蒸镀屏蔽的制作方法
【专利摘要】一种蒸镀屏蔽，供使用于具有蒸镀源的蒸镀制程中，包含第一本体及第二本体。第一本体具有第一叠合区，第一叠合区上形成有多个第一穿孔。第二本体与第一本体不同方向延伸，并具有第二叠合区。第二叠合区上形成有多个第二穿孔。第一叠合区与第二叠合区叠合，且第一穿孔在第二叠合区上的投影范围均在第二穿孔的范围外。
【专利说明】蒸镀屏蔽
【技术领域】
[0001]本发明是有关于一种蒸镀装置；具体而言，本发明是有关于一种于显示器制程中使用的蒸镀屏蔽。
【背景技术】
[0002]有机电激发光二极管(Organic Light Emitting D1de)或称有机发光显示器,简称0LED，具有超薄、高亮度、高发光效率、高反应速度、广视角、自发光而不另需背光源等特色。OLED具有设置于阴极与阳极间的有机层。利用有机材料的特性，OLED将能量以光波的形式释出。简言之，OLED具有有机发光层。有机材料的种类及组合并可加以变化，产生各发不同光的OLED。
[0003]在OLED的制程中，举例来说，可以气或液相沉积、涂布或电镀等方式成膜，其中有机膜层可以真空蒸镀搭配屏蔽界定成膜区域的方式形成。如图1A?IC所示，现有屏蔽90由上部片体820及下部片体810搭设成；上部片体820及下部片体810可再架设于框架900上。上部片体820及下部片体810并于基材S上围构成成膜区域M。其中，每完成蒸镀制程，屏蔽90经清洁(以例如浸泡于药液中、喷洒药液以及/或以清洗设备清洁)以除去附着其上的蒸镀材料，并经干燥以备下次蒸镀之用。然而，相互搭设的上部片体820及下部片体810毕竟为相互独立的部件，两者间若未加以黏接或焊接，则上部片体820及下部片体810相叠的部分A仍会发生微小的间隙g。当进行屏蔽90的清洁时，尽管药液可能流入间隙g，间隙g的狭小及重叠部分的大面积难以确保药液可充分清洁该重叠的部分A ;再者，流入间隙g内的药液及其可能携带的物质亦难确保可通过间隙g，而在清洗后自屏蔽90移除(即残留于间隙g、屏蔽90)。因此，上部片体820及下部片体810相叠的部分A及其间隙g在清洁后仍有成膜材料残留过多的顾虑；此外，药液的成分亦可能残留于屏蔽90。该些残留一方面可能成为污染物、降低屏蔽90寿命，另一方面则可能在使用于蒸镀制程时释出，影响制程质量，产品良率因此受到影响。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种蒸镀屏蔽，具有容易清洁的优点。
[0005]本发明的另一目的在于提供一种蒸镀屏蔽，使用率高且协助提高蒸镀成品的良率。
[0006]本发明的蒸镀屏蔽供使用于具有蒸镀源的蒸镀制程中，包含第一本体及第二本体。第一本体具有第一叠合区，第一叠合区上形成有多个第一穿孔。第二本体与第一本体不同方向延伸，并具有第二叠合区。第二叠合区上形成有多个第二穿孔。第一叠合区与第二叠合区叠合，且第一穿孔在第二叠合区上的投影范围均在第二穿孔的范围外。
[0007]本发明蒸镀屏蔽的第一本体与第二本体相互叠设。当第一本体与第二本体相互叠设时，重叠的部分因第一穿孔及第二穿孔而形成有孔。
[0008]本发明蒸镀屏蔽的第一本体与第二本体分别形成有第一穿孔及第二穿孔，且第一本体与第二本体相互叠设，其中第一本体与第二本体相互叠设时以其形成有第一穿孔及第二穿孔的部分相叠而叠设。第一穿孔在第二本体上的投影范围在第二穿孔的范围外。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1A所示为现有技术屏蔽的分解图；
[0010]图1B与IC所示分别为现有技术屏蔽的俯视图与侧视图；
[0011]图2A?2B所示为本发明蒸镀屏蔽的实施例的分解图；
