r>[0022]请继续参考图1，一种优选实施方式中，断层检测模块9包括:
[0023]采集坩祸I微裂纹信息的扫描单元11 ;
[0024]与所述扫描单元11信号连接、根据所述扫描单元11扫描到的信息判断坩祸中是否存在微裂纹的处理单元10。
[0025]具体地，上述扫描单元11优选为X射线扫描装置。
[0026]处理单元10用于将接收到的扫描单元11采集的信息转换为图像信息，且真空蒸镀设备还包括与处理单元10信号连接以对所述图像信息进行显示的显示单元8。
[0027]断层扫描技术是用X射线对样品一定厚度的层面进行扫描，由探测器接收透过该层面的X射线转换成可见光后，由光电转换器变成电信号，再经过模/数转换后变为数字信号，输入计算机形成图像。物质对X射线有吸收作用，在均一物体中X射线的衰减服从指数规律，由于样品是由多种物质成分和不同的密度构成，各点对X射线的吸收系数存在差异，该差异可被放大反映在图像上。
[0028]通过用X射线扫描坩祸1，收集透射X射线信号进行成像，用显示单元8合成出坩祸I的CT图像，在图像中可精确读出坩祸I内部和表面的微裂纹的尺寸和位置，实现快速、无损、高精度测量。
[0029]一种优选实施方式，侧真空腔内设有导轨14，在导轨上安装有机械手6。
[0030]机械手6包括与导轨14滑动配合的滑块7、设置于滑块上的伸缩臂12、安装于伸缩臂12末端的坩祸衔取装置13。
[0031]优选地，上述真空蒸镀设备还包括位于侧真空腔4内的坩祸架5。
[0032]坩祸架用于存放含有微裂纹且判定为无法继续使用的坩祸和新品坩祸，保证在真空状态下就可以完成更换坩祸动作，不用额外开腔。
[0033]更优选地，上述侧真空腔4与主真空腔2并联分布，断层检测模块9和机械手6位于侧真空腔4中，运用机械手6可方便地将已损坏的坩祸取出并在线更换新品而不需要打开真空腔进行人工操作。
[0034]滑块7沿导轨14运动并伸出伸缩臂12用前端的坩祸衔取装置13抓起主真空腔2内待测量的坩祸1，并将其放入断层检测模块9内进行扫描并输出坩祸的CT图像，在图像中可看到坩祸I内部和表面的微裂纹的尺寸和位置。将含有微裂纹且判定为无法继续使用的坩祸取出放到坩祸架上，并从架上选取新品坩祸放入主真空腔中完成更换，最后滑块回到初始位置并关闭插板阀，具有测量速度快、对样品无损伤、无接触和测量准确性高的特点。
[0035]优选地，用于检测和更换蒸镀其他材料的坩祸，如金属材料和有机EL材料。检测的坩祸可以是陶瓷材质的，也可以是金属材质的，可以是单层结构也可以是多层结构。
[0036]显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括: 壳体，所述壳体形成主真空腔和侧真空腔，所述侧真空腔内设有用于检测待测量坩祸的断层检测模块、取放主真空腔内坩祸的机械手； 设置于所述主真空腔和侧真空腔之间的开关组件，所述开关组件打开时连通所述主真空腔和侧真空腔、关闭时隔离所述主真空腔和侧真空腔。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述开关组件为插板真空阀。
3.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述断层检测模块包括: 采集坩祸微裂纹信息的扫描单元； 与所述扫描单元信号连接、根据所述扫描单元扫描到的信息判断坩祸中是否存在微裂纹的处理单元。
4.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述扫描单元为X射线扫描装置。
5.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述处理单元用于将接收到的所述扫描单元采集的信息转换为图像信息。
6.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，还包括与所述处理单元信号连接以对所述图像信息进行显示的显示单元。
7.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述侧真空腔内设有导轨，所述机械手安装于所述导轨。
8.根据权利要求7所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述机械手包括滑块、设置于所述滑块上的伸缩臂、安装于所述伸缩臂末端的坩祸衔取装置，其中，所述滑块与所述导轨滑动配合。
9.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，还包括位于所述侧真空腔内的坩祸架。
10.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述侧真空腔与主真空腔并联分布O
【专利摘要】本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种真空蒸镀设备，包括壳体，壳体形成主真空腔和侧真空腔，侧真空腔内设有用于扫描待测量坩埚的断层检测模块、取放主真空腔内坩埚的机械手，设置于主真空腔和侧真空腔之间的开关组件，开关组件打开时连通主真空腔和侧真空腔进行坩埚取放和检测，关闭时隔离主真空腔和侧真空腔。上述真空蒸镀设备能够在不破坏主真空腔内真空度的前提下对坩埚进行在线检测，并且能够通过断层检测模块对坩埚进行检测以确定被检测的坩埚内是否存在微裂纹，对坩埚的检测精度较高。上述真空蒸镀设备能够使每一个坩埚的使用寿命得到最长的使用，延长实际生产中更换坩埚的时间间隔，减少了生产准备时间，进而降低了生产成本。
【IPC分类】C23C14-24
【公开号】CN104846339
【申请号】CN201510325726
【发明人】王熙元, 卜斌, 姚固
【申请人】合肥鑫晟光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年6月11日