技术总结
本实用新型涉及一种蒸镀系统,包括:承载台,具有一用于承载基板的承载面;固定结构,设置于所述承载台上,用于将基板固定于所述承载面上;取放结构,设置于所述承载台上与所述承载面相对的第一连接面上,能够与机器人手臂配合以实现所述承载台的翻转或运输。本实用新型的有益效果是:承载台的设置使得基板保持平整,取放结构的设置避免基板与机器人手臂直接接触,从而避免基板的破损。
技术研发人员:李晓康;何瑞亭
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
文档号码:201720339916
技术研发日:2017.04.01
技术公布日:2017.10.27