内部，从而能够处于与真空腔室110的外部的状态相同的状态。由此，可以防止动力管线150的陈旧化或者线路中断等现象。滑动引导部160以维持密封的状态设置在真空腔室110和导向臂140，来引导导向臂140的滑动。通过参照图2对根据所述的导向臂140而引导蒸镀源120的线性移动的过程进行说明如下。首先，如果蒸镀源120在中央位置向右侧水平移动或者向左侧移动，导向臂140则进行轴转动作。此时，导向臂140被滑动引导部160引导滑动。即，在导向臂140以维持规定长度的状态下进行轴转动作时，通过根据滑动引导部160进行滑动的方式来引导蒸镀源120的线性移动。因此，导向臂140的内部可具有直线性的空间，从而能够容易设置动力管线150。并且，能够使被收容在导向臂140的动力管线150的动作最小化，从而在导向臂140的轴转动作时，防止动力管线150的缠绞现象。另一方面，如图3中的详细所示，滑动引导部160可包括外部管161、第一密封部件162及伸缩部件163。外部管161的一端部与真空腔室110结合，并该外部管161的另一端部位于真空腔室Iio的内部。外部管161通过使导向臂140的一部分贯通的方式来引导导向臂140的滑动。在导向臂140由该圆筒构成的情况下，外部管161由圆形形态构成，从而可配置在与导向臂140相同的轴上。在此，外部管161的内壁从导向臂140的外壁隔开，以免在导向臂140向长度方向滑动时,在外部管161的内壁和导向臂140的外壁之间产生摩擦。
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第一密封部件162密封外部管161和真空腔室110之间的结合部位。作为一例，第一密封部件162可以为真空波纹管(bellows)。在这种情况下，真空波纹管能够设置成在真空腔室110的外部密封外部管161和真空腔室110之间。在外部管161根据导向臂140的轴转动作动作时，真空波纹管可根据外部管161的动作而变形，从而可以维持外部管161和真空腔室110之间的密封状态。伸缩部件163在真空腔室110内密封外部管161和导向臂140之间。伸缩部件163以围绕外部管161和导向臂140的方式被设置，该伸缩部件163的一端部固定在外部管161，并该伸缩部件163的另一端部固定在导向臂140，从而密封外部管161和导向臂140之间。伸缩部件163根据导向臂140的滑动方向进行伸缩动作。因此，在导向臂140进行轴转动作时，导向臂140可借助伸缩部件163与外部管161维持密封状态，并沿外部管161的内部在长度方向上进行往返运动。即使在导向臂140的轴转动作时出现行程的误差，伸缩部件163也可以应对。做为伸缩部件163，可使用真空波纹管。在导向臂140被滑动引导部160引出的情况下，在被引出的端部上可设置导向机构170。导向机构170在导向臂140的被引出的端部根据蒸镀源120的线性移动而动作时引导导向臂140的端部的动作。导向机构170可包括电缆卷筒。如图2所示，电缆卷筒的一端部连接在导向臂140的被引出的端部。电缆卷筒通过根据导向臂140的被引出的端部位置而弯曲的方式动作，从而能够引导出导向臂140的端部的动作。如图4所示，在导向臂140中可设置被第二密封部件144密封的至少一个关节。在此，导向臂140可形成为利用关节向与基板10隔开或邻接的方向弯曲或展开。例如，导向臂140由第一臂141a、第二臂141b及第三臂141c构成，并可在第一臂141a和第二臂141b之间设置第一关节142，可在第二臂141b和第三臂141c之间设置第二关节143。在此，第一关节142、第二关节143的各个旋转中心轴配置成朝向蒸镀源120的线性移动的方向，来使导向臂140借助第一关节142、第二关节143来向与基板10隔开或邻接的方向弯曲或展开。第二密封部件144在第一关节142、第二关节143中导向臂140的内部被真空腔室110的真空密封。作为第二密封部件144，可使用真空波纹管。所述第一关节142、第二关节143如图5所示，即使蒸镀源120被导向机构引导而向基板10侧移动，也能够使导向臂140被第一关节142、第二关节143弯曲。因此，相对于基板10的蒸镀源120的距离也能够变化。由于能够通过改变相对于蒸镀源120的导向臂140的倾斜角度，从而容易连接导向臂140和蒸镀源120，因而，能够防止导向臂140和蒸镀源120之间的结合部位破损的现象。并且，在导向臂140具有第一关节142、第二关节143的状况下，因容易地组装和拆卸，所以有利于维护。关节的数量不局限于如图所示的关节数量。另一例为，导向臂140也可形成为利用第一关节142、第二关节143而向蒸镀源120的线性移动方向弯曲或展开。在这种情况下，第一关节142、第二关节143的各个旋转中心轴配置成朝向与基板IO相向的方向，来使导向臂140利用第一关节142、第二关节143向蒸镀源120的线性移动方向弯曲或展开。如图6所示，在导向臂140还能够设置旋转部件146。旋转部件146能够以朝向导向臂140的长度方向的轴为中心使导向臂140和蒸镀源120进行相对旋转。例如，旋转部件146能够固定在第三臂141c。并且，旋转部件146可旋转的方式支承在连接第三臂141c和蒸镀源120的连接部121。在此，旋转部件146通过以朝向导向臂140的长度方向的轴为中心进行旋转的方式支承在连接部121。如果旋转部件146相对于连接部121旋转，则能够使第三臂141c旋转，从而能够使整个导向臂140相对于蒸镀源120旋转。因此，即使在蒸镀源120线性移动时出现移动
