喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及有机发光二极管显示技术领域，具体涉及喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法。
【背景技术】
[0002]目前，有机发光二极管(0LED)的主流制备工艺是蒸镀技术，蒸镀技术主要是利用热蒸发有机材料的原理，即把有机材料填入加热源里，在真空环境中，升温加热，使固体有机材料熔融挥发或者升华形成气态，有机材料的气体流沉积到玻璃基板上，形成一层层的有机薄膜，制备成0LED的器件。
[0003]有机材料的气体流通过加热源的喷嘴从坩祸里出来，但由于制程的不稳定或者有些材料的凝固温度与气态温度相接近，只要喷嘴的局部温度较低，气态的材料很容易在喷嘴口处慢慢凝结，使喷嘴口慢慢变小，直至全部被堵死。这种情况下，速率检测系统检测的有机材料的蒸镀速率逐渐变小，为保持速率稳定，加热源的温度会逐渐上升，过高的温度会导致材料的性质变劣甚至裂解碳化。另一方面，若是线加热源的情况下，蒸镀速率减小，亦导致沉积到基板上的材料变少，膜厚变薄，影响了0LED器件的性能，降低了产品的良率。同时，需要开腔处理堵塞的喷嘴，并且更换变质的材料，降低了设备的稼动率，提高了生产成本。
[0004]当前线性加热源的喷嘴部件均是一个个独立的由钛金属制备而成的，高度较大，而且如图1所示，维持喷嘴2温度的加热丝4由于固定方面的需求，一般设计在本体1与承载底板5形成的拐角位置，导致加热丝4的热量主要在喷嘴下部，喷嘴2上部的热量通过钛金属传导和热辐射获得，导致喷嘴2上部，特别是顶部的温度较低，且不易准确控制。
【发明内容】
[0005]针对现有技术中的缺陷，本发明提供了喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法，有效防止蒸镀的有机材料在喷嘴处凝结。
[0006]根据本发明第一方面，提供了一种喷嘴部件，包括设置有喷嘴的本体，所述本体还设置有与所述喷嘴间隔开的中空腔，所述中空腔中设置有加热件。
[0007]优选地，所述本体设置有沿一直线方向分布的多个喷嘴，在所述多个喷嘴的两侧分别设置有一个所述中空腔。
[0008]优选地，所述加热件为平行所述直线方向延伸的加热丝。
[0009]优选地，每个所述中空腔中设置有至少两条平行的加热丝。
[0010]优选地，所述本体由钛合金或铝合金制成。
[0011 ] 优选地，所述本体为一体式结构。
[0012]优选地，所述本体包括第一本体、第二本体和第三本体，所述第二本体和所述第三本体分别与所述第一本体的两相对侧邻接，所述第一本体在不同于所述两相对侧的上侧设置有喷嘴，并且在所述两相对侧分别设置有第一凹槽，所述第二本体和第三本体上分别设置有与所述第一凹槽对应的第二凹槽，从而一个所述第一凹槽和一个所述第二凹槽组合成一个所述中空腔。
[0013]优选地，还包括温控器件，用于当检测到所述喷嘴处的温度低于设定阈值时，控制所述加热件的温度上升。
[0014]根据本发明第二方面，提供了一种蒸镀装置，包括上述的喷嘴部件。
[0015]优选地，还包括与所述喷嘴连通的坩祸室和加热所述坩祸室的加热部件。
[0016]根据本发明第三方面，提供了一种制作有机发光二极管器件的方法，使用上述的蒸镀装置蒸镀有机材料，在蒸镀时使所述加热件发热。
[0017]由上述技术方案可知，本发明提供的喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法，由于在与喷嘴间隔开的中空腔中设置有加热件，当蒸镀有机材料时，加热件可以加热升温，产生的热量辐射到中空腔周壁，不易流失，使喷嘴的周壁温度上升到基本保持与蒸镀腔中一致或略高于蒸镀腔，从而喷嘴中的温度保持在一个合适的范围之内，既不过低使有机材料凝结在喷嘴中，又不过高使有机材料碳化。同时由于有机材料不凝结在喷嘴中，不需要将蒸镀装置停工来清理喷嘴，提高了设备稼动率。由于有机材料不再凝结在喷嘴处或被高温碳化，因此蒸镀形成的有机材料层厚度符合设计需要，材料不会劣化，提高了有机发光二极管器件的性能。
【附图说明】
[0018]图1为现有技术提供的喷嘴部件的侧视结构示意图；
[0019]图2为本发明第一实施例提供的一体式喷嘴部件的侧视结构示意图；
[0020]图3为图1的的喷嘴部件沿图1的AA线剖开的结构示意图；
[0021]图4为图1的的喷嘴部件沿图1的BB线剖开的结构示意图；
[0022]图5为本发明第一实施例提供的组合式喷嘴部件的侧视结构示意图；
[0023]图6为本发明第二实施例提供的蒸镀装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0024]下面结合附图，对本发明的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
[0025]本发明的第一实施例中提供了一种喷嘴部件，如图2、3、4所示，包括设置有喷嘴2的本体1，本体1还设置有与喷嘴2间隔开的中空腔3，中空腔3中设置有加热件4。在本发明中，喷嘴2为组成本体1的材料围设而成的喷出蒸镀材料的中空通道，包括两个开口，其中一个开口一般用于与蒸镀设备的蒸镀腔连通。
[0026]通过上述方案，由于与喷嘴2间隔开的中空腔3中设置有加热件4，当蒸镀有机材料时，加热件4可以加热升温，由于中空腔中热量不易散失，加热件4产生的热量辐射到中空腔周壁，使喷嘴2的周壁温度上升到基本保持与蒸镀腔中一致或略高于蒸镀腔，从而喷嘴2中的温度保持在一个合适的范围之内，既不过低使有机材料凝结在喷嘴中，又不过高使有机材料碳化。
[0027]如图3、4中所示，本体1设置有沿直线方向分布的多个喷嘴2(在图4中以两条虚线示出喷嘴)，在多个喷嘴2的两侧分别设置有一个中空腔3。由于设置了多个喷嘴，因此可以同时从多个喷嘴中蒸镀出有机材料，注意，这里的直线方向只需要大致成直线方向即可，也不排除一些喷嘴偏离直线方向排布。而通过在喷嘴的两侧分别设置有一个中空腔，可以使加热均匀，喷嘴的两侧温度都差不多，进一步避免有机材料凝结在喷嘴中。
[0028]还如图3、4所示，加热件4为平行多个喷嘴2分布的直线方向延伸的加热丝，此处的平行为大致平行即可。加热丝为条状且延伸方向与多个喷嘴2延伸的方向相同，显然进一步使得喷嘴的温度易于保持均匀。且图2、3、4的每个中空腔3中设置有至少两条平行的加热丝。在中空腔3在喷嘴喷出有机材料