技术特征：
技术总结
本发明提供一种蒸镀装置，用于对基板进行蒸镀。该蒸镀装置包括至少一个距离传感器、调节件、承载板以及触摸板；所述承载板，用于承载基板；触摸板，设置在基板上，触摸板与承载板相对间隔设置；至少一个距离传感器，用于测量承载板的水平度，得到第一水平度，至少一个距离传感器用于测量触摸板的水平度，得到第二水平度；调节件，用于根据第一水平度和第二水平度，调节承载板和/或触摸板的水平度，使承载板和触摸板之间的相对水平度处于预设相对水平度范围。该方案通过设置调节件，调节承载板和触摸板之间的相对水平度，使相对水平度处于预设相对水平度范围，可以提高有机电致发光器件的良品率。
技术研发人员：杨涛;施展
受保护的技术使用者：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2018.12.07