[0012]图3A与3B所示分别为本发明蒸镀屏蔽的实施例的立体图与俯视图；
[0013]图3C所示为图3A?3B所示实施例的剖视图；
[0014]图4所示为液体于本发明蒸镀屏蔽流动的示意图；
[0015]图5?7与8A?8B所示为本发明蒸镀屏蔽其它实施例的示意图；
[0016]图9A?9B所示为本发明显示蒸镀屏蔽的使用例的示意图；
[0017]图10所示为本发明蒸镀屏蔽其它实施例的分解图；以及
[0018]图11所示为图10所示实施例的使用例的示意图。
[0019][本发明]
[0020]1UOn蒸镀屏蔽
[0021]100、100a、100b、10c 第一本体
[0022]110 第一本体
[0023]120 开孔
[0024]150第一叠合区
[0025]180 第一穿孔
[0026]200,200a,200b,200c 第二本体
[0027]220 第二本体
[0028]250第二叠合区
[0029]280 第二穿孔
[0030]500 框体
[0031]510支撑台
[0032]520框本体
[0033]G 间隙
[0034]D 孔径
[0035]d 距离
[0036]S 基板
[0037]C蒸镀源
[0038][习知]
[0039]810上部片体
[0040]820下部片体
[0041]900 框架
[0042]90 屏蔽
[0043]M成膜区域
[0044]A相叠的部分
[0045]g 间隙
【具体实施方式】
[0046]本发明提供一种蒸镀屏蔽，供使用于具有一蒸镀源的蒸镀制程中。透过蒸镀制程，举例来说，可于基材表面形成膜层。较佳而言，本发明的蒸镀屏蔽可在有机发光显示器(Organic Light Emitting Display, OLED，或称有机电激发光二极管(Organic LightEmitting Display))的成膜/蒸镀制程中，用于在基材的特定区域上形成有机发光层。该特定区域的选择例如可以为显示面板的显示区或形成像素的区域。蒸镀源朝向基板释出蒸镀材料，例如汽化的有机分子，蒸镀材料穿过蒸镀屏蔽以在基材上形成图案化或限定区域的有机发光层。
[0047]每完成蒸镀制程，蒸镀屏蔽经清洁(以例如清洗设备清洁)以除去附着其上的蒸镀材料，并经干燥以备下次蒸镀之用。本发明的蒸镀屏蔽藉其本身的结构则获得更良好的清洁成果。
[0048]如图2A所示实施例，蒸镀屏蔽10包含第一本体100与第二本体200，其中第一本体100具有第一叠合区150，第二本体200具有第二叠合区250。第一叠合区150上形成有多个第一穿孔180，第二叠合区250上形成有多个第二穿孔280。在此较佳实施例中，第一本体100与第二本体200具体为具有两个具不同延伸方向的本体，且较佳为长条状金属片。该些金属片上形成有多个第一穿孔180或多个第二穿孔280。因此，第一叠合区150或可视为作为第一本体100的金属片上形成有该些第一穿孔180的区域，第二叠合区250则可视为作为第二本体200的金属片上形成有该些第二穿孔280的区域。多个第一穿孔180或多个第二穿孔280较佳集中分布于第一本体100或第二本体200上；其中可集中分布于第一本体100或第二本体200上一或多个区域而形成一或多个第一叠合区150或第二叠合区250。当第一本体100与第二本体200相组合，第一本体100具有至少一第一叠合区150与第二本体200的至少一第二叠合区250相互叠合。
[0049]另一方面，第一穿孔180或第二穿孔280的穿孔大小或称开口面积。多个第一穿孔180或第二穿孔280的开口面积的总合，或称为总开口面积。穿孔大小、数量、甚至形状可决定总开口面积。
