蒸镀系统的制作方法

本实用新型涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种蒸镀系统。

背景技术：

市场广泛使用的屏幕是LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)和OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)，而OLED主要应用于小尺寸面板。OLED与LCD相比，其显示具有轻薄，低功耗，高对比度，高色域，可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括PMOLED和AMOLED显示，其中AMOLED显示的实现方式有LTPS背板+精细金属掩膜(FMM Mask)方式，和Oxide背板+WOLED+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应Monitor和电视等应用。现在LTPS背板+Mask的方式已经初步成熟，实现了量产。OLED显示技术和产业的国家和地区主要集中在亚洲，OLED市场前景广阔。

OLED蒸镀是将蒸镀材料通过Open/FMM Mask蒸镀到Glass(玻璃基板)上的一种方法，由于在蒸镀时，基板蒸镀面朝下，基板下方是掩模板，用于运输基板的机器人手臂抓取在Glass的边缘位置，由于基板的自身的重力导致基板中间有下垂的现象，目前掩模板与基板之间的连接是通过磁力吸附掩模板的方式，这样导致掩模板与基板出现弧形状态，易出现掩模板与基板局部贴合不紧密以及局部对位超出预设要求形成混色的不良现象。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种蒸镀系统，减少基板的下垂量，并且防止基板的破损。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种蒸镀系统，包括：

承载台，具有一用于承载基板的承载面；

固定结构，设置于所述承载台上，用于将基板固定于所述承载面上；

取放结构，设置于所述承载台上与所述承载面相对的第一连接面上，能够与机器人手臂配合以实现所述承载台的翻转或运输。

进一步的，基板与所述承载台连接的第二连接面上设有金属层，所述承载台内设中空腔体，所述固定结构包括：

磁力吸附部，设于所述中空腔体内；

移动控制部，用于控制所述磁力吸附部在第一状态和第二状态间转换；

其中，所述第一状态为，所述磁力吸附部在所述移动控制部的控制下向靠近基板的方向移动至预设位置以将基板吸附于所述承载面上；

所述第二状态为，所述磁力吸附部在所述移动控制部的控制下向远离所述承载面的方向移动以使得基板脱离所述磁力吸附部的磁力吸附。

进一步的，所述磁力吸附部为可移动的设置于所述中空腔体内的磁力吸附板。

进一步的，所述移动控制部包括：

驱动单元，包括一驱动电机；

传动单元，一端与所述磁力吸附部连接，另一端穿过所述第一连接面与所述驱动单元传动连接。

进一步的，所述承载面上设有多个与所述中空腔体连通的通孔，所述承载台上与所述承载面相邻或相对的面上设有与所述中空腔体连通的通孔。

进一步的，所述承载面为与基板的形状相同的平面结构，在承载基板时，所述承载面的中心与基板的中心重合。

进一步的，所述取放结构包括：

两个插接部，相对于所述第一连接面的中心对称设置于所述第一连接面上。

进一步的，所述承载台包括与所述承载面相邻的侧面，基板上至少相对的两个侧边的边缘设有卡接孔，所述固定结构包括：

至少两个卡接部，对称设置于所述侧面上，能够卡接于所述卡接孔以将基板固定于所述承载面上。

进一步的，所述卡接部包括设置于所述承载台上对应的侧面的卡子，所述卡子的一端枢接于所述承载台上对应的侧面，所述卡子的另一端为自由端。

进一步的，所述卡接部还包括缓冲部，在所述卡子与所述卡接孔配合将基板固定于所述承载面上时，所述缓冲部设置于所述卡子与基板之间。

本实用新型的有益效果是：承载台的设置使得基板保持平整，取放结构的设置避免基板与机器人手臂直接接触，从而避免基板的破损。

附图说明

图1表示本实用新型实施例一实施方式中蒸镀系统结构示意图；

图2表示本实用新型实施例一实施方式中蒸镀系统翻转后的结构示意图；

图3表示本实用新型实施例另一实施方式中蒸镀系统结构示意图；

图4表示本实用新型实施例另一实施方式中蒸镀系统翻转后的结构示意图；

图5表示本实用新型实施例中未进入蒸镀腔室时机器人手臂与取放结构相连接的状态示意图；

图6表示本实用新型实施例中蒸镀腔室内抓取结构与取放结构相连接的状态示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的特征和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本发明，并非以此限定本发明的保护范围。

