蒸镀装置的制作方法

技术总结
本发明提供一种蒸镀装置，其易于进行蒸发源的维护作业。一种蒸镀装置，其将收纳有蒸镀材料的蒸发源(2)设置于蒸发源设置部(40)进行蒸镀，其中，该蒸镀装置具备包围所述蒸发源设置部(40)的四周的遮蔽部(5)，所述遮蔽部(5)具有开闭结构。

技术研发人员：风间良秋;后藤亮太;三泽启太;七五三木浩一
受保护的技术使用者：佳能特机株式会社
文档号码：201610443453
技术研发日：2016.06.20
技术公布日：2017.01.04