一种真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟的制作方法

文档序号:3276315阅读:602来源:国知局
专利名称:一种真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种器皿,尤其涉及一种在真空蒸镀工艺中用于盛放和加热镀材的器皿,更具体是涉及一种在真空蒸镀高熔点镀材工艺中用于盛放和加热镀材的镀材舟。
背景技术
真空蒸镀技术是一种物理气相沉积技术。其原理是:利用电力或其他加热方式使镀材汽化,当经汽化的镀材分子接触被镀物的表面时,镀材分子便遇冷凝结并在被镀物表面上形成沉积层。为了达到放置和加热镀材的目的,通常使用通过电阻加热法进行加热的金属线、镀材舟或坩锅,镀材舟由于具有价格低廉和易于操作的特点,受到广泛的应用。镀材舟一般是由高熔点金属或合金的长条形薄片构成,图1所示是真空镀铝采用的一种用于盛放和加热铝材的镀材舟,该镀材舟是由呈直线型长条状的氮化硼薄片和用于固定氮化硼薄片的支撑件构成。硫化锌由于具有优良的透明防阻隔功能,一些高档的包装衬纸已逐渐采用硫化锌进行蒸镀;由于硫化锌的熔点在1700°C左右,而氮化硼的工作温度在1200 - 1600°C范围内,因此,真空镀铝工艺中的氮化硼舟显然不能适应硫化锌的蒸镀。由于金属钥的熔点可以达到2600°C,因此适合在真空蒸镀硫化锌等高熔点镀材工艺中作为盛放和加热高熔点镀材用的器皿,但金属钥电阻率很低,在相同电流强度下,必须通过延长金属钥薄片的长度,才能提高钥舟的发热功率,从而保证钥舟具有相应高的工作温度,但由于连接钥舟两端为钥舟提供电流的电极,其间距是相对固定的,因此金属钥薄片的长度不可能无限延长。

发明内容为解决以上存在的问题,本发明的目的是提供一种适合在真空蒸镀高熔点镀材工艺中作为盛放和加热高熔点镀材用的镀材舟。为实现以上目的,本发明的真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,由金属钥片和位于金属钥片两端用于固定金属钥片的支撑件构成,其特征在于:所述金属钥片呈折线形的结构,金属钥片两相邻折边之间具有“U”字型的缝隙,金属钥片第一折边的起点和最后折边的终点位于金属钥片中间折边的横向中部。为了便于钥片与支撑件的连接,上述金属钥片第一折边的端部和最后折边的端部向外延伸有竖向的凸起,两凸起位于金属钥片的竖向中心线上的。为了使金属钥片保持结构的平衡,上述金属钥片中间折边的数量为3 — 7之间的奇数。为了使金属钥片具有相应的强度,上述金属钥片折边的宽度优选10 — 30mm,厚度优选 0.4 - 1.5 mm。为了使金属钥片的长度限制在一定的范围内,同时又能达到相应的发热功率,上述金属钥片的横向宽度优选90 - 100 mm,竖向长度优选150 — 160 mm。[0010]为了增加金属钥片的强度,同时避免镀材的溢出,上述钥片左右两侧设有向上翻折的凸沿,凸沿的高度优选5 — 8 mm。为了避免金属钥片相邻折边之间发生短路,上述金属钥片相邻折边之间的缝隙宽度优选2 — 10 mm。本实用新型真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,采用金属钥片作为盛放和加热硫化锌用的器皿,是利用金属钥的熔点可以达到2600°C,而采用折线形的结构,则可在比较小的空间内大大延长金属钥片的长度,从而提高金属钥片的电阻,保证在特定大小的电流通过时能够达到相应高的工作温度。本实用新型的镀材舟,结构简单,效果明显,特别适合于真空蒸镀高熔点镀材(如硫化锌)工艺中使用。

图1是现有真空镀铝工艺中使用的氮化硼舟的结构示意图。图2是本实用新型镀材舟金属钥片的结构示意图。图3是本实用新型镀材舟金属钥片的正面图。
具体实施方式
如图2所示,本实用新型适合于真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟包括金属钥片I和位于金属钥片两端用于固定金属钥片的支撑件(图中没标示),该金属钥片呈折线形结构,金属钥片包括最外侧的两条折边11和三条中间折边12,两相邻折边之间具有“U”字型的缝隙13,第一折边的端部和最后折边的端部向上和向下延伸有竖向的凸起14、15,以便于与支撑件连接,两凸起位于中间折边的横向中部且位于金属钥片的竖向中心线上的,金属钥片左右两侧设有向上翻折的凸沿16,凸沿的高度为6 mm,金属钥片的折边,其横向可以是呈水平的,也可以适当倾斜,如图3所示。金属钥片的尺寸根据具体需要蒸镀镀材的熔点进行确定,以真空蒸镀硫化锌为例,金属钥片折边的宽度a优选20 mm,厚度优选0.5 mm,横向宽度b优选90 mm,竖向长度c优选155 mm,“U,,字型缝隙的宽度d优选5 mm。以上只是本实用新型镀材舟一个实施例的具体说明,但这个实施例并非用以限制本实用新型的保护范围,凡未脱离本实用新型技术方案的等效实施或变更,如折边形状和尺寸的改变也应包含在本实用新型的保护范围中。
权利要求1.一种真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,由金属钥片和位于金属钥片两端用于固定金属钥片的支撑件构成,其特征在于:所述金属钥片呈折线形的结构,金属钥片两相邻折边之间具有“U”字型的缝隙,金属钥片第一折边的起点和最后折边的终点位于金属钥片中间折边的横向中部。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,其特征在于:所述金属钥片第一折边的端部和最后折边的端部向外延伸有竖向的凸起,两凸起位于金属钥片的竖向中心线上的。
3.根据权利要求1或2所述的真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,其特征在于:所述金属钥片中间折边的数量为3 - 7之间的奇数。
4.根据权利要求3所述的真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,其特征在于:所述金属钥片折边的宽度优选10 - 30 mm,厚度优选0.4 — 1.5 mm。
5.根据权利要求4所述的真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,其特征在于:所述金属钥片的横向宽度优选90 - 100 mm,竖向长度优选150 — 160 mm。
6.根据权利要求5所述的真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,其特征在于:所述钥片左右两侧设有向上翻折的凸沿,凸沿的高度优选5 — 8 mm。
7.根据权利要求6所述的真空蒸镀高熔点镀材用的镀材舟,其特征在于:所述金属钥片相邻折边之间的缝隙宽度优选2 - 10 mm。
专利摘要本实用新型提供了一种在真空蒸镀高熔点镀材工艺中用于盛放和加热镀材的镀材舟,该由金属钼片和位于金属钼片两端用于固定金属钼片的支撑件构成,金属钼片呈折线形的结构,金属钼片两相邻折边之间具有“U”字型的缝隙,金属钼片第一折边的起点和最后折边的终点位于金属钼片中间折边的横向中部。本实用新型的镀材舟,可在比较小的空间内大大延长金属钼片的长度,从而提高金属钼片的电阻,保证在特定大小的电流通过时能够达到相应高的工作温度,其结构简单,效果明显,特别适合于真空蒸镀高熔点镀材(如硫化锌)工艺中使用。
文档编号C23C14/26GK202945314SQ20122060491
公开日2013年5月22日 申请日期2012年11月16日 优先权日2012年11月16日
发明者黄艺, 郑建武 申请人:汕头市鑫瑞纸品有限公司
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