122b，并通过第二输送件130b的第二斜面132b将第一输送件120b的第一斜面122b上的工件60推往第一输送件120c的第一斜面122c,以带动工件60沿第一输送件120a、120b、120c的排列方向(即上述第一方向Dl)被输送。在工件60如上述般被输送的过程中，工件60会沿第一斜面122a、122b、122c及第二斜面132a、132b进行滚动，以使靶源200能够随着工件60的转动而完整地对工件60的表面进行镀膜。据此，不需如现有操作方式般以人工方式将工件固定至旋转治具，就能够带动工件转动而完整地对工件进行镀膜，藉以使镀膜处理的进行更为便利并节省处理成本。
[0046]本实施例所示出第一输送件及第二输送件的数量仅为示意，输送模块可具有更多数量的第一输送件及第二输送件，并通过驱动第二输送件持续往复地移动在第一位置Pl与第二位置P2之间，而如上述运动方式般带动工件60沿第一方向Dl依序到达各个第一输送件的第一斜面。在本实施例中，例如是通过马达带动连杆机构、凸轮或其它适当形式的驱动单元来驱动第二输送件移动在第一位置Pl与第二位置P2之间，本发明不对此加以限制。此外，本实施例仅示出对一个工件60进行输送及镀膜，然本发明不以此为限，可利用输送模块100同时输送多个工件，使多个工件依序沿第一方向Dl移动并滚动以进行镀膜。
[0047]请参考图1，在本实施例中，相邻的两第一输送件120a、120b之间的最短距离d2小于工件60的外径dl，以避免工件60通过两第一输送件120a、120b之间的间隙而往下掉落。详细而言，第一输送件120b、120c分别具有止挡面124b、124c,第一输送件120a的第一斜面122a朝向相邻的另一第一输送件120b的止挡面124b，且第一输送件120b的第一斜面122b朝向相邻的另一第一输送件120c的止挡面124c。当第二输送件130a、130b如图1所示位于第一位置Pl时，工件60适于被定位于第一输送件120a的第一斜面122a与第一输送件120b的止挡面124b之间。接着，当第二输送件130a、130b如图3B所示移动至第二位置P2时，工件60会越过第一输送件120b的止挡面124b并到达第一输送件120b的第一斜面122b。类似地，当第二输送件130a、130b如图3C所示位于第一位置Pl时，工件60适于被定位于第一输送件120b的第一斜面122b与第一输送件120c的止挡面124c之间。接着，当第二输送件130a、130b再次移动至第二位置P2时，工件60会越过第一输送件120c的止挡面124c并往第一输送件120c的第一斜面122c移动。
[0048]在本实施例中，第一斜面122a、122b、122c例如平行于第二斜面132a、132b。藉此，当第二输送件130a、130b如图3B所示位于第二位置P2时，工件60可顺畅地从第二斜面132a滚动至第一斜面122b (或顺畅地从第二斜面132b滚动至第一斜面122c)。此外，本实施例的第一斜面122a、122b、122c与第一方向Dl之间的夹角Al以及第二斜面132a、132b与第一方向Dl之间的夹角A2例如都为45度，以在第一斜面及第二斜面的延伸长度固定的情况下，避免第一斜面及第二斜面太过倾斜而使输送模块100沿第二方向D2的高度过大，或避免第一斜面及第二斜面不够倾斜而使输送模块100沿第一方向Dl的长度过大。此外，如上述般将第一斜面122a、122b、122c及第二斜面132a、132b的倾角设计为45度，也可避免第一斜面及第二斜面过于倾斜而使工件60沿第一斜面或第二斜面移动时产生过多的滑动量，确保工件60具有足够的滚动量。在其它实施例中，可依需求将第一斜面122a、122b、122c及第二斜面132a、132b设计为具有其它适当倾角，本发明不对此加以限制。
[0049]在本实施例中，当第二输送件130a、130b运动于图1所示的第一位置Pl与图3B所示的第二位置P2之间时，沿垂直于第一方向Dl及第二方向D2的第四方向D4观察，第一输送件120a、120b、120c与第二输送件130a、130b部分地重叠，以确保工件60能够通过第二输送件130a、130b的运动而顺畅地沿第一方向Dl被输送。
