一种真空镀膜箱设备的制作方法

文档序号:15908085发布日期:2018-11-13 20:01阅读:188来源:国知局
一种真空镀膜箱设备的制作方法

本发明涉及光电技术领域,具体涉及对基板进行镀膜的镀膜箱。



背景技术:

一般公知,基板(如,镀膜玻璃、反射玻璃)的镀膜在真空腔体内完成。如此,操作人员需打开真空腔体,将待镀膜的基板放入;在基板镀膜完成,操作人员再打开真空腔体,将基板取出。



技术实现要素:

本发明的目的是克服现有技术的不足,提供一种真空镀膜箱设备,它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

本发明解决所述技术问题的方案是:

一种真空镀膜箱设备,包括镀膜箱、自动门机构和自动门驱动机构,所述镀膜箱的前侧开口,镀膜箱的开口侧安装有自动门机构,自动门驱动机构安装在镀膜箱的右侧,自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接;

所述自动门机构包括滑条和门板,所述门板铰接在滑条的前端,滑条插套在镀膜箱的右侧壁上;

所述自动门驱动机构包括大齿轮,大齿轮的内部中空部分固定有齿圈,齿圈与传动齿轮啮合,传动齿轮固定在连接轴的一端,连接轴的另一端固定有第二传动轮并铰接在驱动机构支架的延伸臂上,第二传动轮与驱动齿轮啮合,驱动齿轮的下端设有弹性导向装置,驱动齿轮的上端的圆柱凸起套接在延伸臂的通孔内,驱动手柄穿过通孔固定在圆柱凸起上;驱动手柄的传动臂套接在驱动机构支架的通槽上,驱动机构支架固定在镀膜箱的右侧;

所述大齿轮的前端啮合有拨杆齿轮,拨杆齿轮上固定有拨杆,拨杆齿轮铰接在镀膜箱的右侧壁上;

所述大齿轮铰接在镀膜箱的右侧壁上,滑条的齿段与大齿轮啮合。

所述门板的上底面固定有第一导轨,门板的前端的外侧固定有横向外伸的凸杆,门板的后端后侧固定有定位支撑条。

所述镀膜箱的底板上设有第二导轨,镀膜箱的右侧壁的下端成型有滑条滑道,镀膜箱的上端的前侧固定有弹性卡件,所述门板平躺时第一导轨与第二导轨首尾衔接。

所述滑条的前端成型有铰接孔,滑条的右侧固定有导向立柱,所述凸杆铰接在铰接孔内,所述导向立柱插套在滑条滑道内,导向立柱的长度小于滑条的长度且位于滑条的后半段。

所述弹性导向装置包括导向杆、一对推力轴承和弹簧,一对推力轴承套接在导向杆上,一对推力轴承之间固定连接有弹簧,弹簧套接在导向杆上,左端的推力轴承的左端压靠在镀膜箱上,右端的推力轴承的右端压靠在驱动齿轮上,导向杆固定在镀膜箱上。

所述通槽的两端向右各成型有一个限位凹槽,所述传动臂可套接在限位凹槽内;

所述圆柱凸起上套接有第二推力轴承,第二推力轴承的左端压靠在驱动齿轮上,第二推力轴承的右端面与延伸臂之间形成的空隙的间隙a小于驱动齿轮的齿厚。

与现有技术相比,它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

附图说明:

图1为本发明的结构示意图;

图2为本发明的自动门驱动机构的剖视图;

图3为本发明的滑条的结构示意图。

具体实施方式:

实施例,见如图1至图3所示,一种真空镀膜箱设备,包括镀膜箱1、自动门机构2和自动门驱动机构3,所述镀膜箱1的前侧开口,镀膜箱1的开口侧安装有自动门机构2,自动门驱动机构3安装在镀膜箱1的右侧,自动门驱动机构3与自动门机构2之间通过齿轮齿条啮合连接;

所述自动门机构2包括滑条21和门板22,所述门板22铰接在滑条21的前端,滑条21插套在镀膜箱1的右侧壁上;

所述自动门驱动机构3包括大齿轮31,大齿轮31的内部中空部分固定有齿圈32,齿圈32与传动齿轮33啮合,传动齿轮33固定在连接轴34的一端,连接轴34的另一端固定有第二传动轮35并铰接在驱动机构支架39的延伸臂391上,第二传动轮35与驱动齿轮36啮合,驱动齿轮36的下端设有弹性导向装置37,驱动齿轮36的上端的圆柱凸起361套接在延伸臂391的通孔3911内,驱动手柄38穿过通孔3911固定在圆柱凸起361上;驱动手柄38的传动臂381套接在驱动机构支架39的通槽392上,驱动机构支架39固定在镀膜箱1的右侧;

所述大齿轮31的前端啮合有拨杆齿轮40,拨杆齿轮40上固定有拨杆401,拨杆齿轮40铰接在镀膜箱1的右侧壁上;

所述大齿轮31铰接在镀膜箱1的右侧壁上,滑条21的齿段211与大齿轮31啮合。

更进一步地说,所述门板22的上底面固定有第一导轨221,门板22的前端的外侧固定有横向外伸的凸杆222,门板22的后端后侧固定有定位支撑条223。

更进一步地说,所述镀膜箱1的底板上设有第二导轨101,镀膜箱1的右侧壁的下端成型有滑条滑道102,镀膜箱1的上端的前侧固定有弹性卡件103,所述第一导轨221与第二导轨101首尾衔接。

更进一步地说,所述滑条21的前端成型有铰接孔212,滑条21的右侧固定有导向立柱213,所述凸杆222铰接在铰接孔212内,所述导向立柱213插套在滑条滑道102内,导向立柱213的长度小于滑条21的长度且位于滑条21的后半段。

更进一步地说,所述弹性导向装置37包括导向杆371、一对推力轴承372和弹簧373,一对推力轴承372套接在导向杆371上,一对推力轴承372之间固定连接有弹簧373,弹簧373套接在导向杆371上,左端的推力轴承372的左端压靠在镀膜箱1上,右端的推力轴承372的右端压靠在驱动齿轮36上,导向杆371固定在镀膜箱1上。

更进一步地说,所述通槽392的两端向右各成型有一个限位凹槽3921,所述传动臂381可套接在限位凹槽3921内;

所述圆柱凸起361上套接有第二推力轴承,第二推力轴承的左端压靠在驱动齿轮36上,第二推力轴承的右端面与延伸臂391之间形成的空隙的间隙a小于驱动齿轮36的齿厚。

工作原理:镀膜箱1前侧的自动门机构2开启,门板22平躺在镀膜箱1的前侧,定位支撑条223压靠在齿条上,使门板22上底面与镀膜箱1的底面对齐;将待镀膜的基板放入第一导轨221向镀膜箱1推进,待基板完全进入镀膜箱1后,自动门驱动机构3开启;将驱动手柄38向镀膜箱侧按压,传动臂381退出一端的限位凹槽3921沿着通槽392向另一端转动进入另一端的限位凹槽3921,拨杆401将定位支撑条223拨起,在驱动齿轮36、第二传动齿轮35、连接轴34、传动齿轮33、齿圈32、大齿轮31和滑条21的联动作用下,门板22向上及向后推进,弹性卡件103卡住门板22使之与镀膜箱贴合,基板开始镀膜。

最后,以上实施方式仅用于说明本发明,而并非对本发明的限制,有关技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,还可以做出各种变化和变型,因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴,本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

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