本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，更具体的说，本实用新型涉及一种管式PECVD自动上下料装置。
背景技术：
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。
随着PECVD设备技术的发展，降成本、大产能的要求越来越高，单管的产能也越来越大，石墨舟也越来越大，石墨舟重量也越来越大，对石墨舟的自动上下料提出了新的需求。
技术实现要素：
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种管式PECVD自动上下料装置，该管式PECVD自动上下料装置能够实现石墨舟的自动上下料运输，提高了对石墨舟的承载能力，缩短石墨舟的上下料时间。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD自动上下料装置，其改进之处在于：包括悬臂结构、手抓结构、升降结构以及相平行的两条竖向型材，且两条竖向型材上均设置有悬臂结构，所述的升降结构用于驱动悬臂结构在竖向型材上往复运动；
所述的悬臂结构包括第一悬臂和第二悬臂，所述第一悬臂的中部安装在竖向型材上，第一悬臂的下表面滑动安装有第一连接板，第一连接板在第一悬臂上往复运动；所述的第二悬臂与第一连接板固定连接，第二悬臂的下表面滑动安装有第二连接板，所述第二连接板在第二悬臂上往复运动；
所述的手抓结构固定安装在第二连接板上，通过该手抓结构对石墨舟进行抓取。
在上述的结构中，所述的升降结构包括升降电机和传动杆；
所述竖向型材的底部设置有主动端，且主动端内部设置有主动轮，所述升降电机的电机轴与其中一个竖向型材的主动轮的一端相连接，所述的传动杆连接在两个竖向型材的主动轮之间；
所述竖向型材的顶部设置有从动端，且从动端内部设置有从动轮，所述主动轮和从动轮之间套有升降皮带，且升降皮带上固定安装着一滑块连接板，所述的悬臂结构固定在滑块连接板上。
在上述的结构中，所述的两条竖向型材之间还设置有上定位板和下定位板；
所述的上定位板的一端固定安装在其中一条竖向型材的顶部，上定位板的另一端固定安装在另一条竖向型材的顶部；所述的下定位板的一端固定安装在其中一条竖向型材的底部，下定位板的另一端固定安装在另一条竖向型材的底部。
在上述的结构中，所述的悬臂结构还包括一模组连接板，该模组连接板与滑块连接板固定连接，且所述的第一悬臂固定安装在模组连接板上。
在上述的结构中，所述的悬臂结构还包括第一横向电机和第一横向传动轴，
所述第一悬臂的一端设置有第一主动轮轴，第一横向电机与第一主动轮轴的一端固定连接，所述第一横向传动轴固定连接在两个第一悬臂的第一主动轮轴之间；
所述的第一悬臂内部设置有主动轮、从动轮以及传动皮带，第一主动轮轴固定在主动轮中心处，传动皮带套在主动轮和从动轮上，且所述的第一连接板固定安装在第一悬臂内部的传动皮带上。
在上述的结构中，所述的悬臂结构还包括第二横向电机以及第二横向传动轴；
所述第二悬臂的一端设置有第二主动轮轴，第二横向电机与第二主动轮轴的一端固定连接，所述第二横向传动轴固定连接在两个第二悬臂的第二主动轮轴之间；
所述的第二悬臂内部设置有主动轮、从动轮以及传动皮带，第二主动轮轴固定在主动轮中心处，传动皮带套在主动轮和从动轮上，且所述的第二连接板固定安装在第二悬臂内部的传动皮带上。
在上述的结构中，所述的手抓结构包括旋转连接板、抓取板以及传感器压板；
所述的旋转连接板与第二连接板固定连接，所述的抓取板位于旋转连接板下方，传感器压板固定于抓取板上贯穿的通孔内。
本实用新型的有益效果是：竖向型材即位于中间通道区内，可以缩短第一悬臂和第二悬臂的长度，增加了管式PECVD自动上下料装置的承载能力，提高了自动上下料是速度，从而缩短了石墨舟自动上下料的时间，提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的一种管式PECVD自动上下料装置的第一结构示意图。
图2为图1中A处的局部放大图。
图3为本实用新型的一种管式PECVD自动上下料装置的第二结构示意图。
图4为图3中B处的局部放大图。
图5为本实用新型的一种管式PECVD自动上下料装置的悬臂结构的示意图。
图6为本实用新型的一种管式PECVD自动上下料装置的竖向型材的结构示意图。
图7为本实用新型的一种管式PECVD自动上下料装置的手抓结构的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
参照图1至图5所示，本实用新型揭示了一种管式PECVD自动上下料装置，在本实施例中，该管式PECVD自动上下料装置包括悬臂结构10、手抓结构20、升降结构30以及相平行的两条竖向型材40，且两条竖向型材40上均设置有悬臂结构10，所述的升降结构30用于驱动悬臂结构10在竖向型材40上往复运动；对于所述的悬臂结构10，如图2、图4所示，所述的悬臂结构10包括第一悬臂101和第二悬臂102，所述第一悬臂101的中部安装在竖向型材40上，通过这种结构的设计，由于第一悬臂101的中部安装在竖向型材40上，提高了第一悬臂101的刚性，避免由于石墨舟的重量过大导致第一悬臂101出现位置的偏移。如如图1、图5所示，第一悬臂101的下表面滑动安装有第一连接板103，第一连接板103在第一悬臂101上往复运动；所述的第二悬臂102与第一连接板103固定连接，第二悬臂102的下表面滑动安装有第二连接板104，所述第二连接板104在第二悬臂102上往复运动；所述的手抓结构20固定安装在第二连接板104上，通过该手抓结构20对石墨舟进行抓取。因此，通过升降结构30的作用，驱动第一悬臂101和第二悬臂102在竖直方向往复运动，第二悬臂102可以在第一悬臂101的下方往复运动，手抓结构20可以在第二悬臂102下方往复运动，手抓结构20具有三个工作位，通过手抓结构20实现石墨舟上取料和放料。