[0050]如图3A所示，蒸镀屏蔽10内相互组合的第一本体100及第二本体200较佳朝不同方向延伸，并较佳围构成一几何范围。举例来说，三个各朝不同方向延伸的第一本体100及第二本体200可构成三角形框架且围成三角形范围；或者，二个相互间隔且朝相同方向延伸的第一本体100与二个相互间隔且垂直第一本体100延伸的第二本体200构成矩形框架且围成矩形范围；或者，二个相互间隔且朝相同方向延伸的第一本体100与三个相互间隔且垂直第一本体100延伸的第二本体200构成T形框架且围成两个矩形范围，如图3A所示。当进行蒸镀时，基材裸露的部分与框架所围成范围相当；换言之，该框架界定基材的成膜区域而于此镀上材料。如图3A所示，当第一本体100与第二本体200相组合，第一叠合区150与第二叠合区250较佳相互叠合。此时，第一本体100与第二本体200叠设且第一叠合区150与第二叠合区250叠合时，第一穿孔180投影于第二叠合区250时落在第二穿孔280之外的范围，第二穿孔280投影于第一叠合区150时落在第一穿孔180之外的范围。换句话说，在第一本体100与第二本体200的相叠的部分(即叠合区150/250)中，第一穿孔180与第二穿孔280的分布会彼此错开，以致于第一叠合区150与第二叠合区250重叠时第一穿孔180与第二穿孔280不会直接连通，故第一穿孔180与第二穿孔280因第一本体100或第二本体200的遮挡而不使该相叠的部分因此具有穿孔贯穿叠合区150/250的相反两侧表面。
[0051]以图2B与图3A?3C所示实施例为例，在第一本体100的第一叠合区150内可形成相互间隔的多个第一穿孔180，第二本体200的第二叠合区250亦形成相互间隔的多个第二穿孔280，且这些第二穿孔280与这些第一穿孔180错位。错开的程度较佳是大于第一穿孔180或第二穿孔280的孔径。以图3C所示说明，相邻穿孔，如相邻第一穿孔180与第二穿孔280错开的距离D大于第一穿孔180或第二穿孔280孔径d ;其中距离D亦相当于第一穿孔180 (或第二穿孔280)以及与该第一穿孔180 (或第二穿孔280)最接近的第二穿孔280 (或第一穿孔180)的距离。该距离又相当于例如第一穿孔180中心至相邻第二穿孔280中心的长度，或相当于第一穿孔180右侧边界至相邻第二穿孔280右侧边界的长度。进一步而言，该些第一穿孔180与第二穿孔280在由第一叠合区150及第二叠合区250重叠形成的区域150/250中错位，且第一穿孔180在第二叠合区250的投影范围落在相邻二第二穿孔280之间，第二穿孔280在第一叠合区150的投影范围则落在相邻二第一穿孔180之间。再者，藉由使错开的距离D大于孔径d，第一穿孔180在第二叠合区250的投影范围与第二穿孔280的范围较佳不重叠。如图3B及其依据A-A剖线的剖视图3C所示，当俯视蒸镀屏蔽10，例如俯视第二本体200相对位于第一本体100上方的蒸镀屏蔽10时，可见到第二叠合区250中的第二穿孔280，并透过第二穿孔280见到下方部分的第一本体100。第一本体100部分自第二穿孔280露出的部分的两旁有第一穿孔180 ;第一穿孔180为第二本体200所遮盖(在图3B放大图中以虚线表示)。反之，当仰视遮蒸镀屏蔽10时，可见到第一叠合区150中的第一穿孔180，并透过第一穿孔180见到上方部分的第二本体200。
