专利名称：真空高频移动蒸镀机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种应用在太阳能真空集热管毛管内壁镀膜领域的真空 高频移动蒸镀机。
背景技术：
目前，太阳能真空集热管毛管内壁镀膜一般采用化学镀制，此方法镀制 的产品镜面反射率达不到要求，废品率过高，因此需要研制出新的工艺及配 套设备。
众所周知，在钢带上连续真空镀铝的大型设备中，高频感应加热蒸镀工 艺已经取得令人满意的结果。高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶 瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈中央，使蒸发材料在高频带内磁场的感应下 对铁磁体产生强大的涡流损失和磁滞损失，致使蒸发材料升温，直至气化蒸 发。膜材的体积越小，感应的频率就越高。另外，抽真空是一个相当成熟的 技术，广泛的应用于保温瓶、全玻璃真空集热管、真空镀膜等的生产中。
基于上述原因，我公司摸索出 一套应用在全玻璃太阳能真空集热管毛管 内壁镀膜方面的真空高频感应加热蒸发镀膜工艺，但是要实现大规模机械化 生产并保证镀膜质量和速率，必须研制出一种与工艺相配套的专用设备。 发明内容
本实用新型的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供了一种真空高频移 动蒸镀机，能够方便地根据真空管反射镜面圆心角大小需要直接镀制出设计 弧度的反射膜，并且适用于大规模机械化生产，能较大的提高了镀膜速率、 保证镀膜质量。
为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是 一种真空高频移动蒸镀 机，包括蒸发舟、抽真空装置及设置在移动架车上的高频装置，高频装置设 有外置的高频线圈及电磁铁，蒸发舟设于毛管内部，蒸发舟上设有磁铁， 毛管穿过高频线圈插入抽真空装置。移动驾车带动高频装置移动、电磁铁 与磁铁吸合运动。利用抽真空装置预精抽，保证玻璃的毛管内部真空度满足 镀制反射膜的工艺需要；高频装置通过感应加热高频线圈产生的高频磁场使 蒸发舟内的蒸镀物料产生强大的涡流损失和磁滞损失升温，直至气化蒸发，
蒸发材料遇毛管管壁冷却黏附于毛管内壁上；高频装置安装于移动架车之上， 通过移动架车运动实现高频线圈相对毛管发的运动，固定在高频装置上的电 磁铁吸引毛管内部蒸发舟上的磁铁使之形成强磁力作用，牵引控制管内蒸发 舟移动，最终实现蒸发加热源(高频线圈)与蒸发舟同步运动，能够方便地 根据真空管反射镜面圆心角大小需要直接镀制出设计弧度的反射膜，并得到 连续均匀的反射膜，通过控制移动架车及高频装置的行走速度和高频装置的 频率来控制膜层的厚度，实现镀膜的质量的稳定性。因加热源可移动从而大 大降低了真空镀膜对真空操作空间的要求，不需要建大的真空室，节省了生 产成本，同时使抽真空时间大大降低，提高了生产效率。
为了实现机械化大规模生产，所述移动架车上设有多台高频装置，相应 的抽真空装置上设有多个承插口。
本实用新型的有益效果是相比现有技术的化学镀膜，本实用新型能够
根据真空管反射镜面圆心角大小直接镀制出设计弧度的反射膜，并且适用于
大规模机械化生产，能较大的提高了镀膜速率、保证镀膜质量；由于加热源 可移动从而大大降低了真空镀膜对真空操作空间的要求，不需要建大的真空 室，节省了生产成本，同时使抽真空时间大大降低，提高了生产效率。
图1是本实用新型真空高频移动蒸镀机的主视图2是图1的俯视图3是图1中A的局部放大图。
图中l高频装置、2移动架车、3抽真空装置、3. l承插口、 4磁铁、5 电磁铁、6高频线圈、7蒸发舟、8毛管。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本 实用新型的限定。
如图l、 2及3所示的一种真空高频移动蒸镀机，包括蒸发舟7、抽真空 装置3及设置在移动架车2上的高频装置1，其中抽真空装置3、移动架车 2及高频装置1是现有设备。蒸发舟7设于毛管8内部，蒸发舟7上设有磁 铁4。参见图3，高频装置1设有外置的高频线圈6及电磁铁5。参见图1 及2,毛管8穿过高频线圈6插入抽真空装置3。移动驾车带动高频装置l
移动、电磁铁5与磁铁4吸合运动。如图2所示，所述移动架车2上设有多 台高频装置1，相应的抽真空装置3上设有多个承插毛管8的承插口 3. 1， 可实现机械化大规模生产。
因此本实用新型能够根据真空管反射镜面圆心角大小直接镀制出设计弧 度的反射膜，并且适用于大规模机械化生产，能较大的提高了镀膜速率、保 证镀膜质量；由于加热源可移动从而大大降低了真空镀膜对真空操作空间的 要求，不需要建大的真空室，节省了生产成本，同时使抽真空时间大大降低， 提高了生产效率。
以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的具体实施方式
的一种，本 领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包 含在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种真空高频移动蒸镀机，其特征在于包括蒸发舟、抽真空装置及设置在移动架车上的高频装置，高频装置设有外置的高频线圈及电磁铁，蒸发舟设于毛管内部，蒸发舟上设有磁铁，毛管穿过高频线圈插入抽真空装置，移动驾车带动高频装置移动、电磁铁与磁铁吸合运动。
2. 根据权利要求1所述的真空高频移动蒸镀机，其特征在于所述移动 架车上设有多台高频装置，相应的抽真空装置上设有多个承插口。
专利摘要本实用新型提供了一种应用在太阳能真空集热管毛管内壁镀膜领域的真空高频移动蒸镀机，包括蒸发舟、抽真空装置及设置在移动架车上的高频装置，高频装置设有外置的高频线圈及电磁铁，蒸发舟设于毛管内部，蒸发舟上设有磁铁，毛管穿过高频线圈插入抽真空装置，移动驾车带动高频装置移动、电磁铁与磁铁吸合运动。本实用新型能够根据真空管反射镜面圆心角大小直接镀制出设计弧度的反射膜，并且适用于大规模机械化生产，能较大的提高镀膜速率、保证镀膜质量；由于加热源可移动从而大大降低了真空镀膜对真空操作空间的要求，不需要建大的真空室，节省了生产成本，同时使抽真空时间大大降低，提高了生产效率。
文档编号C23C14/56GK201190178SQ200820106959
公开日2009年2月4日 申请日期2008年4月24日 优先权日2008年4月24日
发明者殷占民, 王孝星, 许维华 申请人:黄 鸣