专利名称：咔唑肟酯类化合物在可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引发剂的用途的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种咔唑肟酯类化合物在可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引发 剂的用途，含有该咔唑肟酯类化合物的上述可光聚合丙烯酸酯类组合物，及其应用。
背景技术：
光固化是指单体、低聚体或聚合体基质在光诱导下的固化过程，该技术在现代微 电子技术中有着广泛的应用，例如光固化油墨、液晶面板的封装、感光性印刷版、滤光片和 光致抗蚀剂等。光固化技术的核心在于可光致固化的聚合单体和合适的光引发剂。在一 定波长的紫外/可见光、X射线或激光照射下，光引发剂产生活性基团，激发可聚合单体中 的不饱和基团以发生聚合反应，从而引起材料的固化。选择合适的可光致固化的聚合单体 (或其组合物)和与之相配的光引发剂，一直是光固化技术领域中的一个研究重点。目前，丙烯酸酯类聚合单体是光固化技术中应用最为广泛的单体类别之一。随 着光聚合的相关报道的增加，有关光聚合丙烯酸酯类组合物的专利文献也随之增多，例如 CN1337013、CN1424624、CN101052918等。但是，微电子技术日新月异，其对元件的要求越来 越高。例如，需要使用的光聚合组合物在i线(365nm)或g线(405nm)甚至更短波长的光 源下具有更高的感光性能，而现有的组合物已不能满足日益迫切的需求。作为影响光固化组合物感光性能的最主要因素，光引发剂对可光聚合组合物感光 性能的影响不仅体现在光引发剂本身对于辐射的敏感性，还在于它与可光聚合单体(或 其组合物)之间的适配性。因此，在确定一种可光聚合组合物的配方时，最优的是寻找一种 与内含的可聚合单体之间具有良好效应(例如，协同效应)的光引发剂，从而可以进一步优 化组合物的感光性能。当前，关于光引发剂已经有了非常多的报道，例如安息香衍生物、联苯酰缩酮类、 α，α-二烷氧基苯乙酮类、二苯甲酮/胺类、米氏酮、噻唑酮/胺类、芳香重氮盐、三氮嗪类、 肟酯类等，代表例有可商购的Irgacure369、Darocurel 173, 0XE-1和0XE-2。然而，这些光 引发剂在实际应用中均或多或少地存在感光度低(聚合速率和曝光剂量高)、溶解性差(透 明度和光刻残渣多)、贮存稳定性低、短波长灵敏度不足、对可光聚合单体的特定选择性不 强等缺陷，从而在整体上影响了感光材料的性能。作为优选的可光聚合组合物，一方面要求具有优异的储存稳定性能；另一方面要 对短波i线和g线具有高灵敏度，以便降低曝光剂量，提高曝光效率，从而缩短生产周期； 再一方面要求由光聚合组合物制备的光固化产品要图像图案精细完整，没有缺陷和浮渣， 且光固化膜的硬度要好。这些指标对滤光片、光致抗蚀剂的性能尤为重要，而要达到这个效 果，首先就要求组合物中使用的光引发剂本身在短波处要具有非常高的感光度，另外整个 组合物体系要搭配的非常合理，即组合物中的可聚合成分(单体、树脂)与体系中光引发剂 配合使用时能发挥最佳效应。目前，针对这方面的研究还非常的少。鉴于此，本发明将公开一种肟酯类化合物在特定可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引发剂的用途，以及一种含有该肟酯类化合物的可光聚合丙烯酸酯类组合物。通过特 定光引发剂和特定可光聚合丙烯酸酯类单体的配合使用，本发明的组合物表现出了非常优 异的适配性，所述肟酯类化合物作为光引发剂在组合物中表现出了远高于其它光引发剂 (例如CN101508744A中公开的结构类似的其它化合物)的性能。
发明内容
本发明的目的在于提供式(I)化合物在可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引 发剂的用途，以及含有该化合物的可光聚合丙烯酸酯类组合物。含有所述光引发剂的可光 聚合丙烯酸酯类组合物聚合时，固化速度快、少污染、节能、曝光效率高、曝光剂量小，同时 固化成型的图像图案精细完整，没有缺陷和浮渣，膜的硬度很好。为了达到上述技术效果，本发明的技术方案为式(I)肟酯类化合物在可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引发剂的用途，其特 征在于所述式(I)化合物的化学结构如下 其中
