技术特征：
技术总结
本发明提供一种蒸镀装置，包括主腔室以及至少一个通过阀门与主腔室相通的副腔室；其中，副腔室包括吸附台板、吸附管以及固定件，对待蒸镀基板进行蒸镀时，吸附管通过固定件以及吸附台板将待蒸镀基板吸附至吸附台板上，将待蒸镀基板与掩膜板进行对位，并通过固定件固定待蒸镀基板与掩膜板。本发明的蒸镀装置，通过设置一与主腔室相通的副腔室，并在副腔室中设置吸附台板、吸附管以及固定件，对待蒸镀基板进行蒸镀时，吸附管通过固定件以及吸附台板将待蒸镀基板吸附至吸附台板上，将待蒸镀基板与掩膜板进行对位，并通过固定件固定所述待蒸镀基板与所述掩膜板，从而提高待蒸镀基板与掩膜板的对位精度，避免混色现象，提高色质。
技术研发人员：夏存军;邹新
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.05.08
技术公布日：2017.07.11