[0050]综上所述,在本发明的输送模块中，第二输送件能够相对于第一输送件移动,而通过第二输送件的第二斜面将对应的第一输送件的第一斜面上的工件推往另一第一输送件的第一斜面，以带动工件沿第一输送件的排列方向被输送。在工件如上述般被输送的过程中，工件会沿这些第一斜面及这些第二斜面进行滚动，以使靶源能够随着工件的转动而完整地对工件的表面进行镀膜。据此，不需如现有操作方式般设置各种规格的旋转治具并以人工方式将多个工件分别固定至旋转治具，就能够带动工件转动而完整地对工件进行镀膜，藉以使镀膜处理的进行更为便利并节省处理成本。
[0051]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种输送模块，其特征在于，包括: 基座; 多个第一输送件，固定于该基座且沿第一方向依序排列，其中各该第一输送件具有第一斜面；以及 多个第二输送件，可动地配置于该基座且沿该第一方向依序排列，其中各该第二输送件具有第二斜面，该些第二斜面分别对应于该些第一斜面，当该些第二输送件位于第一位置时，工件适于被承载于该些第一斜面的其中任一，当该些第二输送件沿第二方向从该第一位置移动至第二位置时，该工件被该对应的第二斜面推离该对应的第一斜面并沿该对应的第二斜面往相邻的另一该第一斜面滚动，当该些第二输送件沿反向在该第二方向的第三方向从该第二位置移动至该第一位置时，该工件沿该另一第一斜面滚动并被承载于该另一第一斜面。
2.根据权利要求1所述的输送模块，其特征在于，该第一方向垂直于该第二方向。
3.根据权利要求1所述的输送模块，其特征在于，该第三方向为重力方向。
4.根据权利要求1所述的输送模块，其特征在于，各该第一斜面高于基准平面，当该些第二输送件位于该第一位置时，各该第二斜面低于该基准平面，当该些第二输送件位于该第二位置时，各该第二斜面不低于各该第一斜面。
5.根据权利要求1所述的输送模块，其特征在于，相邻的两该第一输送件之间的最短距离小于该工件的外径。
6.根据权利要求1所述的输送模块，其特征在于，各该第一输送件还具有止挡面，各该第一输送件的该第一斜面朝向相邻的另一该第一输送件的该止挡面，当该些第二输送件位于该第一位置时，该工件适于被定位于该些第一斜面的其中任一与该另一第一输送件的该止挡面之间。
7.根据权利要求6所述的输送模块，其特征在于，当该些第二输送件移动至该第二位置时，该工件越过该另一第一输送件的该止挡面并到达该另一第一输送件的该第一斜面。
8.根据权利要求1所述的输送模块，其特征在于，各该第一斜面平行于各该第二斜面。
9.根据权利要求1所述的输送模块，其特征在于，当该些第二输送件位于该第一位置与该第二位置之间时，沿第四方向观察，该些第一输送件与该些第二输送件部分地重叠，该第四方向垂直于该第一方向且垂直于该第二方向。
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括: 如权利要求1?9任意一项所述的输送模块；以及 靶源，配置于该基座上方且适于对该工件进行镀膜。
【专利摘要】一种镀膜设备及输送模块，镀膜设备包括输送模块及靶源。输送模块包括基座、多个第一输送件及多个第二输送件。各第一输送件固定于基座且具有第一斜面。各第二输送件可动地配置于基座且具有第二斜面。第二斜面分别对应于第一斜面。当第二输送件位于第一位置时，工件适于被承载于第一斜面的其中任一。当第二输送件从第一位置移动至第二位置时，工件被第二斜面推离第一斜面并沿第二斜面往相邻的另一第一斜面滚动。当第二输送件从第二位置移动至第一位置时，工件沿所述另一第一斜面滚动并被承载于所述另一第一斜面。靶源适于对工件进行镀膜。
【IPC分类】C23C14-50, C23C14-34
【公开号】CN104694886
【申请号】CN201310661073
【发明人】谢志男, 许恭铭, 张凯杰, 何玫蓉
【申请人】财团法人金属工业研究发展中心
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2013年12月9日