，n = 2，m=3 或 4;所述可光聚合丙烯酸酯类组合物包含(A) 20-45质量份的碱溶性树脂，该树脂为甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙 烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的共聚物，共聚物中甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲 基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的摩尔比为55-70 5-10 10-20，共聚物的重均 分子量(Mw)为 5000-25000 ；(B) 10-20质量份的二季戊四醇六丙烯酸酯；(05-7质量份的式⑴所示的肟酯类化合物。本发明还涉及一种可光聚合丙烯酸酯类组合物，其特征在于，包含以下组分(A) 20-45质量份的碱溶性树脂，该树脂为甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙 烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的共聚物，共聚物中甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲 基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的摩尔比为55-70 5-10 10-20，共聚物的重均 分子量(Mw)为 5000-25000 ；(B) 10-20质量份的二季戊四醇六丙烯酸酯；(C) 5-7质量份的式(I)所示的肟酯类化合物。所述可光聚合丙烯酸酯类组合物中，碱溶性树脂还可以是甲基丙烯酸苄酯、甲基 丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯、以及式(II)所示丙烯酸酯的共聚物， 该共聚物中甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯 酸甲酯、以及式(II)所示丙烯酸酯的摩尔比为55-60 5-10 10-15 10，共聚物的重均 分子量为5000-25000。作为碱溶性树脂的共聚物，其重均分子量优选为10000-15000 ；在可光聚合丙烯 酸酯类组合物中优选为25-35质量份。在可光聚合丙烯酸酯类组合物中，优选二季戊四醇六丙烯酸酯是15-19质量份； 优选式(I)所示的肟酯类化合物为6质量份。所述可光聚合丙烯酸酯类组合物还可含有光固化组合物中常用的其它助剂，例如 代表性的有敏化剂、着色剂、表面活性剂等等。敏化剂不是本发明中必需组分，它对光聚合反应起辅助作用，其自身不发生任何化学 变化，主要起到能量转移传递作用。为了使光聚合组合物在高避光条件下发生光聚合反应，有 时需要加入敏化剂。本发明组合物中可使用的敏化剂没有特别的限定，例如可以是香豆素衍生 物和二苯甲酮衍生物，硫杂蒽酮(TX)可以看做二苯甲酮的衍生物。常见的敏化剂如下所示 可根据应用体系的需要，选择性地在本发明组合物中添加着色剂。着色剂是给光 聚合组合物着色的材料。作为着色剂可以是染料和颜料，优选颜料。着色剂种类繁多，包括 有机颜料和无机颜料，本发明对其没有特别的限定，可以根据所得彩色滤光片的用途或有 色组合物薄膜的用途来适当选择。在本发明中，若所述可光聚合丙烯酸酯类组合物含有着 色剂，则优选含有10-30质量份的着色剂，更优选15-20质量份。另外，出于促进组合物体系均勻分散的目的(特别是在组合物的溶液实施涂膜工 艺中)，可根据实际情况选择性地添加表面活性剂，例如可商购的FC-4430。