如图1-4所示，本实施例提供，一种蒸镀系统，包括：

承载台2，具有一用于承载基板1的承载面21；

固定结构，设置于所述承载台2上，用于将基板1固定于所述承载面21上；

取放结构，设置于所述承载台2上与所述承载面21相对的第一连接面22上，能够与机器人手臂配合以实现所述承载台2的翻转或运输。

将基板1固定于所述承载台2的所述承载面21上，由于基板1完全贴在平整的承载面21上，实现当基板1蒸镀面朝下时，基板1是平整状态，与传统工艺相比，可以有效的减小基板1的下垂量，进而能够保证掩模板在蒸镀时更加平坦，可以有效的减小阴影，以及因阴影引起的不良，从而提高器件的良率，阴影减小能够设计更高PPI的器件。

所述承载台2的第一连接面22上设置所述取放结构实现基板1的传输与承载，能够避免运输过程中机器人手臂直接接触玻璃，避免发生碎片事故，有效提高产能。

所述固定结构的设置可以有多种，只要实现将基板1固定于所述承载面21上即可，以下介绍本实施例中两种实施方式中的固定结构的具体结构形式，如图1和图2所示，一实施方式中，基板1与所述承载台2连接的第二连接面上设有金属层，所述承载台2内设中空腔体，所述固定结构包括：

磁力吸附部3，设于所述中空腔体内；

移动控制部，用于控制所述磁力吸附部3在第一状态和第二状态间转换；

其中，所述第一状态为，所述磁力吸附部3在所述移动控制部的控制下向靠近基板1的方向移动至预设位置以将基板1吸附于所述承载面21上；

所述第二状态为，所述磁力吸附部3在所述移动控制部的控制下向远离所述承载面21的方向移动以使得基板1脱离所述磁力吸附部3的磁力吸附。

采用磁力吸附的方式将基板1固定于所述承载面21上，需要固定基板1时，所述磁力吸附部3在所述移动控制部的控制下向靠近基板1的方向移动至预设位置以将基板1吸附于所述承载面21上，需要取下基板1时，所述磁力吸附部3在所述移动控制部的控制下向远离所述承载面21的方向移动以使得基板1脱离所述磁力吸附部3的磁力吸附，简单高效。

所述预设位置可以为所述中空腔体内部靠近所述承载面21的内表面，即，所述第一状态为，所述磁力吸附部3在所述移动控制部的控制下位于所述中空腔体内部靠近所述承载面21的内表面以将基板1吸附于所述承载面21上，此时磁力吸附部3与基板1之间的距离最短，对基板1的吸附力最大，所述预设位置也可以为与所述中空腔体内部靠近所述承载面21的内表面具有一定距离的第一位置，该第一位置的设置根据待固定基板1所需的吸附力设定。

需要说明的是，金属层的厚度与基板1的重量和磁力吸附部3的吸附能力相匹配，确保通过磁力吸附部3能够将基板1吸附于所述承载面21上，当基板1的蒸镀面朝下时(基板1包括相对设置的蒸镀面和所述第二连接面)，基板1不掉落即可，金属层的形成可以是直接在所述第二连接面上直接贴覆一金属片，或者采用蒸镀的方式在所述第二连接面上蒸镀一层金属而形成所述金属层，金属层去除方式可以直接撕掉或封装后用刻蚀液洗掉。

