技术总结
一种蒸镀用修正装置，通过横向移动横支杆，确保遮挡板与承载架和坩埚同轴，移动到位后通过锁止装置Ⅱ锁止。通过移动套管，可以使其沿立柱调整高度，从而满足遮挡板相对承载架相对高度可以调整的目的，调整到位后通过锁止装置Ⅰ锁止。由于遮挡板上沿圆周方向设置有多个修正孔，修正孔为扇形结构，其靠近圆心位置开口小，其外侧开口大，从而坩埚中加热蒸发材料蒸发时，蒸发材料在靠近圆心位置通过修正孔后的流量和流速小于通过修正孔外侧部位的流量和流速，从而当电机Ⅱ驱动承载架转动使，承载架上的激光器可以满足内部和外部均匀蒸镀的效果，使蒸发质量可以满足一致性，提高了成品率。
技术研发人员：周莉;汤庆敏;刘存志;郑兆河
受保护的技术使用者：潍坊华光光电子有限公司
技术研发日：2018.06.01
技术公布日：2018.12.07