这对于本领域 技术人员而言是公知的。优选地，当所述可光聚合丙烯酸酯类组合物含有着色剂时，优选还 含有0. 01-1质量份的表面活性剂，更优选0. 01-0. 5质量份。 本发明还涉及由上述可光聚合丙烯酸酯类组合物制备而成的光致抗蚀剂膜和彩 色滤光片膜。本发明的有益技术效果本发明中，式(I)化合物在所述可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引发剂使用 时，具有非常好的存储稳定性，在短波处具有非常高的感光度，同时溶解性能优异，而包含 该光引发剂的组合物具有很好的稳定性和很高的短波长灵敏度，在很低的曝光剂量下，组 合物体系就可以很好的交联固化，且固化效果极佳。所制成的膜边缘平整无缺陷、没有浮 渣、整个图案完整度好，抗蚀剂膜硬度高，制成的滤光片光学透明度高，不漏光。尤其制作彩
7色滤光片中黑色矩阵(Black matrix，以下简称BM)时，由于黑色颜料或染料的存在，光源 的利用效果极差，而使用该光聚合组合物，依然可以在很低的曝光剂量下完成BM的制作， 制成的BM具有高遮光性、优异的精度、平坦性和耐久性。
具体实施例方式下面将以制作光致抗蚀剂膜和彩色滤光片膜为例，来说明本发明组合物的性能。光致抗蚀剂膜可使用本领域所公知的常规方法制备。例如首先，将本发明的组合 物溶解在合适的有机溶剂(例如丙二醇甲醚醋酸酯、2-羟基丙酸乙酯)中，获得液状组合 物；利用涂布机例如旋转涂布机、绕线棒涂布机、轴涂布机或喷涂布机等将液状组合物涂布 分散在基板上，并进行前烘烤干燥；然后，将掩膜板附在样品上进行曝光，随后显影除去未 曝光区域；最后进行后烘烤，就得到了光致抗蚀剂干膜。含有黑色颜料的光致抗蚀剂膜就是BM，而在BM上面通过同样的光聚合方法加上 RGB (红、绿、蓝三色)，就可形成彩色滤光器的关键部分彩色光阻，再加上保护膜和ITO透 明导电膜就可制作成彩色滤光片。实施例1-1 (1)着色可固化(可光聚合)组合物No. 1-1 着色剂(炭黑)
碱溶性树脂
(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸羟乙酯 聚物(Mw 10, 000)) 二季戊四醇六丙烯酸酯 式⑴肟酯类化合物[η = 2，m = 3]
300质量份 200质量份 (摩尔比为70/10/20)共
100质量份
60质量份 1质量份表面活性剂FC-4430(2)制备滤光片彩色膜将上述组合物各组分混合并且溶解在1000质量份的溶剂丙二醇甲醚醋酸酯 (PGMEA)中，形成液态组合物。利用旋转涂布机将液态组合物涂覆在玻璃基板上，在90°C下干燥2min，形成膜厚 为1. 5μπι的涂膜；为获得上述厚度的涂膜，涂覆过程可以是一次完成也可以分多次进行。然后冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯，通过掩膜板的缝隙，在365nm、405nm 和436nm波长的紫外线对涂膜进行曝光。在25 °C的温度下，使用1 %的NaOH水溶液显影，再用超纯水洗涤，风干。之后，在220°C的烘箱中后烘烤30min，得到掩膜板转移的图案。(3)性能评价通过以下方法对着色可光聚合组合物的储存稳定性和曝光灵敏度、使用所述着色组合 物在玻璃基板上形成图案的显影性、完整性、图案与基板的附着力进行评价，结果汇总于表1中。储存稳定性评价方法将可固化组合物的液态组合物在室温下储存1个月后，根据以下标准在视觉上评 价物质的沉淀程度。A 没有观察到沉淀；
B 略微观察到沉淀；C:观察到沉淀。曝光灵敏度评价方法将在曝光步骤中光辐照区域显影后厚度变为曝光前膜厚度(100% )的95%以上 时的最小曝光量评价为曝光需求量。曝光需求量越小表示灵敏度越高。用扫描型电子显微镜(SEM)观察基板上图案，以评价显影性、图案与基板的附着 力，图案完整性。显影性根据以下标准评价〇在未曝光部分未观察到残留物；◎在未曝光部分观察到少量残留物，但残留量可以接受；·在未曝光部分观察到明显残留物。图案与基板的附着力根据以下标准评价Δ 没有观察到图案缺陷；☆观察到小部分图案有些许缺陷；▲明显观察到许多图案缺陷。
