真空蒸镀用发热组合体及具备该发热组合体的真空蒸镀装置制造方法
【专利摘要】本发明公开一种真空蒸镀用发热组合体，该发热组合体在真空蒸镀工序中加热载有蒸镀物质的载体，其中，该发热组合体包括安装所述载体的载体安装部和电极连接部，所述电极连接部形成于所述载体安装部的两侧且与电极相连接。另外，公开一种真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部及所述电极连接部中的至少一个以板状形成。如上所述的真空蒸镀用发热组合体能够稳定地安装载有蒸镀物质的载体，使蒸镀物质在真空蒸镀装置内向特定的方向蒸发，从而能够以少量的载体进行均质且有效的蒸镀。
【专利说明】真空蒸镀用发热组合体及具备该发热组合体的真空蒸镀装
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空蒸镀用发热组合体，更具体地，涉及一种加热载有蒸镀物质的载体，从而蒸镀目标蒸镀体的真空蒸镀用发热组合体及具备该发热组合体的真空蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]近年来，真空蒸镀工序应用于各种光学镜片(包含眼镜镜片)、过滤器领域和便携式电子产品(例如，手机、MP3播放器、PMP、笔记本电脑等)及显示器产品中，进行抗反射、光学过滤、调节反射率和吸收率、蒸发着色等多种尝试。由此，对于进行真空蒸镀的基础材料，尝试利用氧化物(氧化娃、氧化钛、氧化错等)、氟化物(氟化镁等)、金属(铬、镍、招、SUS等)等无机质粉末及粒状材料， 在玻璃、塑料以及金属材质基材(substrate)表面形成薄膜蒸镀层，从而显出多种特性。
[0003]这种蒸镀层由如上所述的金属及金属氧化物等构成，所以容易因外部环境导致腐蚀或污染，而产生脱膜的副作用。为了保护蒸镀层，试图通过涂敷有机物来形成疏水性乃至斥水性的膜。用于蒸镀这种有机物的方法中，利用浸溃有机类蒸镀物质而能够在真空内使用的载体。
[0004]这种蒸镀通过真空蒸镀方法，即利用电子束的蒸镀方法以及作为热处理方法的电阻加热式方法等进行。一般来说，从工序的便利和可自动化等方面考虑，利用电子束的蒸镀方法更有利，但是由于考虑到使用于真空蒸镀的有机类蒸镀物质的特性和可将其浸溃的载体，现在主要使用的方法为电阻加热式方法。
[0005]然而，以往的方法存在如下缺点:载于载体内的蒸镀物质被加热而蒸发时四处分散，导致蒸镀物质损失大，所以必须尽可能将其向目标蒸镀物夹具方向靠近，而且只有在真空蒸镀装置内部的前后、左右四周确保载体的安装数量才能维持蒸镀性能，所以需安装很多载体。
【发明内容】
[0006](一)本发明要解决的技术问题
[0007]本发明为解决上述问题而提出，提供一种能够稳定地安装载有蒸镀物质的载体的真空蒸镀用发热组合体。
[0008]另外，本发明提供一种可通过将载于载体内的蒸镀物质的损失最小化来提高蒸镀效率的真空蒸镀用发热组合体。
[0009]另外，本发明提供一种可最小化载体的安装数量的同时，确保均质且有效的蒸镀的真空蒸镀用发热组合体。
[0010]另外，本发明提供一种具备如上所述的真空蒸镀用发热组合体的真空蒸镀装置。
[0011](二)技术方案[0012]本发明公开一种真空蒸镀用发热组合体，该发热组合体在真空蒸镀工序中加热载有蒸镀物质的载体，其中，该发热组合体包含:安装所述载体的载体安装部和电极连接部，所述电极连接部形成于所述载体安装部的两侧且与电极相连接。
[0013]另外，公开一种真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部及所述电极连接部中的至少一个以板状形成。
[0014]另外，公开一种真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部形成为至少一侧开放，以使所述载体的前开口部朝向目标蒸镀物插入安装。
[0015]另外，公开一种真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部的侧部以包围所述载体侧面的形状形成，以能够加热所述载体侧面。
[0016]另外，公开一种真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部以U字形状形成。
[0017]另外，公开一种真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述电极连接部以闭合所述载体安装部后面的方式与所述载体安装部连接，以能够加热安装于所述载体安装部的所述载体后面。
[0018]另外，本发明公开一种真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述真空蒸镀用发热组合体由钨、钥、镍铬合金、碳、碳纤维中的一种材料组成。
