一种蒸镀用修正装置的制作方法

文档序号:16183999发布日期:2018-12-07 23:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸镀用修正装置,设置于蒸镀设备中的坩埚(11)以及位于坩埚(11)上方的水平设置的用于放置激光器的承载架(13),其特征在于,还包括:

电机Ⅱ(12),安装于蒸镀设备中,其输出轴连接于承载架(13);

设置于蒸镀设备中的底座(1),底座(1)上竖直设置有立柱(2);

套管(4),滑动套装于立柱(2)上,套管(4)通过锁止装置Ⅰ相对立柱(2)锁止固定;

横支管(5),其水平安装于套管(4)上,其内部沿轴向设置有滑孔;

横支杆(6),水平插装于横支管(5)的滑孔中,横支杆(6)通过锁止装置Ⅱ相对横支管(5)锁止固定;

圆形的遮挡板(10),水平设置于横支杆(6)的头端,遮挡板(10)位于承载架(13)与坩埚(11)之间,遮挡板(10)与承载架(13)及坩埚(11)相同轴设置,遮挡板(10)沿圆周方向间隔设置有N个呈扇形的修正孔(14),所述修正孔(14)由圆心向外侧方向开口逐渐变大。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用修正装置,其特征在于:所述锁止装置Ⅰ包括沿立柱(2)轴向间隔设置的若干个插孔Ⅰ(3)以及设置于套管(4)上与插孔Ⅰ(3)相配的定位孔Ⅰ,当一插孔Ⅰ(3)与定位孔Ⅰ相同轴后利用销轴Ⅰ插入插孔Ⅰ(3)与定位孔Ⅰ中。

3.根据权利要求1所述的蒸镀用修正装置,其特征在于:所述锁止装置Ⅱ包括沿横支杆(6)轴向间隔设置的若干插孔Ⅱ(7)以及设置于横支管(5)上与插孔Ⅱ(7)相配的定位孔Ⅱ,当一插孔Ⅱ(7)与定位孔Ⅱ相同轴后利用销轴Ⅱ(8)插入插孔Ⅱ(7)与定位孔Ⅱ中。

4.根据权利要求1所述的蒸镀用修正装置,其特征在于:N为大于等于3的正整数。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的蒸镀用修正装置,其特征在于:还包括安装于横支杆(6)头端的电机Ⅰ(9),所述电机Ⅰ(9)的输出轴与遮挡板(10)相连。

6.根据权利要求5所述的蒸镀用修正装置,其特征在于:所述遮挡板(10)的直径为承载架(13)直径的二分之一。

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