分辨率根据以下标准评价V 最小图案尺寸小于等于10 μ mX 最小图案尺寸大于10 μ m实施例1-2使用n = 2，m = 4的式⑴肟酯类化合物代替实施例1_1中的肟酯类化合物，其 它的不变，以相同的方式制备，并以实施例1-1相同的方法进行评价。结果示于表1中。比较实施例1-3 1-13比较实施例1-3 1-10中使用通式结构与式(I)相同但η和m值不同的肟 酯类化合物(可参见CN101508744A)代替实施例1_1中的肟酯类化合物，比较实施例 1-11 1-13中分别使用苯偶酰类衍生物2-苯基-2-二甲氨基-l-(-4-吗啉苯基)-丁 酮-1 (Irgacure369)、三嗪类衍生物2- (1，3-苯并二氧戊环-5-基)-4，6-双(三氯 甲基)-1，3，5_三嗪(TAZ 107)、咔唑肟酯类化合物1-(6_邻甲基苯甲酰基-9-乙基咔 唑-3-基)-(3_乙酮)-1_肟乙酸酯(0XE-02)代替实施例1-1中的厢酯类化合物，其它的不变， 以相同的方式制备滤光片彩色膜，并以实施例1-1相同的方法进行评价。结果示于表1中。表 1
60质量份 80质量份
甲基丙烯酸羟乙酯.
35质量份
式(II)丙烯酸酯(摩尔比表1的结果表明，实施例1-1 1-10的组合物所制得的滤光片光阻具有很好的分 辨率、显影性以及基板附着力，而实施例1-11 1-13在这些方面明显存在不足。储存稳定 性整体都还不错，但曝光剂量的差异比较大。需要特别注意的是，实施例1-1和1-2中的曝 光剂量不足20mJ/cm2，远低于比较实施例1_3 1_13，表现出了极其优异的感光灵敏度。实施例2-1(1)着色可固化组合物No. 2-1着色剂C. I.颜料红254碱溶性树脂[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸. 为 55/10/15/10)共聚物](Mw :12，000)二季戊四醇六丙烯酸酯式⑴肟酯类化合物[η = 2，m = 3] 20质量份表面活性剂FC-44300. 1质量份(2)制备滤光片彩色膜将上述组合物各组分混合并且溶解在100质量份的溶剂丙二醇甲醚醋酸酯 (PGMEA)中，形成液态组合物。利用旋转涂布机将液态组合物涂覆在玻璃基板上，在90°C下干燥2min，形成膜厚 为1. 5μπι的涂膜；为获得上述厚度的涂膜，涂覆过程可以是一次完成也可以分多次进行。然后冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯，通过掩膜板的缝隙，在365nm、405nm 和436nm波长的紫外线对涂抹进行曝光。在25 °C的温度下，使用1 %的NaOH水溶液显影，再用超纯水洗涤，风干。之后，在220°C的烘箱中后烘烤30min，得到掩膜板转移的图案。(3)性能评价对着色可光聚合组合物的储存稳定性和曝光灵敏度，使用所述着色组合物在玻璃 基板上形成图案的显影性、完整性、图案与基板的附着力进行评价，评价方法同上，评价结 果汇总于表2中。实施例2-2使用n = 2，m = 4的式⑴肟酯类化合物代替实施例2_1中的肟酯类化合物，其 它的不变，以相同的方式制备，并以实施例2-1相同的方法进行评价。结果示于表2中。比较实施例2-3 2-13比较实施例2-3 2-10中使用通式结构与式(I)相同但η和m值不同的肟酯类
10化合物(可参见CN101508744A)代替实施例2_1中的肟酯类化合物，比较实施例2_11 2-13中分别使用IrgaCure369、TAZ 107、0XE-02代替实施例2_1中的肟酯类化合物，其它 的不变，以相同的方式制备，并以实施例2-1相同的方法进行评价。结果示于表2中。表2 表2的结果表明，实施例2-1 2-10的组合物所制得的滤光片光阻具有很好的分 辨率、显影性以及基板附着力，而实施例2-11 2-13在这些方面明显存在不足。在曝光剂 量方面，实施例2-1和2-2中的曝光剂量不足20mJ/cm2，远低于比较实施例2_3 2_13。另 一方面，式(II)丙烯酸酯的加入，对光阻膜的显影性、分辨率及与基板附着力有所提高，也 改变了组合物可聚合体的结构形态，使得组合物的曝光灵敏度发生了变化。