[0019]另外，本发明公开一种真空蒸镀装置，该真空蒸镀装置包括:进行真空蒸镀工序的蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内部的电极部；以及如上所述的真空蒸镀用发热组合体，该发热组合体设置于所述电极部，且加热载有蒸镀物质的载体。
[0020](三)有益效果
[0021]基于本发明的真空蒸镀用发热组合体及具备该发热组合体的真空蒸镀装置具有如下有益效果:
[0022]( I)本发明通过在蒸发型真空蒸镀装置或溅镀型真空蒸镀装置中，以开口方向朝向目标蒸镀物的夹具方向的方式安装真空蒸镀用发热组合体，并将载有蒸镀物质的载体插入发热组合体的开放部，使在真空蒸镀时，蒸镀物质仅集中于目标蒸镀物方向，从而能够最大限度地增加蒸镀效率。
[0023](2)本发明中，即使载体位于真空蒸镀装置的中心，也使蒸镀物质以30°至160°的角度仅向一个方向集中到达目标蒸镀物，从而可以使蒸镀物质的损失最小化，并能够以最少的载体数量维持蒸镀性能，因此能够降低蒸镀物质的费用。
[0024](3)本发明可改善安装多个载体的现状，能够减少一半以上的安装数量，从而减轻工作人员更换载体的工作量，由此可节约相应的工作时间，提高整个工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1是基于本发明的优选实施例的真空蒸镀用发热组合体的立体图。
[0026]图2是图1所示的真空蒸镀用发热组合体的立体分解图。
[0027]图3是表示在本发明真空蒸镀用发热组合体上安装载体的状态的立体图。
[0028]图4是本发明的具备真空蒸镀用发热组合体的真空蒸镀装置的立体图。
[0029]图5是表示将本发明的真空蒸镀用发热组合体安装在真空蒸镀装置的电极部的状态的立体图。[0030]附图标记
[0031]10:发热组合体
[0032]11:载体安装部
[0033]13:电极连接部
[0034]20:真空蒸镀装置
[0035]21:蒸镀腔室
[0036]23:电极部
【具体实施方式】
[0037]以下，参考附图对本发明的优选实施例进行详细说明。对本发明进行说明时，判断公知功能和结构的具体说明可能会混淆本发明的主旨的情况下，省略对其进行详细叙述。
[0038]图1及图2是基于本发明的优选实施例的真空蒸镀用发热组合体的组合以及分解的立体图。图3是表示在本发明的真空蒸镀用发热组合体上安装载体的状态的立体图。
[0039]如图1至图3所示，本发明的真空蒸镀用发热组合体10成型成如下形态:将
.0.1mm至3mm厚度的板状发热体制作成具备载体安装部11和电极连接部13的形态,可将直径2mm至50mm、厚度1mm至20mm且向一方向开放1a的圆筒形载体(参考韩国公开专利10-2009-0011432) 1`插入安装于载体安装部11，其中，所述载体安装部11形成为一侧开放以安装载体，所述电极连接部13形成于载体安装部11的两侧且与电极相连接。
[0040]更优选地，成型为如下形态:将0.2mm厚度的板状发热体制作成具备载体安装部11和电极连接部13的形态,可将直径IOmm至25mm、厚度5mm至IOmm且向一方向开放Ia的圆筒形载体I经由载体安装部11的开放的上部Ila插入安装，其中，所述载体安装部11为上部Ila及前部Ilb开放形成的U字形，所述电极连接部13形成于载体安装部11的两侧与电极相连且呈矩形板状。此时，发热组合体10的大小和长度若太小或太短，则难以成型，并很难安装载体I。并且，若发热组合体10的大小和长度太大或太长，则载体I容易脱落，而且产生电阻热时发热组合体10发生热变形，难以向载体I传递热量。因此，考虑到上述问题，优选将发热组合体10形成为适当的大小和长度等。
[0041]另外，作为发热组合体10的材料，可使用钨、钥、镍铬合金、碳、碳纤维等材质。最优选使用比较廉价、使用寿命长且可在高温下使用的钨作为发热组合体10的材料。并且，发热组合体10是利用施加电流时产生的电阻发热的电阻加热式发热体。
[0042]本发明的真空蒸镀用发热组合体10包括载体安装部11和电极连接部13。
[0043]载体安装部11位于发热组合体10的大致中央部，是插入安装载体1的位置。载体安装部11至少一侧开放形成，以使载体1的前开口部Ia朝向目标蒸镀物(未图示)插入安装。并且，以包围载体1侧面的形状形成侧部11c，从而能够加热载体1侧面。例如，载体安装部11为如下形态:即载体安装部11的上面1la开放，以使载体1从上插入安装；载体安装部11的前部11b开放，以使载体1的前开口部1a向目标蒸镀物露出，包括载体安装部11下面的侧部1lc闭合的形态，以能够加热载体1的侧面；比如说可制造成U字形的板状发热体。本实施例中例示了经由载体安装部11的开放的上面Ila插入安装载体1的结构，但是不限于此，可经由载体安装部11的开放的前部1lb插入安装载体1。另外，在载体安装部11的开放形成的前部1lb的两侧及下侧分别向内部弯曲形成突起部12，从而防止插入安装于载体安装部11的载体I从开放形成的前部Ilb脱落。
