蒸镀源的制作方法

文档序号:12793692阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸镀源,其特征在于,所述蒸镀源包括:蒸镀本体和n个加热部件,所述n大于1,

所述蒸镀本体包括为中空结构的坩埚、环绕设置在所述坩埚外壁的加热丝和设置有n个喷嘴的坩埚盖,所述坩埚盖设置在所述坩埚开口端;

所述n个加热部件设置在所述坩埚内,每个所述加热部件位于一个喷嘴的下方,每个所述加热部件设置有加热丝。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源,其特征在于,所述蒸镀源还包括:喷嘴疏通部件,所述喷嘴疏通部件包括激光发生器、金属棒、控制器和第一驱动部件,

所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚内部或者外部;

所述金属棒为中空结构,所述金属棒的顶端为密闭结构,所述激光发生器与所述控制器连接,所述激光发生器用于在所述控制器的控制下发射激光,并采用所述激光对所述金属棒加热,加热的金属棒能够在所述第一驱动部件的驱动力下穿入所述喷嘴内。

3.根据权利要求1所述的蒸镀源,其特征在于,

每个所述加热部件的高度相等,且大于所述坩埚所能容纳的待蒸镀材料的最大厚度。

4.根据权利要求2所述的蒸镀源,其特征在于,所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚内部,所述喷嘴疏通部件的数量为n,每个所述喷嘴疏通部件还包括:底座、激光传导部件和第二驱动部件,

所述坩埚底面设置有n个开口,每个所述喷嘴在所述坩埚底面上的正投影的中心与一个开口的中心重合;

每个所述加热部件包括套管和管盖,所述管盖设置在所述套管的顶端,所述套管的管壁包括内层壁和外层壁,所述加热部件的加热丝环绕设置在所述内层壁上,所述套管的底端与所述坩埚底面的开口为一体型结构;

对于每个所述喷嘴疏通部件,所述金属棒设置在所述套管内,所述底座设置在所述金属棒的底端,所述底座为中空结构,所述金属棒和所述底座连通,所述激光发生器和所述激光传导部件设置在所述底座内,所述激光传导部件能够将所述激光发生器发射的激光经过所述金属棒传输至所述金属棒的顶端,所述第一驱动部件设置在所述底座的一端,

所述内层壁和所述外层壁形成的环形空间中设置有容纳管,所述容纳管内设置有第一支撑杆,所述第一支撑杆的一端与所述第二驱动部件连接,所述第一支撑杆能够在所述第二驱动部件的驱动力下发生垂直位移,以及沿水平方向旋转,所述第一支撑杆的另一端与所述管盖固定连接。

5.根据权利要求2所述的蒸镀源,其特征在于,所述喷嘴疏通部件位于所述坩埚外部,所述喷嘴疏通部件还包括承载台、导轨和第二支撑杆,

所述第一驱动部件和所述导轨设置在所述承载台上,所述第二支撑杆的一端位于所述导轨内,所述第二支撑杆与所述第一驱动部件连接,所述第二支撑杆能够在所述第一驱动部件的驱动力下沿着所述导轨在水平面上移动并发生垂直位移,所述第二支撑杆远离所述承载台的一端设置有激光头,所述金属棒设置在所述激光头远离所述第二支撑杆的一端。

6.根据权利要求5所述的蒸镀源,其特征在于,所述第二支撑杆为中空结构,所述喷嘴疏通部件还包括激光传导部件,

所述激光发生器设置在所述承载台上,所述激光传导部件设置在所述第二支撑杆内。

7.根据权利要求5所述的蒸镀源,其特征在于,

所述激光发生器设置在所述第二支撑杆远离所述承载台的一端,且靠近所述激光头的位置处。

8.根据权利要求4所述的蒸镀源,其特征在于,

所述套管的外层壁的内侧设置有第一温度传感器,所述第一温度传感器用于监测所述套管上的温度,并将监测到的温度传输至所述控制器。

9.根据权利要求4所述的蒸镀源,其特征在于,

所述金属棒的外壁设置有第二温度传感器,所述第二温度传感器用于监测所述金属棒上的温度,并将监测到的温度传输至所述控制器。

10.根据权利要求4或6所述的蒸镀源,其特征在于,

所述喷嘴疏通部件还包括保护部件,所述激光传导部件设置在所述保护部件内。

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