由表2中可见， 尽管No. 2-1和No. 2-2的组合物曝光剂量均不足20mJ/cm2，但取η = 2，m = 4的No. 2-2组 合物的曝光剂量比η = 2，m = 3的No. 2-1更低，这与实施例1_1和1_2的情况正好相反。为了进一步说明式(II)丙烯酸酯加入引起的变化，将含有η = 2，m= 3和η = 2， m = 4的式⑴肟酯类化合物的组合物进行单独比较，见下例。实施例3-1(1)可固化组合物No. 3-1碱溶性树脂36. 7质量份[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯(摩尔比为70/10/20)共聚物] (Mw :9，000)二季戊四醇六丙烯酸酯15. 8质量份式⑴肟酯类化合物[η = 2，m = 3] 5质量份(2)制备光致抗蚀剂将上述组合物各组分混合并且溶解在由20. 2质量份丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA) 和30. 0质量份2-羟基丙酸乙酯组成的溶剂中，形成液态组合物。利用旋转涂布机将液态组合物涂覆在玻璃基板上，在90°C下干燥2min，形成膜厚 为1.5μπι的涂膜；为获得上述厚度的涂膜，涂覆过程可以是一次完成也可以分多次进行。然后冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯，通过掩膜板的缝隙，在365nm、405nm
11和436nm波长的紫外线对涂抹进行曝光。在25 °C的温度下，使用1 %的NaOH水溶液显影，再用超纯水洗涤，风干。之后，在220°C的烘箱中后烘烤30min，得到光致抗蚀剂干膜。(3)性能评价对着色可光聚合组合物的储存稳定性和曝光灵敏度，使用所述着色组合物在玻璃 基板上形成图案的显影性、完整性、图案与基板的附着力进行评价，评价方法同上，结果汇 总于表3中。实施例3-2使用n = 2，m = 4的式⑴肟酯类化合物代替实施例3_1中的肟酯类化合物，其 它不变，以相同方式制备，并以实施例3-1相同的方法进行评价。结果示于表3中。表3 实施例4-1(1)可固化组合物No. 4-1碱溶性树脂36. 7质量份[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/ 60/10/10/10)共聚物](Mw :11，000)二季戊四醇六丙烯酸酯15. 8质量份式⑴肟酯类化合物[η = 2，m = 3] 5质量份(2)制备光致抗蚀剂将上述组合物各组分混合并且溶解在由20. 2质量份丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA) 和30. 0质量份2-羟基丙酸乙酯组成的溶剂中，形成液态组合物。利用旋转涂布机将液态组合物涂覆在玻璃基板上，在90°C下干燥2min，形成膜厚 为1. 5μπι的涂膜；为获得上述厚度的涂膜，涂覆过程可以是一次完成也可以分多次进行。然后冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯，通过掩膜板的缝隙，在365nm、405nm 和436nm波长的紫外线对涂抹进行曝光。在25 °C的温度下，使用1 %的NaOH水溶液显影，再用超纯水洗涤，风干。之后，在220°C的烘箱中后烘烤30min，得到光致抗蚀剂干膜。(3)性能评价对着色可光聚合组合物的储存稳定性和曝光灵敏度，使用所述着色组合物在玻璃 基板上形成图案的显影性、完整性、图案与基板的附着力进行评价，评价方法同上，结果汇 总于表4中。实施例4-2使用n = 2，m = 4的式⑴肟酯类化合物代替实施例4_1中的肟酯类化合物，其 它的不变，以相同的方式制备，并以实施例4-1相同的方法进行评价。结果示于表4中。表 4 实施例5-1(1)可固化组合物No. 5-1碱溶性树脂36. 