[0044]在电极连接部13的大致中央部位通过焊接或嵌入的方式连接有载体安装部11，并制造成由向载体安装部11的两侧互相对称形成的矩形的板状发热体。电极连接部13与设在真空蒸镀装置20 (参考图4)内的电极部23 (参考图4)相连接，被供给用于电阻发热的电流。并且，关于电极连接部13裁剪成从板材的两端到中央长度为5mm~50mm(最适为30mm);从下面向宽度方向为5mm~IOmm (最适为IOmm)的T字形，从而使电极连接部13的两端容易固定于电极部23。并且，电极连接部13以闭合载体安装部11后面的方式与载体安装部11连接，以能够加热安装于载体安装部11的载体的后面。
[0045]如上所述构成的本发明的真空蒸镀用发热组合体10以如下方式安装使用:将I个至30个本发明的真空蒸镀用发热组合体10以使其开放方向朝向I个至4个方向的方式串联连接或并联连接于电极部23的电极棒23b (参考图5)，该电极部设置于电子束或电阻加热式真空蒸镀装置、垂直型或水平型蒸发装置(Evaporator)、垂直型或水平型溅镀兼电阻加热型真空蒸镀装置等。
[0046]以下，参考图4及图5，对具备本发明的真空蒸镀用发热组合体的真空蒸镀装置进行说明。
[0047]图4是具备本发明的真空蒸镀用发热组合体的真空蒸镀装置的立体图；图5是表示将本发明的真空蒸镀用发热组合体安装在真空蒸镀装置的电极部的状态的立体图。
[0048] 如图4及图5所示，本发明的真空蒸镀装置20包括蒸镀腔室21、电极部23及发热组合体10。
[0049]蒸镀腔室21为进行真空蒸镀工序的部位，这种蒸镀腔室21可由公知的技术理解，因此省略其详细说明。
[0050]电极部23设在蒸镀腔室21的内部，向安装在电极部23的发热组合体10施加电流。电极部23由垂直设置于蒸镀腔室21内部中央的电极支撑部23a和电极棒23b构成，所述电极棒23b在电极支撑部23a的一侧方向和另一侧方向上下方向设置多个,并各自成对形成。在电极棒23b的端部可通过螺丝23c等连接安装发热组合体10的电极连接部13。本实施例中，例示如下结构:在电极连接部13的两端各自形成螺丝孔(未图示)，并将电极连接部13的两端通过螺丝23c与一对电极棒23b连接，但不限于此，也可构成为:电极连接部13的两端分别形成嵌入槽(未图示)，并在一对电极棒23b端部分别形成嵌入突起(未图示)，使电极连接部13以嵌合方式安装于电极棒23b。
[0051]发热组合体10以使其开放方向朝向I个至4个方向的方式，I至30个串联连接或并联连接于电极部23，来加热载有蒸镀物质的载体I。发热组合体10的结构已参考图1至图3进行叙述，因此下面省略说明。
[0052]如上所述，以载体安装部11的开放的前部Ilb的方向朝向目标蒸镀物的夹具(未图示)方向的方式，将本发明的真空蒸镀用发热组合体10安装于蒸发型或溅镀型真空蒸镀装置20的电极部23，并经由载体安装部10的开放的上面Ila插入载有蒸镀物质的载体1，来使蒸镀物质在真空蒸镀时仅向目标蒸镀物方向集中，从而可最大限度地增加蒸镀效率。
[0053]并且，即使载体I位于真空蒸镀装置20的中心，也使蒸镀物质以30°至160°的角度仅向一个方向集中到达目标蒸镀物，从而可以使蒸镀物质的损失最小化，能够以最少的载体数量维持蒸镀性能，因此不仅能够降低蒸镀物质的费用，还可改善安装多个载体的现状，能够减少一半以上的安装数量，从而减轻工作人员更换载体I的工作量，由此可节约相应的工作时间，提高整个工作效率。
[0054]在这里，用于蒸镀的目标蒸镀物的对象有:金属、玻璃及亚克力、聚碳酸酯(Poly Carbonate ;PC)、有机玻璃(Poly Methyl Methacrylate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate ;PET)、ABS 申对月旨(Acrylonitrile butadiene styrenecopolymer)以及这些的混合树脂制成的薄片(sheet)状的面板(panel)形态和各种注塑物构成的外壳、屏幕、键盘、功能键部件等多种配饰。这些用于手机、智能手机、MP3播放器、便携式多媒体播放器(PMP)、数字多媒体广播(DMB)接收器、导航仪、平板电脑、笔记本电脑等便携式电子产品显示器产品等。
