1.一种蒸镀系统,其特征在于,包括:
承载台,具有一用于承载基板的承载面;
固定结构,设置于所述承载台上,用于将基板固定于所述承载面上;
取放结构,设置于所述承载台上与所述承载面相对的第一连接面上,能够与机器人手臂配合以实现所述承载台的翻转或运输。
2.根据权利要求1所述的蒸镀系统,其特征在于,基板与所述承载台连接的第二连接面上设有金属层,所述承载台内设中空腔体,所述固定结构包括:
磁力吸附部,设于所述中空腔体内;
移动控制部,用于控制所述磁力吸附部在第一状态和第二状态间转换;
其中,所述第一状态为,所述磁力吸附部在所述移动控制部的控制下向靠近基板的方向移动至预设位置以将基板吸附于所述承载面上;
所述第二状态为,所述磁力吸附部在所述移动控制部的控制下向远离所述承载面的方向移动以使得基板脱离所述磁力吸附部的磁力吸附。
3.根据权利要求2所述的蒸镀系统,其特征在于,所述磁力吸附部为可移动的设置于所述中空腔体内的磁力吸附板。
4.根据权利要求2所述的蒸镀系统,其特征在于,所述移动控制部包括:
驱动单元,包括一驱动电机;
传动单元,一端与所述磁力吸附部连接,另一端穿过所述第一连接面与所述驱动单元传动连接。
5.根据权利要求2所述的蒸镀系统,其特征在于,所述承载面上设有多个与所述中空腔体连通的通孔,所述承载台上与所述承载面相邻或相对的面上设有与所述中空腔体连通的通孔。
6.根据权利要求1所述的蒸镀系统,其特征在于,所述承载台包括与所述承载面相邻的侧面,基板上至少相对的两个侧边的边缘设有卡接孔,所述固定结构包括:
至少两个卡接部,对称设置于所述侧面上,能够卡接于所述卡接孔以将基板固定于所述承载面上。
7.根据权利要求6所述的蒸镀系统,其特征在于,所述卡接部包括设置于所述承载台上对应的侧面的卡子,所述卡子的一端枢接于所述承载台上对应的侧面,所述卡子的另一端为自由端。
8.根据权利要求7所述的蒸镀系统,其特征在于,所述卡接部还包括缓冲部,在所述卡子与所述卡接孔配合将基板固定于所述承载面上时,所述缓冲部设置于所述卡子与基板之间。
9.根据权利要求1-8任一项所述的蒸镀系统,其特征在于,所述承载面为与基板的形状相同的平面结构,在承载基板时,所述承载面的中心与基板的中心重合。
10.根据权利要求1-8任一项所述的蒸镀系统,其特征在于,所述取放结构包括:
两个插接部,相对于所述第一连接面的中心对称设置于所述第一连接面上。