7质量份[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸羟乙酯/式(II) 丙烯酸酯(摩尔比为55/5/10/5/10)共聚物](Mw :10，000)二季戊四醇六丙烯酸酯15. 8质量份式⑴肟酯类化合物[η = 2，m = 3] 5质量份(2)制备光致抗蚀剂将上述组合物各组分混合并且溶解在由20. 2质量份丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA) 和30. 0质量份2-羟基丙酸乙酯组成的溶剂中，形成液态组合物。利用旋转涂布机将液态组合物涂覆在玻璃基板上，在90°C下干燥2min，形成膜厚 为1.5 μ m的涂膜；为获得上述厚度的涂膜，涂覆过程可以是一次完成也可以分多次进行。然后冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯，通过掩膜板的缝隙，在365nm、405nm 和436nm波长的紫外线对涂抹进行曝光。在25 °C的温度下，使用1 %的NaOH水溶液显影，再用超纯水洗涤，风干。之后，在220°C的烘箱中后烘烤30min，得到光致抗蚀剂干膜。(3)性能评价对着色可光聚合组合物的储存稳定性和曝光灵敏度，使用所述着色组合物在玻璃 基板上形成图案的显影性、完整性、图案与基板的附着力进行评价，评价方法同上，结果汇 总于表5中。实施例5-2使用n = 2，m = 4的式⑴肟酯类化合物代替实施例5_1中的肟酯类化合物，其 它的不变，以相同的方式制备，并以实施例5-1相同的方法进行评价。结果示于表5中。表 5 综上所述，本发明中，式(I)化合物在所述可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光 引发剂使用时，或者使用本发明的可光聚合丙烯酸酯类组合物时，具有显影性好，分辨率 高，储存稳定性佳及与基板附着力好的优点，特别是相比于使用其它种类的光引发剂，本发 明具有很高的曝光灵敏度，在很低的曝光剂量下，组合物体系就可以很好的交联固化，且固 化效果极佳。所制成的膜边缘平整无缺陷、没有浮渣、整个图案完整度好，抗蚀剂膜硬度 高，制成的滤光片光学透明度高，不漏光。尤其制作彩色滤光片中，使用本发明的光聚合组 合物，可以在很低的曝光剂量下完成BM的制作，制成的BM具有高遮光性、优异的精度、平坦 性和耐久性。
权利要求
式(I)肟酯类化合物在可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引发剂的用途，其特征在于所述式(I)化合物的化学结构如下其中n＝2，m＝3或4；所述可光聚合丙烯酸酯类组合物包含(A)20 45质量份的碱溶性树脂，该树脂为甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的共聚物，共聚物中甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的摩尔比为55 70∶5 10∶10 20，共聚物的重均分子量(Mw)为5000 25000；(B)10 20质量份的二季戊四醇六丙烯酸酯；(C)5 7质量份的式(I)所示的肟酯类化合物。FDA0000023340900000011.tif,FDA0000023340900000012.tif
2.根据权利要求1所述的用途，其特征在于所述可光聚合丙烯酸酯类组合物中，碱溶 性树脂是甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯、以及 式(II)所示丙烯酸酯的共聚物， (II) 该共聚物中甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲 酯、以及式(II)所示丙烯酸酯的摩尔比为55-60 5-10 10-15 10，共聚物的重均分子 量(Mw)为 5000-25000。
3.根据权利要求1或2所述的用途，其特征在于所述共聚物的重均分子量(Mw)为 10000-15000。
4.根据权利要求1或2所述的用途，其特征在于所述碱溶性树脂的量为25-35质量份。