[0055]基于本发明，可通过将所述目标蒸镀物安装在具备真空蒸镀用发热组合体10的真空蒸镀装置20中，并将蒸镀物表面形成为水接触角70°至130°，油(CH2I2)接触角80°至100°，以使目标蒸镀物表面防止刮痕、防止指纹和污染、并且容易去掉因指纹等污染的污染物；或者通过将蒸镀物表面形成为水接触角60°至110°，油(CH2I2)接触角30°至80°，从而不易看出目标蒸镀物表面的指纹，并能更容易去掉残留的指纹。
[0056]以下，说明本发明的真空蒸镀用发热组合体的制造方法和利用该发热组合体的真空蒸镀方法。
[0057]实施例1
[0058]将厚度0.2mm的钥板材裁剪为宽度20mm、长度1OOmm~150mm (最适为150mm)来构成电极连接部，将电极连接部裁剪成从电极连接部的两端到中央长度为5_~50mm(最适为30mm);从下面向宽度方向为5mm~10mm(最适为IOmm)的T字形。另外，将厚度0.2mm的钥板材裁剪为宽度5mm、长度30mm来构成载体安装部，裁剪成在载体安装部的一侧面(后部)以3mm间隔形成横竖3mm的齿轮形状,而在另一侧面(前部)以12mm间隔形成横竖3mm的齿轮形状。然后，如下制造本发明的真空蒸镀用发热组合体:将以3mm间隔形成齿轮形状的一侧面插入预先准备好的电极连接部中间部分形成的半圆形插入槽，并向下折叠固定；将另一侧面的以12mm间隔形成齿轮形状的部分向里以90°方向折叠。
[0059]实施例2
[0060]在设置于直径为1600mm的溅镀式真空蒸镀装置20中的2个电极棒23b之间，安装实施例1中所制造的真空蒸镀用发热组合体10，其安装方法如下:以载体安装部11的开放的前部1lb互朝向相反方向的方式上、中、下分别安装2个。然后，以载体1的开口部Ia朝向蒸镀物的方式在发热组合体10的载体安装部11的开放形成的上面IIa插入安装载体
1
[0061]接着，将玻璃材质的目标蒸镀物安装在夹具，在真空蒸镀装置20的内部成为
1.5xl0_5torr的高真空状态时，注入氩气，并以0.3kff的功率使等离子体活性化，成为
2.2xl0_2torr，施加600秒来将目标蒸镀体表面活化，利用Si目标物，以4.5kW施加氧气和IS气，成为1.5xl(T3torr,施加180秒来形成SiO2层。
[0062]然后，通过施加3.5V、288A于本发明的发热组合体10，使表面介质物质在240秒间从被加热的载体I蒸镀到目标蒸镀物上，所述发热组合体10中插入有载有指纹和污染防止涂层剂的载体I。
[0063]表1表示蒸镀有指纹和污染防止涂层剂的目标蒸镀物的接触角及耐久性结果。[0064]表1
[0065]
【权利要求】
1.一种真空蒸镀用发热组合体，该发热组合体在真空蒸镀工序中加热载有蒸镀物质的载体，其特征在于，所述发热组合体包含安装所述载体的载体安装部和电极连接部，所述电极连接部形成于所述载体安装部的两侧且与电极相连接。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部及所述电极连接部中的至少一个以板状形成。
3.根据权利要求1所述的真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部形成为至少一侧开放，以使所述载体的前开口部朝向目标蒸镀物插入安装。
4.根据权利要求3所述的真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部的侧部以包围所述载体侧面的形状形成，以能够加热所述载体侧面。
5.根据权利要求4所述的真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述载体安装部以U字形状形成。
6.根据权利要求1所述的真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述电极连接部以闭合所述载体安装部后面的方式与所述载体安装部连接，以能够加热所述载体后面。
7.根据权利要求1所述的真空蒸镀用发热组合体，其特征在于，所述真空蒸镀用发热组合体由钨、钥、镍铬合金、碳、碳纤维中任意一种材料组成。
8.一种真空蒸镀装置，其特征在于，该真空蒸镀装置包括:进行真空蒸镀工序的蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内部的电极部；以及权利要求1至7中任一项所述的真空蒸镀用发热组合体，所述发热组合·体设置于所述电极部，且加热载有蒸镀物质的载体。
【文档编号】H05B3/02GK103717780SQ201380001082
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年7月23日 优先权日:2012年7月24日
【发明者】金炫中, 金洪徹, 全京一, 金正来, 黃英准 申请人:株式会社世可