行程的误差，导向臂140也可相对于蒸镀源120旋转，从而能够更正误差。此时，也可以防止导向臂140的破损。如图7所示，导向臂140能够以可分离成至少两个部分的方式结合的结构构成。例如，导向臂140能够包括向长度方向分为两个部分的第一外壳140a、第二外壳140b。第一外壳140a与第二外壳140b可分离地相结合，并在相结合的状态下，提供收容动力管线150的空间。第一外壳140a和第二外壳140b之间的结合部位能够被O型圈等的密封部件140c密封。由于导向臂140利用第一外壳140a，第二外壳140b来容易进行组装或分解，因而，能够有利于维护被收容在该导向臂140的内部的动力管线150。另一方面，在导向臂140由第一臂141a、第二臂141b及第三臂141c构成的情况下，第一臂141a、第二臂141b及第三臂141c分别能够由以可分离成两个部分的方式结合的结构构成。以上，参照附图所示出的一实施例对本发明进行了说明，但只作为示例性说明，本发明所属技术领域的普通技术人员应当理解，可以根据本发明进行各种变形及均等的其他实施例。因此，本发明的真正的保护范围应由权利要求书限定。
权利要求
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括 真空腔室； 蒸镀源，其设置在上述真空腔室的内部； 蒸镀源驱动部，其使上述蒸镀源相对于上述真空腔室的内部的基板进行线性移动； 导向臂，其一端部引出到上述真空腔室外部，另一端部收容与上述蒸镀源连接的动力管线，通过该导向臂的一端部来使上述动力管线引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部能够与上述蒸镀源枢轴结合，并且该导向臂跟随上述蒸镀源的线性移动进行轴转动作的同时向长度方向滑动；以及 滑动引导部，其以维持密封的状态设置在上述真空腔室和导向臂，用于引导上述导向臂的滑动。
2.根据权利要求I所述的蒸镀装置，其特征在于，上述滑动引导部包括 外部管，其一端部与上述真空腔室结合，另一端部位于上述真空腔室的内部，该外部管通过使上述导向臂的一部分贯通的方式来引导上述导向臂的滑动； 第一密封部件，其用于密封上述外部管和真空腔室之间的结合部位；以及 伸缩部件，其在上述真空腔室内密封上述外部管和导向臂之间，并根据上述导向臂的滑动方向进行伸缩动作。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，上述第一密封部件及伸缩部件分别为真空波纹管。
4.根据权利要求I所述的蒸镀装置，其特征在于，包括导向机构，该导向机构用于在上述导向臂的一端部随着上述蒸镀源的线性移动而进行动作时引导上述导向臂的一端部的动作。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向机构为电缆卷筒。
6.根据权利要求I所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂具有被第二密封部件密封的至少一个关节。
7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，上述第二密封部件为真空波纹管。
8.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂形成为上述关节向与基板隔开或邻接的方向弯曲或展开。
9.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂利用上述关节向上述蒸镀源的线性移动的方向弯曲或展开。
10.根据权利要求I所述的蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件，该旋转部件能够使上述导向臂和蒸镀源以沿着上述导向臂的长度方向的轴为中心进行相对旋转。
11.根据权利要求I所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂由以能够分离成至少两个部分的方式结合的结构构成。
12.根据权利要求I所述的蒸镀装置，其特征在于，上述导向臂的内部具有与上述真空腔室的外部状态相同的状态。
全文摘要
本发明涉及一种蒸镀装置，其特征在于，包括真空腔室；蒸镀源，其设置在上述真空腔室的内部；蒸镀源驱动部，其使上述蒸镀源相对于上述真空腔室的内部的基板进行线性移动；导向臂，其一端部引出到上述真空腔室的外部，另一端部收容与上述蒸镀源连接的动力管线，通过该导向臂的一端部来使上述动力管线引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部能够与上述蒸镀源枢轴结合，并且该导向臂跟随上述蒸镀源的线性移动进行轴转动作的同时向长度方向滑动；以及滑动引导部，其以维持密封的状态设置在上述真空腔室和导向臂，用于引导上述导向臂的滑动。
文档编号C23C14/24GK102877028SQ20121024084
公开日2013年1月16日 申请日期2012年7月11日 优先权日2011年7月13日
发明者柳秉秀, 蔡正在, 安成一 申请人:圆益Ips股份有限公司