[0052]以图2B与图3A?3C所示实施例为例。在设计蒸镀屏蔽10的阶段，可知第一叠合区150、第二叠合区250或第一叠合区与第二叠合区重叠的区域150/250大致为方形。此时，设计时并可于该重叠区域内划分25个方形区域，如图2B所示，并依该些方形区域于第一叠合区150及第二叠合区250交错形成第一穿孔180及第二穿孔280。例如在奇数的方形区域(如第二叠合区250第一列或第一行的第1、第3、第5格)形成第二穿孔280，并在偶数的方形区域(如第一叠合区150内第一列或第一行的第2与第4格)形成第一穿孔180，藉以使第一穿孔180及第二穿孔280于第一叠合区与第二叠合区重叠的区域150/250交错分布；其中所述第一叠合区150内的第一列或第一行与第二叠合区250的第一列或第一行对应，当第一本体100与第二本体200相组合，且该第一叠合区150与该第二叠合区250相互叠合时，第一叠合区150内的第一列(或第一行)相对位于第二叠合区250的第一列(或第一行)的上方或下方。换言之，除了设置在边缘位置的之外，其它每一第一穿孔180 (或说第一穿孔180在第二叠合区的投影范围)均由多个第二穿孔280所围绕；反之亦然。
[0053]更进一步来说，叠设的第一本体与第二本体于第一叠合区150及第二叠合区250之间形成有间隙G。以图2B与3A?3B所示实施例为例。间隙G可为第一本体100与第二本体200之间堆栈时，没有加以如黏接或焊接而自然产生，且较佳为微小的缝隙。间隙G并连通第一穿孔180及第二穿孔280。如此，当第一本体100或第二本体200的表面有液体存在，液体可能渗入第一穿孔180或第二穿孔280、并由于毛细现象而通过间隙G抵达另一侧，亦即由第一本体100流到第二本体200及第二穿孔280，或由第二本体200流到第一本体100及第一穿孔180。换句话说，本实施例的蒸镀屏蔽藉其本身的结构如第一本体100及第二本体200，促使液体于第一本体100及第二本体200重叠部分的流通及分配。如图4所示，当液体为洗剂，本实施例的蒸镀屏蔽藉此结构让洗剂能流通至第一本体100及第二本体200重叠部分而达到更良好的清洁成果，并藉由第一穿孔180及第二穿孔280的配置让洗剂自第一穿孔180/第二穿孔280排出，以避免洗剂残留于间隙G中。在清洁之后，本发明的蒸镀屏蔽亦可因重叠区域的通透性而具有较短的干燥时间，蒸镀屏蔽的使用率因此提闻。
[0054]在其它实施例中，第一穿孔180或第二穿孔280可为其它形状如矩形、圆形。穿孔形状的选择可以其成形的效率决定，例如形成圆形穿孔较方便，则选择圆形为第一穿孔180及/或第二穿孔280的形状。再者，第一穿孔180或第二穿孔280的(总)开口面积可改变。如图5所示，第一本体10a及第二本体200a错位形成矩形的第一穿孔180a及第二穿孔280a，第一穿孔180a或第二穿孔280a的开口面积并因其形状与分布方式而与前述实施例有差别。如图6所示，第一本体10b及第二本体200b交错形成圆形第一穿孔180b及第二穿孔280b，第一穿孔180b或第二穿孔280b的开口面积并因其形状与分布方式而与前述实施例有差别。相较于图5?7所示实施例，在图3B?3C所示实施例中，第一穿孔180/第二穿孔280具有较大的开口面积，且叠合区150/250的孔(由第一穿孔及第二穿孔而形成)亦形成较大的总开口面积。在本发明实施例中，图3B?3C的开口的长*宽可例如为5单位*5单位。反过来说,相较于图3B?3C所示实施例,在图5?7所示实施例中(图5与6的剖视图可同时参照图7)，第一穿孔180a/第二穿孔280a以及第一穿孔180b/第二穿孔280b于第一叠合区150/第二叠合区250相较于图3B?3C的第一穿孔180/第二穿孔280具有较小的开口面积；不但如此，重叠的部分150/250的孔(由第一穿孔及第二穿孔而形成)形成较小的总开口面积，其中图5?7的开口的长*宽可例如为6单位*4单位。一般而言，重叠的部分150/250的总开口面积越大，则重叠的部分150/250中实质有第一本体部分及第二本体部分相叠的面积越小；此外，大的总开口面积及小的相叠的面积原则上反映较好的通透性(如液体于重叠的部分150/250较好的通透性)。较佳而言，第一穿孔180的总开口面积及第二穿孔280的总开口面积之和小于第一叠合区180面积或第二叠合区250面积的90%。
