技术总结
本发明涉及一种蒸镀方法，用以解决现有的蒸镀工艺，使用蒸镀掩膜版进行蒸镀之后，很容易有材料残留到蒸镀掩膜版上，残留的材料很难清洗，而且容易将待蒸镀基板划伤的问题。该方法包括：在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层；使用形成有附加膜层的蒸镀掩膜版，在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层；其中，附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性。本发明在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层之前，先在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层，因而在使用该蒸镀掩膜版蒸镀之后，如果有蒸镀膜层的材料残留，会直接残留在附加膜层的表面上，由于附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性，因而可以更容易的将残留的材料清洗干净，避免其划伤待蒸镀基板。
技术研发人员：郑克宁;孔超;陈栋
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
文档号码：201710202453
技术研发日：2017.03.30
技术公布日：2017.05.24