进一步的，所述磁力吸附部3为可移动的设置于所述中空腔体内的磁力吸附板。

所述移动控制部的具体结构可以有多种，只要实现所述磁力吸附部3的移动即可，本实施例中，所述移动控制部包括：

驱动单元5，包括一驱动电机；

传动单元4，一端与所述磁力吸附部3连接，另一端穿过所述第一连接面22与所述驱动单元5传动连接。

所述传动单元4包括一传动杆，该传动杆一端与所述磁力吸附部3连接、另一端穿过所述第一连接面22通过一传动轴与所述驱动电机连接。

所述传动杆可以选择金属材料，保证对基板1的磁性吸附力。

所述移动控制部也可以包括升降气缸，与升降气缸连接的传动杆，传动杆的另一端穿过所述第一连接面22与所述磁力吸附部3连接。

所述移动控制部还可以采用其他结构形式，只要实现磁力吸附部3的移动控制即可，在此不再一一列举。

为了保证所述承载台与基板之间气流畅通，所述承载台的所述承载面21上设置有通孔，所述承载台上与所述承载面21相邻或相对的一面上设置有通孔，在大气环境下把基板快速放到所述承载台上时，所述承载台与所述基板之间的空气可以迅速通过通孔排走，基板和所述承载台能够更迅速更紧密的贴合，同时，也不会因有气体顶着发生漂移，有利于更准确的放置基板到预设位置。优选的，所述承载台2的承载面21与所述第一连接面上均设置通孔，使得基板放置于所述承载台上时，基板与所述承载面21之间的气体可以快速的被排出。

蒸镀系统的蒸镀流程可以如下：蒸镀前，机器人手臂将基板的蒸镀面朝上放到所述承载台2的所述承载面21上(承载台2放置在蒸镀腔室第一侧用于载放承载台2的载放装置)，承载台2内部的磁力吸附板在移动控制部作用下上升至能够吸附固定基板的位置(磁力吸附板也可以直接上升至承载台2中空腔体内部顶端)，另一机器人手臂(可接触取放结构的机器人手臂，此处也可不更换机器人手臂)将载有基板的承载台2抬起、翻转使基板的蒸镀面朝下，开始进行传送。在传送过程中，机器人手臂100与基板上方的取放结构相配合(机器人手臂100的手指101与取放结构相应的位置接触)如图5所示，机器人手臂可以固定到一载台上，载台可以在一机械导轨上移动，实现基板在距离较远的相邻腔室间传输(蒸镀系统可以包括运送承载台2的传输设备，传输设备包括与取放结构配合抓取承载台2的机器人手臂、固定机器人手臂的载台、以及一机械导轨，该载台可移动的设置于机械导轨上)。

在蒸镀腔室中，可以设有能够与取放结构配合以抓取承载台2的抓取结构200(该抓取结构200可以是机器人手臂)，抓取结构通过连接件固定于蒸镀腔室的顶部，当机器人手臂载基板进入蒸镀腔室后，将载有基板的承载台2放到抓取结构200上固定如图6所示，然后与掩模板进行对位(对位过程一般是掩模板移动，基板是固定不动的)，对位结束后即可进行蒸镀。

因为承载台2内的磁力吸附板靠近基板，当掩模板上升接近基板后，掩模板会受到一定磁力吸附，这样本来平整的掩模板可以实现和不具有下垂量的基板平整贴合，就不存在掩模板和基板局部贴合不紧密以及局部对位超出预设范围、而形成混色的不良现象。当蒸镀完成，载有基板的承载台2被送到一个可进行真空-大气(N2环境)转换的工序，在大气环境下，具有真空吸附功能、可与传送中承载台2上的取放结构相配合的机器人手臂将载有基板的承载台2抬起、翻转使基板的蒸镀面朝上，放置在蒸镀腔室第二侧用于载放承载台2的载放装置上，磁力吸附板下降，减小对基板的吸附力到基板能够轻松被机器人手臂抬起并传送到封装工序，承载台2循环利用，可通过传输设备传送回蒸镀腔室第一侧的载放装置上。

在本实施例的另一实施方式中，如图3和图4所示，所述承载台2包括与所述承载面21相邻的两个侧面，基板1上至少相对的两个侧边的边缘设有卡接孔，所述固定结构包括：

至少两个卡接部，对称设置于所述两个侧面上，能够卡接于所述卡接孔以将基板1固定于所述承载面21上。

进一步的，所述卡接部包括设置于所述承载台2上对应的侧面的卡子7，所述卡子7的一端枢接于所述承载台2上对应的侧面，所述卡子7的另一端为自由端。

优选的，本实施方式中，基板1的四周均匀的设置有所述卡接孔，相应的所述承载台2的每个侧面设有与所述卡接孔位置、数量相对应的卡子7，在基板1放置于所述承载面21上后，翻转所述卡子7将卡子7的自由端卡接于所述卡接孔内以固定基板1，虽然卡接孔位于基板1的边缘，但是通孔卡子7的固定，在基板1翻转后，减少了基板1由于重量的原因而与所述承载面21之间产生的相对移动的量，即减少了基板1的下垂量。