[0055]在其它实施例中，第一穿孔与第二穿孔的各别或总开口面积可不同。如图8A?8B所示，第一穿孔180c的开口面积小于第二穿孔280c的开口面积。其中第一穿孔及/或第二穿孔的大小或(总)开口面积可依据蒸镀屏蔽10与蒸镀源间的位置关系如第一本体及第二本体与蒸镀源的远近来设计，以及/或者蒸镀屏蔽的清洗方式及/或清洗设备的清洗模式来设计。举例来说，使面朝蒸镀源C的第一本体100具有较小的第一穿孔180的大小或(总)开口面积，较佳为第一穿孔180c的大小或(总)开口面积小于第二穿孔280c的大小或(总)开口面积，以减少蒸镀材料在蒸镀的过程中附着于第二本体更甚至附着于欲蒸镀的基板上。图8A?SB虽将第一本体100绘于下方，然此不限制第一本体100实际上的位置。
[0056]本发明的第一本体及第二本体较佳与一支撑件连接。如图9A?9B所示，第一本体100与第二本体200可设置于支撑件，藉此固定其延伸方向及其围构成的几何范围，其中支撑件较佳为框体500。框体500并可供欲蒸镀的基材如玻璃基板S设置。
[0057]如图9A?9B所示实施例，二个第一本体100平行延伸于y轴方向上，三个第二本体200平行延伸于X轴方向上。二个第一本体100与三个第二本体200于z轴上的位置不同。举例来说，第二本体200位于第一本体100上，且各第二本体200与下方二个第一本体100叠设。每一第一本体100并具有三个第一叠合区150分别叠合于三个第二本体200各自的第二叠合区250。另一第一本体100亦如此。因此，该些第一本体100及第二本体200构成类T形框架，并围构成二矩形范围。
[0058]再者，第一本体100、第二本体200与框体500更于z轴向上依序组合，但不以此为限，例如第一本体100及第二本体200的顺序可调换。第一本体100、第二本体200与框体500于图示中的上下关系不限制实际操作时三者在空间中的相对位置。在此实施例中，框体500行经第一本体100及第二本体200的端缘，且第一本体100或第二本体200以相对两端连接于框体500的相对两侧。再者，第一本体100及第二本体200可以焊接如雷射点焊的方式固设于框体500。另外，框体500可以具有支撑台(图未示)。基板S设置于支撑台上。较佳而言，基板S欲蒸镀的一面较佳背向支撑台，其中第一本体100及第二本体200面向基板500欲蒸镀的一面而组合于框体500上，并且遮蔽基板S ;换句话说，基板500夹设于第一本体100与第二本体200 (或谓蒸镀屏蔽)及框体500间。此时，第一本体与第二本体中远离支撑台510的本体定义为较接近蒸镀源的本体，例如第一本体100为接近蒸镀源的本体；在进行蒸镀时，第一本体100的朝向蒸镀源的一面及第二本体200朝向蒸镀源且没有与第一本体100相叠的部分，即没有受到遮蔽的部分直接收受蒸镀材料。
[0059]举例来说，基板S可为玻璃基板。玻璃基板设置于框体500与第一本体100及第二本体200 (或谓蒸镀屏蔽)间，并有类T形框架围构成的二矩形范围界定其成膜区域。每一矩形范围，即成膜区域的尺寸可为例如65吋面板的1850mm*1500mm的大小。当蒸镀完成，G6大小的成品上将有两个矩形膜层如有机膜层。
[0060]在其它实施例中，基板S可藉由例如吸盘装置，在蒸镀室中，透过基板S的非蒸镀面将其固定于蒸镀屏蔽上方。蒸镀源通常位于蒸镀屏蔽下方，并朝向蒸镀屏蔽及基板S的方向进行蒸镀。蒸镀屏蔽并非一定紧贴于基板S ;换言之，蒸镀屏蔽可与基板S间隔设置。本发明的蒸镀屏蔽藉其本身的结构可在短时间内获得良好的清洁成果，因此可迅速再投入蒸镀制程并协助提高成品良率。
