蒸镀源的制作方法

文档序号:12793692阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种蒸镀源,属于蒸镀技术领域。所述蒸镀源包括:蒸镀本体和n个加热部件,所述n大于1,所述蒸镀本体包括为中空结构的坩埚、环绕设置在所述坩埚外壁的加热丝和设置有n个喷嘴的坩埚盖,所述坩埚盖设置在所述坩埚开口端;所述n个加热部件设置在所述坩埚内,每个所述加热部件位于一个喷嘴的下方,每个所述加热部件设置有加热丝。本实用新型解决了相关技术中蒸镀源蒸镀的可靠性较差的问题,提高了蒸镀源蒸镀的可靠性,用于显示装置。

技术研发人员:何瑞亭;李晓康
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
文档号码:201720006481
技术研发日:2017.01.04
技术公布日:2017.07.04

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