进一步的，所述卡接部还包括缓冲部，在所述卡子7与所述卡接孔配合将基板1固定于所述承载面21上时，所述缓冲部设置于所述卡子7与基板1之间。

缓冲部的设置避免了基板1与卡子7之间的直接接触，避免了基板1的破损。且为了进一步的避免基板1的破损，卡子7在卡紧基板后，卡子7与基板之间具有缝隙，该缝隙很小不会影响卡子7对基板的固定。

卡子7的卡紧与松开可以手动实现或自动实现，蒸镀系统包括蒸镀腔室以及位于蒸镀腔室第一侧和第二侧的用于载放承载台的载放装置，自动实现卡子7的卡紧与松开的方式中可以由所述载放装置来实现。

在该实施方式中，由于所述固定结构、所述取放结构均设置于所述承载台的外部，所以所述承载台的厚度可以根据实际需要设定，所述承载台也可以设定为实心结构，只要在所述承载面上设置通孔，并在所述承载台上与所述承载面相邻或相对的第一面(所述第一面可以与所述第一连接面22为同一面，也可以为不同的面)上设置通孔，并在所述承载台内部设置通道以使得所述承载面上的通孔与所述第一面上相应的通孔连通、以保持基板与所述承载面之间的气流畅通即可。

本实施例中，所述承载面21为与基板1的形状相同的平面结构，在承载基板1时，所述承载面21的中心与基板1的中心重合，便于在蒸镀工艺中基板1与掩模板的对位。

本实施例中，基板1的面积不大于所述承载面21的面积，使得基板1完全落于所述承载面21的内部，避免基板1在运输过程中由于碰撞而产生破损。

所述取放结构的具体结构形式也可以有多种，只要实现与机器人手臂配合以实现基板1的运输即可，本实施例中，所述取放结构包括：

两个插接部6，相对于所述第一连接面22的中心对称设置于所述第一连接面22上。

优选的，所述插接部包括固定于所述第一连接面22的中空矩形结构，中空矩形结构的两侧对称设置有凸起，在所述承载台的所述承载面21向上(参考图示方向)时，中空矩形结构内部靠近所述第一连接面22的内表面为与机器人手臂配合插接的插接面61、凸起远离所述第一连接面22的一面为与机器人手臂相配合插接的插接面61，如图1和图3所示。机器人手臂将所述承载台运输至蒸镀腔室对基板进行蒸镀时，基板的蒸镀面需要向下设置，此时需要将所述承载台进行翻转，然后由另一机器人手臂承载所述承载台进入蒸镀腔室对基板进行蒸镀，在所述承载台翻转使得基板的蒸镀面朝下时、即所述承载面21向下时，中空矩形结构内部远离所述第一连接面22的内表面为与机器人手臂配合插接的插接面61、凸起靠近所述第一连接面22的一面为与机器人手臂相配合插接的插接面61，如图2和图4所示。

取放结构的设置避免了机器人手臂与基板1的直接接触，避免了基板1的破损。

本实施例中，蒸镀系统可以包括蒸镀腔室以及位于蒸镀腔室第一侧和第二侧的载放装置，所述载放装置用于承载所述承载台2，将基板1通过固定结构固定于蒸镀腔室第一侧的承载台2的承载面上，然后通过取放结构与机器人手臂配合以将承载台2翻转并运输至蒸镀腔室内，蒸镀腔室内的抓取结构固定承载台2后对基板1进行蒸镀，蒸镀完成后，机器人手臂通过承载台2上的取放结构，将承载台2运输至蒸镀腔室第二侧的载放装置上并翻转，取下基板1，然后将基板1运送至封装工序中进行封装。

以上为本实用新型较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。