5.根据权利要求1或2所述的用途，其特征在于所述二季戊四醇六丙烯酸酯的量为 15-19质量份。
6.根据权利要求1或2所述的用途，其特征在于所述式(I)肟酯类化合物的量为6质量份。
7.根据权利要求1或2所述的用途，其特征在于所述可光聚合丙烯酸酯类组合物还 含有着色剂、敏化剂、表面活性剂中的一种、两种或两种以上。
8.根据权利要求1或2所述的用途，其特征在于所述可光聚合丙烯酸酯类组合物含 有10-30质量份的着色剂。
9.根据权利要求8所述的用途，其特征在于所述可光聚合丙烯酸酯类组合物含有 0. 01-0. 5质量份的表面活性剂。
10.一种可光聚合丙烯酸酯类组合物，其特征在于，包含以下组分(A)20-45质量份的碱溶性树脂，该树脂为甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸 轻乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的共聚物，共聚物中甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙 烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯的摩尔比为55-70 5-10 10-20，共聚物的重均分子 量(Mw)为 5000-25000 ；(B)10-20质量份的二季戊四醇六丙烯酸酯；(C)5-7质量份的式(I)所示的肟酯类化合物。
11.根据权利要求10所述的组合物，其特征在于所述碱溶性树脂是甲基丙烯酸苄酯、 甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲酯、以及式(II)所示丙烯酸酯的共 聚物， 该共聚物中甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸、与甲基丙烯酸羟乙酯和/或甲基丙烯酸甲 酯、以及式(II)所示丙烯酸酯的摩尔比为55-60 5-10 10-15 10，共聚物的重均分子 量(Mw)为 5000-25000。
12.根据权利要求10或11所述的组合物，其特征在于所述共聚物的重均分子量(Mw) 为 10000-15000。
13.根据权利要求10或11所述的组合物，其特征在于所述碱溶性树脂的量为25-35质量份。
14.根据权利要求10或11所述的组合物，其特征在于所述二季戊四醇六丙烯酸酯的 量为15-19质量份。
15.根据权利要求10或11所述的组合物，其特征在于所述式(I)肟酯类化合物的量 为6质量份。
16.根据权利要求10或11所述的组合物，其特征在于所述可光聚合丙烯酸酯类组合 物还含有着色剂、敏化剂、表面活性剂中的一种、两种或两种以上。
17.根据权利要求10或11所述的组合物，其特征在于所述可光聚合丙烯酸酯类组合 物含有10-30质量份的着色剂。
18.根据权利要求17所述的组合物，其特征在于所述可光聚合丙烯酸酯类组合物含 有0. 01-0. 5质量份的表面活性剂。
19.一种光致抗蚀剂膜，其特征在于，它是由权利要求10或11所述的可光聚合丙烯酸 酯类组合物制备而成。
20.一种彩色滤光片膜，其特征在于，它是由权利要求17或18所述的可光聚合丙烯酸酯类组合物制备而成。
全文摘要
本发明涉及一种咔唑肟酯类化合物在可光聚合丙烯酸酯类组合物中作为光引发剂的用途，含有该咔唑肟酯类化合物的可光聚合丙烯酸酯类组合物，及其应用。通过特定光引发剂和特定可光聚合丙烯酸酯类单体的配合使用，本发明的组合物表现出了非常优异的适配性。该组合物具有非常好的存储稳定性，在短波处具有非常高的感光度，同时溶解性能优异；聚合时，固化速度快、少污染、节能、曝光效率高、曝光剂量小，同时固化成型的图像图案精细完整，没有缺陷和浮渣，膜的硬度很好。
文档编号G03F7/027GK101891845SQ201010227320
公开日2010年11月24日 申请日期2010年7月15日 优先权日2010年7月15日
发明者王兵, 胡春青, 钱晓春 申请人:常州强力电子新材料有限公司