对于所述的升降结构30和竖向型材40，如图2、图4以及图6所示，本实用新型提供了一具体实施例，升降结构30包括升降电机301和传动杆302，所述竖向型材40的底部设置有主动端401，且主动端401内部设置有主动轮，所述升降电机301的电机轴与其中一个竖向型材40的主动轮的一端相连接，所述的传动杆302连接在两个竖向型材40的主动轮之间，因此升降电机301的转动，通过主动端401的传动，带动两个竖向型材40内部的主动轮旋转；所述竖向型材40的顶部设置有从动端402，且从动端402内部设置有从动轮，所述主动轮和从动轮之间套有升降皮带，且升降皮带上固定安装着一滑块连接板403，所述的悬臂结构10固定在滑块连接板403上；所述的悬臂结构10还包括一模组连接板105，该模组连接板105与滑块连接板403固定连接，且所述的第一悬臂101固定安装在模组连接板105上；因此，升降电机301的转动，转化为滑块连接板403的上下运动，从而带动悬臂结构10和手抓结构20在竖直方向往复运动。
另外，如图1所示，所述的两条竖向型材40之间还设置有上定位板404和下定位板405；所述的上定位板404的一端固定安装在其中一条竖向型材40的顶部，上定位板404的另一端固定安装在另一条竖向型材40的顶部，所述传动杆302设置在下定位板405的下方位置；所述的下定位板405的一端固定安装在其中一条竖向型材40的底部，下定位板405的另一端固定安装在另一条竖向型材40的底部。
对于所述的悬臂结构10，如图4、图5所示，在上述实施例的基础上，本发明提供了一具体实施例，所述的悬臂结构10还包括第一横向电机106和第一横向传动轴107，所述第一悬臂101的一端设置有第一主动轮轴108，第一横向电机106与第一主动轮轴108的一端固定连接，所述第一横向传动轴107固定连接在两个第一悬臂101的第一主动轮轴108之间；所述的第一悬臂101内部设置有主动轮、从动轮以及传动皮带，第一主动轮轴108固定在主动轮中心处，传动皮带套在主动轮和从动轮上，且所述的第一连接板103固定安装在第一悬臂101内部的传动皮带上；因此，通过第一横向电机106的作用，带动第一悬臂101内部的主动轮转动，驱动传动皮带转动，转化为第一连接板103在第一悬臂101下表面的往复运动；同时，通过第一横向传动轴107的作用，带动另一个竖向型材40上的第一悬臂101内部的主动轮转动，从而使得两个第一悬臂101下方的第一连接板103同时运动。
进一步的，所述的悬臂结构10还包括第二横向电机109以及第二横向传动轴110；所述第二悬臂102的一端设置有第二主动轮轴111，第二横向电机109与第二主动轮轴111的一端固定连接，所述第二横向传动轴110固定连接在两个第二悬臂102的第二主动轮轴111之间；所述的第二悬臂102内部设置有主动轮、从动轮以及传动皮带，第二主动轮轴111固定在主动轮中心处，传动皮带套在主动轮和从动轮上，且所述的第二连接板104固定安装在第二悬臂102内部的传动皮带上。同样的，通过第二横向电机109的作用，带动第二悬臂102内部的主动轮转动，驱动传动皮带转动，转化为第二连接板104在第二悬臂102的下表面的往复运动，通过第二横向传动轴110的作用，带动另一个竖向型材40上的第二悬臂102内部的主动轮转动，从而使得两个第二悬臂102下方的第二连接板104同时运动，使得两个手抓结构20同时运动。
如图7所示，对于所述的手抓结构20，本实用新型提供了一具体实施例，手抓结构20包括旋转连接板201、抓取板202以及传感器压板203；所述的旋转连接板201与第二连接板104固定连接，所述的抓取板202位于旋转连接板201下方，传感器压板203固定于抓取板202上贯穿的通孔内，传感器压板203下方设置有传感器，通过该传感器对石墨舟的位置进行感应，并通过抓取板202对石墨舟进行抓取。
本实用新型的此种管式PECVD自动上下料装置，具有三个工作区域，分别为出舟区、中间通道区以及推舟区，当第一悬臂101和第二悬臂102处于图2中所示的状态时，手抓结构20则位于中间通道区，所述的竖向型材40即位于中间通道区内，可以缩短第一悬臂101和第二悬臂102的长度，增加了管式PECVD自动上下料装置的承载能力，提高了自动上下料是速度，从而缩短了石墨舟自动上下料的时间，提高生产效率；第二悬臂102在第一悬臂101上前后伸缩，手抓结构20在第二悬臂102上前后伸缩，当第二悬臂102向前运动（即图2中靠左边的方向）时，手抓结构20到达出舟区，进行石墨舟的抓取；当第二悬臂102和手抓结构20向后运动（即图2中靠右边的方向）时，手抓结构20达到推舟区，将石墨舟放在推舟区，此后手抓结构20回到中间通道区，等待下一次的循环，重复上述的过程，完成石墨舟的自动上下料；当然，在上述上下料的过程中，需通过升降结构30的配合，实现手抓结构20的升降运动。
以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。