[0061]图10所示为本发明蒸镀屏蔽的另一实施例。蒸镀屏蔽1n亦包含第一本体110与第二本体220，其中第一本体110具有第一叠合区150，第二本体220具有第二叠合区250。第一叠合区150上形成有多个第一穿孔180，第二叠合区250上形成有多个第二穿孔280。此外，第一本体110于第一叠合区150之外的部分进一步形成有开孔120，提供界定成膜区域。在图10所示实施例中，第一本体110形成有多个开孔120，其中该些开孔120可例如以一定规则排列而占有第一本体110 —区域。再者，该些开孔120的尺寸可相当于像素大小，并以矩阵式排列。如图10所示，第一本体110上形成多个开孔120的区域形成一网格状结构。因此，第一本体110的使用因其界定成膜区域的结构，第一本体110提供一种蒸镀的方式，在基材上形成与像素对应的有机层。
[0062]另一方面，第二本体220可具有多个第二叠合区250。如图10所示，该些第二叠合区250沿第二本体220的延伸方向排列；或者，可谓第二本体220具有一沿其延伸方向延伸的叠合区250’。
[0063]有关第一本体110与第二本体220的使用，如图10?11所示使用例，多个第一本体110平行延伸于y轴向上，且沿X轴向并排。第一本体110上近两端以及中间的第一叠合区150因此大致对齐，且构成于该并排方向，即X轴向上延伸的叠合区150’。另一方面，第二本体220具有在X轴向上延伸的叠合区250’。并排的多个第一本体110可叠设于第二本体220，且叠合区150’与叠合区250’相互叠合，藉此叠合区150’ /250’具有孔。如上所述，此为促使液体于第一本体110及第二本体220本身的重叠部分的流通及分配。当液体为洗剂，本发明的蒸镀屏蔽藉此结构获得更良好的清洁成果。在清洁之后，本发明的蒸镀屏蔽可因重叠区域的通透性而具有较短的干燥时间，蒸镀屏蔽的使用性因此提高。
[0064]本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地，包含于权利要求范围的精神及范围的修改及均等设置均包含于本发明的范围内。
【权利要求】
1.一种蒸镀屏蔽，供使用于具有一蒸镀源的蒸镀制程中，其特征在于，包含: 一第一本体，具有一第一叠合区；其中，该第一叠合区上形成有多个第一穿孔；以及 一第二本体，与该第一本体不同方向延伸，并具有一第二叠合区；其中，该第二叠合区上形成有多个第二穿孔； 其中，该第一叠合区与该第二叠合区叠合，且该第一穿孔在该第二叠合区上的投影范围均在该第二穿孔的范围外。
2.如权利要求1所述的蒸镀屏蔽，其特征在于，该第一穿孔在该第二叠合区上的投影范围夹于相邻二该第二穿孔之间。
3.如权利要求1所述的蒸镀屏蔽，其特征在于，该第一叠合区及该第二叠合区间夹有一间隙，该间隙分别连通该第一穿孔及该第二穿孔。
4.如权利要求1所述的蒸镀屏蔽，其特征在于，该第一穿孔及该第二穿孔中至少其一为圆形。
5.如权利要求1所述的蒸镀屏蔽，其特征在于，该第一本体较该第二本体接近该蒸镀源，该第一穿孔的开口面积小于该第二穿孔的开口面积。
6.如权利要求1所述的蒸镀屏蔽，其特征在于，该些第一穿孔的总开口面积及该些第二穿孔的总开口面积的加总小于该第一叠合区面积的90%。
【文档编号】C23C14/24GK104278233SQ201410598749
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2014年10月30日 优先权日:2014年8月13日
【发明者】陈冠吉, 林子傑, 郭雅佩, 陈之磊 申请人:友达光电股份有限公司